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바닥면과 양 측면으로 구비되어, 내부로 기판처리공간이 정의된 베스와;상기 기판처리공간 내에서 서로 나란하게 배열되며, 각각 복수개의 회전롤러가 장착된 다수의 샤프트축과;상기 샤프트축의 일측에 구성되며, 서로 이웃하는 샤프트축의 사이에 구성되는 가이드롤러를 포함하며, 상기 가이드롤러는 기판의 측면과의 마찰에 의해 일방향으로 회전하는 동시에, 상기 회전에 의해 상하 승강운동하는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙
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제 1 항에 있어서, 상기 가이드롤러는 가이드축과, 상기 가이드축에 둘러 장착되어 상기 마찰에 의해 일방향으로 회전가능한 가이드회전롤러로 구성되는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙
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제 2 항에 있어서, 상기 가이드축에는 소정형태의 돌출단이 구성되어 있으며, 상기 가이드회전롤러의 내면에는 가이드홈이 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙
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제 3 항에 있어서, 상기 가이드홈은 상기 가이드회전롤러의 내면을 따라 일끝단과 타끝단이 서로 만나는 나선형(螺旋形)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙
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제 3 항에 있어서, 상기 돌출단은 고정된 상태로 상기 가이드홈에 유격있게 삽입되며, 상기 가이드회전롤러는 상기 가이드홈을 통해 상하 승강운동하는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙
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제 1 항에 있어서,상기 샤프트축 말단에는 모터 등의 구동수단이 연결되는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙
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제 2 항에 있어서, 상기 가이드축에는 가이드홈이 구성되어 있으며, 상기 가이드회전롤러에는 소정형태의 돌출단이 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙
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제 7 항에 있어서, 상기 가이드홈은 상기 가이드축에 일끝단과 타끝단이 서로 만나는 나선형(螺旋形)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙
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제 5 항에 있어서, 상기 가이드회전롤러는 상기 돌출단이 상기 가이드홈을 따라 이동하면서 회전과 동시에 상하 승강운동하는 것을 특징으로 하는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙
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제 1 항에 있어서, 상기 샤프트축은 경사면을 이루도록 기울어져 구성되며, 상기 경사면의 하부측에 상기 가이드롤러가 구성되는 습식공정을 위한 기판 이송용 트랙
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