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웨이퍼 연삭방법 및 연삭휠

  • 기술번호 : KST2015046654
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요약 본 발명은 웨이퍼의 외주를 연삭가공하기 위한 연삭방법 및 이 연삭방법에 적용되는 연삭휠에 관한 것이다. 본 발명에 따른 웨이퍼 외주 연삭방법은 제1거칠기를 가지는 연삭제를 이용하여 웨이퍼의 반경 방향을 따라 제1깊이로 상기 웨이퍼의 외주를 연삭하는 제1연삭단계, 제1연삭단계 후, 제1거칠기보다 작은 제2거칠기를 가지는 연삭제를 이용하여 웨이퍼의 반경 방향을 따라 제2깊이로 웨이퍼의 외주를 연삭하는 제2연삭단계 및 제2연삭단계 후, 제2거칠기보다 작은 제3거칠기를 가지는 연삭제를 이용하여 웨이퍼의 반경 방향을 따라 제3깊이로 웨이퍼의 외주를 연삭하는 제3연삭단계를 구비하여 이루어진 것에 특징이 있다.또한 본 발명에 따른 연삭휠은, 웨이퍼의 외주를 연삭하기 위한 것으로서, 원통형의 휠 본체와, 휠 본체의 높이방향을 따라 복수 개 배치되며, 그 각각은 휠 본체의 원주방향을 따라 배치되며 웨이퍼의 외주면이 수용 및 접촉될 수 있도록 오목하게 형성된 연삭홈을 구비하며, 각 연삭홈은 복수의 거칠기 중 선택된 어느 하나의 거칠기로 형성되는 것에 특징이 있다. 웨이퍼, 연삭
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC H01L 21/30625(2013.01) H01L 21/30625(2013.01) H01L 21/30625(2013.01)
출원번호/일자 1020060136443 (2006.12.28)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0845967-0000 (2008.07.07)
공개번호/일자 10-2008-0061566 (2008.07.03) 문서열기
공고번호/일자 (20080711) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.12.28)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재영 대한민국 경북 문경시
2 박정훈 대한민국 경북 구미시
3 김용덕 대한민국 경북 구미시
4 용문석 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 임승섭 대한민국 서울특별시 종로구 율곡로*길 *(수송동, 로얄팰리스스위트) ***호(특허법인임앤정)
2 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2006-0976582-29
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0617916-92
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2008-0027051-74
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.01.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0027054-11
5 등록결정서
Decision to grant
2008.04.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0204776-55
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1거칠기를 가지는 연삭제를 이용하여 웨이퍼의 반경 방향을 따라 제1깊이로 상기 웨이퍼의 외주를 연삭하는 제1연삭단계;상기 제1연삭단계 후, 상기 제1거칠기보다 작은 제2거칠기를 가지는 연삭제를 이용하여 웨이퍼의 반경 방향을 따라 제2깊이로 웨이퍼의 외주를 연삭하는 제2연삭단계; 및 상기 제2연삭단계 후, 상기 제2거칠기보다 작은 제3거칠기를 가지는 연삭제를 이용하여 웨이퍼의 반경 방향을 따라 제3깊이로 웨이퍼의 외주를 연삭하는 제3연삭단계;를 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 외주 연삭방법
2 2
제1항에 있어서,상기 제1깊이는 제2깊이보다 크며, 상기 제2깊이는 제3깊이보다 큰 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 외주 연삭방법
3 3
제1항에 있어서,상기 제3깊이는, 상기 제2연삭단계 완료 후, 상기 제2연삭단계에서 연삭을 수행함으로써 웨이퍼의 반경 방향을 따라 손상되는 제2손상깊이와, 제3연삭단계에서의 연삭 안정성을 보장하기 위하여 요구되는 안정깊이를 더한 깊이로 설정되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 외주 연삭방법
4 4
제1항에 있어서,상기 제1거칠기는 800 메쉬이며, 제2거칠기는 1500 메쉬이며, 제3거칠기는 3000 메쉬인 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 외주 연삭방법
5 5
삭제
6 6
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7 7
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.