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양측이 개방된 카세트에 두께방향으로 상호 이격되게 수납되어 있는 다수의 웨이퍼 중 어느 하나의 웨이퍼를 상기 카세트로부터 분리하기 위한 웨이퍼 낱장 분리장치에 있어서, 상기 카세트가 지지되는 지지체;상기 다수의 웨이퍼 각각에 대응되어 각 웨이퍼가 삽입 가능하며, 상기 지지체에 각각 직선 이동 가능하게 결합되며, 상기 웨이퍼가 상기 카세트로부터 분리되는 분리위치와 상기 웨이퍼가 상기 카세트에 수용되는 수용위치 사이에서 위치 가능한 다수의 받침부재; 상기 각 받침부재의 이동방향에 대해 교차하는 방향으로 직선 이동 가능하도록 상기 지지체에 설치되며, 상기 다수의 받침부재 중 어느 하나의 받침부재와 마주하도록 배치되는 이동부재; 및 상기 이동부재와 함께 직선 이동 가능하도록 상기 이동부재에 결합되며, 상기 각 받침부재의 직선 이동을 구동하는 구동유닛;을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 낱장 분리장치
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제 1항에 있어서, 상기 구동유닛은, 상기 이동부재와 함께 직선 이동 가능하며 상기 이동부재에 대해 회전 가능하도록 상기 이동부재에 결합되는 회전부재; 및 상기 회전부재의 회전에 연동되어 상기 각 받침부재의 이동방향으로 신축 가능하게 상기 회전부재에 연결되는 신장부재;를 구비하며, 상기 다수의 웨이퍼가 삽입되는 받침부재 중 어느 하나의 받침부재는, 상기 회전부재의 회전시 신장되는 상기 신장부재에 의해 가압되어 상기 수용위치로부터 상기 분리위치로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 낱장 분리장치
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제 2항에 있어서, 상기 신장부재는, 상기 회전부재에 감겨져 있으며, 상기 회전부재의 회전시 상기 회전부재로부터 풀리거나 감겨서 신축되는 와이어인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 낱장 분리장치
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제 2항에 있어서,기준위치에 위치하는 상기 이동부재의 이동시, 상기 기준위치로부터의 거리를 기초로 상기 이동부재의 실제 위치를 측정하는 측정기;상기 지지체의 표면에 설치되며, 상기 측정기에서 측정된 상기 이동부재의 실제 위치를 디스플레이하는 디스플레이부;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 낱장 분리장치
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제 4항에 있어서, 상기 카세트에는 웨이퍼가 수용되는 다수의 슬롯이 형성되어 있으며, 상기 이동부재에는, 상기 지지체의 내측면에 접촉하며 회전 가능한 바퀴가 결합되어 있으며, 상기 측정기는, 상기 지지체에 내장되어 있으며, 상기 이동부재의 이동시 상기 바퀴의 회전 각도를 기초로, 상기 신장부재의 단부에 의해 상기 카세트로부터 분리 가능한 웨이퍼가 수용되는 슬롯의 번호를 상기 디스플레이부로 출력하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 낱장 분리장치
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제 1항에 있어서, 상기 지지체에 회전 가능하게 결합되며, 그 회전에 연동되어 상기 이동부재가 직선 이동 하도록 상기 이동부재에 연결되는 회전축을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 낱장 분리장치
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제 6항에 있어서, 상기 회전축과 일정 거리 이격되게 배치되며, 상기 회전축의 회전중심축과 평행한 회전중심축을 중심으로 회전 가능하도록 상기 지지체에 결합되는 종동축;상기 회전축 및 종동축에 각각 결합되는 복수의 스프로킷; 및 상기 복수의 스프로킷에 맞물리며, 상기 이동부재가 결합되는 체인;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 낱장 분리장치
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제 1항에 있어서, 상기 다수의 웨이퍼 각각에 대응되어 각 웨이퍼가 삽입 가능하며, 상기 지지체에 각각 상기 받침부재의 이동방향과 동일한 방향으로 직선 이동 가능하게 결합되는 다수의 보조 받침부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 낱장 분리장치
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제 8항에 있어서, 상기 각 보조 받침부재 및 각 받침부재에는 상기 각 웨이퍼의 상측부 및 하측부가 각각 삽입되어 있으며, 상기 각 받침부재는 상하방향으로 승강 가능하며, 상기 각 받침부재에 결합되는 리프트바; 상기 각 보조 받침부재에 결합되는 제1리프트부와, 상기 제1리프트부와 직교하게 연결되며 상기 지지체에 삽입되는 제2리프트부를 가지는 보조 리프트바; 및 상기 각 받침부재가 상기 분리위치로부터 수용위치로 하강시 상기 보조 리프트바가 하강하도록, 상기 각 보조 리프트바에 결합되는 무게추;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 낱장 분리장치
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