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평판 표시 장치의 제조 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015046562
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요약 본 발명은 기판 상에 형성되는 박막의 두께를 실시간으로 측정할 수 있는 평판 표시 장치의 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 평판 표시 장치의 제조 장치는 미리 설정된 증착 속도로 기판 상에 박막을 형성하는 증착 챔버와; 상기 증착 챔버 내에 설치되어 상기 기판 상에 증착되는 박막의 두께를 실시간으로 측정하는 두께 측정부와; 상기 기판 상에 박막이 증착되는 증착 속도를 측정하는 속도 측정 센서와; 상기 두께 측정부에서 측정된 박막의 두께를 이용하여 상기 속도 측정 센서의 증착 속도와 상기 미리 설정된 증착 속도의 차이를 보정하는 제어부를 구비하며, 상기 증착 챔버는 상기 박막을 이루는 증착 물질이 수용된 증착 용기와; 상기 증착 물질이 통과하여 상기 기판 상에 박막을 형성하는 새도우 마스크를 포함하며, 상기 새도우 마스크는 상기 기판의 표시 영역과 대응하는 영역에 표시 패턴을 형성하기 위한 다수의 화소홀과; 상기 기판의 비표시 영역과 대응하는 영역에 측정 패턴을 형성하기 위한 다수의 측정홀을 포함하며, 상기 두께 측정부는 상기 새도우 마스크의 상기 측정홀을 통과한 광을 상기 측정 패턴에 조사하는 레이저 송신부와; 상기 측정 패턴에 의해 반사된 반사광이 측정홀을 통해 입사되며, 입사된 반사광의 편광 상태의 변화를 분석하여 측정 패턴의 두께를 측정하는 레이저 수신부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G02F 1/13 (2006.01) G01B 11/06 (2006.01) G01P 15/02 (2006.01)
CPC H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01)
출원번호/일자 1020060137621 (2006.12.29)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1286523-0000 (2013.07.10)
공개번호/일자 10-2008-0062168 (2008.07.03) 문서열기
공고번호/일자 (20130716) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.06)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유충근 대한민국 인천광역시 부평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2006-0980977-00
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.12.06 수리 (Accepted) 1-1-2011-0966770-90
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0621979-69
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.12.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-1041741-49
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-1041742-95
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.04.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0248754-33
11 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2013.05.10 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2013-0018809-11
12 등록결정서
Decision to grant
2013.06.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0408165-60
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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미리 설정된 증착 속도로 기판 상에 박막을 형성하는 증착 챔버와;상기 증착 챔버 내에 설치되어 상기 기판 상에 증착되는 박막의 두께를 실시간으로 측정하는 두께 측정부와;상기 기판 상에 박막이 증착되는 증착 속도를 측정하는 속도 측정 센서와;상기 두께 측정부에서 측정된 박막의 두께를 이용하여 상기 속도 측정 센서의 증착 속도와 상기 미리 설정된 증착 속도의 차이를 보정하는 제어부를 구비하며, 상기 증착 챔버는상기 박막을 이루는 증착 물질이 수용된 증착 용기와;상기 증착 물질이 통과하여 상기 기판 상에 박막을 형성하는 새도우 마스크를 포함하며,상기 새도우 마스크는상기 기판의 표시 영역과 대응하는 영역에 표시 패턴을 형성하기 위한 다수의 화소홀과;상기 기판의 비표시 영역과 대응하는 영역에 측정 패턴을 형성하기 위한 다수의 측정홀을 포함하며,상기 두께 측정부는상기 새도우 마스크의 상기 측정홀을 통과한 광을 상기 측정 패턴에 조사하는 레이저 송신부와;상기 측정 패턴에 의해 반사된 반사광이 상기 측정홀을 통해 입사되며, 입사된 반사광의 편광 상태의 변화를 분석하여 상기 측정 패턴의 두께를 측정하는 레이저 수신부를 포함하며,상기 속도 측정 센서는 상기 증착 용기에 수용된 상기 증착 물질이 가열되어 승화상태인 증기로 변해 증발되는 상기 증착 물질의 증착 속도를 측정하며,상기 측정홀은 평판 표시 장치인 유기 전계 발광 소자의 정공 주입층, 정공 운송층, 적색 발광층, 녹색 발광층, 청색 발광층, 전자 운송층 및 전자 주입층 각각과 대응되도록 상기 비표시 영역 내의 서로 다른 영역에 다수개 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 두께 측정부는 엘립소 미터인 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 속도 측정 센서는 박막 증착시 발생되는 진동수를 측정하는 수정 진동자 센서인 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 장치
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미리 설정된 증착 속도로 기판 상에 박막을 증착 챔버 내에서 형성하는 단계와;상기 증착 챔버 내에서 두께 측정부를 이용하여 상기 기판 상에 증착되는 박막의 두께를 실시간으로 측정하는 단계와;상기 기판 상에 박막이 증착되는 증착 속도를 속도 측정 센서를 이용하여 측정하는 단계와;상기 두께 측정부에서 측정된 박막의 두께를 이용하여 상기 속도 측정 센서의 증착 속도와 상기 미리 설정된 증착 속도의 차이를 제어부에서 보정하는 단계를 포함하며,상기 기판 상에 박막을 형성하는 단계는상기 박막을 이루는 증착 물질을 승화상태로 변화시키는 단계와;상기 승화 상태의 증착 물질을 새도우 마스크에 형성된 다수의 화소홀을 이용하여 상기 기판의 표시 영역에 표시 패턴을 형성하는 단계와;상기 새도우 마스크에 형성된 다수의 측정홀을 이용하여 상기 기판의 비표시 영역에 측정 패턴을 형성하는 단계를 포함하며,상기 박막의 두께를 실시간으로 측정하는 단계는상기 새도우 마스크의 상기 측정홀을 통과한 레이저 송신부의 광을 상기 측정 패턴에 조사하는 단계와;상기 측정 패턴에 의해 반사된 반사광이 상기 측정홀을 통해 레이저 수신부에 입사되며, 입사된 반사광의 편광 상태의 변화를 분석하여 상기 측정 패턴의 두께를 측정하는 단계를 포함하며,상기 속도 측정 센서는 상기 증착 용기에 수용된 상기 증착 물질이 가열되어 승화상태인 증기로 변해 증발되는 상기 증착 물질의 증착 속도를 측정하며,상기 측정홀은 평판 표시 장치인 유기 전계 발광 소자의 정공 주입층, 정공 운송층, 적색 발광층, 녹색 발광층, 청색 발광층, 전자 운송층 및 전자 주입층 각각과 대응되도록 상기 비표시 영역 내의 서로 다른 영역에 다수개 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 기판 상에 박막이 증착되는 증착 속도를 측정하는 단계는상기 박막 증착시 발생되는 진동수를 수정 진동자 센서를 이용하여 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.