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표시장치 제조방법

  • 기술번호 : KST2015046675
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요약 본 발명을 이루기 위한 수단으로 표시장치 제조방법은 기판 상에 게이트전극을 형성하고 상기 게이트전극을 커버하는 게이트절연막을 기판 전면에 형성하는 단계; 상기 게이트전연막 상에 나노파우더를 용해시키며 약산을 포함하는 분산용액을 분산시키는 단계; 상기 분산용액을 기화시켜 나노파우더로 형성되는 반도체층을 형성하는 단계; 상기 반도체층 상에 소스/드레인전극을 형성하는 단계를 포함한다. 따라서, 본 발명의 표시장치 제조방법은 약산을 포함하는 분산용액를 사용하여 나노파우더의 표면에 산화막을 억제함으로써 산화막을 제저하기 위한 공정을 실시할 필요가 없게되어 공정의 단순화를 도모할 수 있고, 상기 산화막 제거를 위한 공정 장비 및 재료비를 절감할 수 있는 효과가 있다. 또한 산화막 억제로 인해 나노파우더는 그래인바운더리에서 발생되는 스캐터링을 최소화할 수 있게 된다.
Int. CL B82Y 30/00 (2011.01) G02F 1/136 (2006.01)
CPC G02F 1/1362(2013.01) G02F 1/1362(2013.01) G02F 1/1362(2013.01) G02F 1/1362(2013.01)
출원번호/일자 1020060137521 (2006.12.29)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1375047-0000 (2014.03.10)
공개번호/일자 10-2008-0062125 (2008.07.03) 문서열기
공고번호/일자 (20140326) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.28)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박미경 대한민국 경기 안양시 동안구
2 채기성 대한민국 인천광역시 연수구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2006-0980580-88
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-1044422-70
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0698579-45
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.05.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.06.05 수리 (Accepted) 9-1-2013-0043308-04
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0488293-59
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.09.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0826524-05
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2013-0826522-14
13 등록결정서
Decision to grant
2014.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0036070-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 게이트전극을 형성하고 상기 게이트전극을 커버하는 게이트절연막을 기판 전면에 형성하는 단계; 상기 게이트절연막 상에 에틸렌 글리콜, 에탄올 및 약산을 구비하는 분산용매와 상기 분산용매에 분산되는 나노파우더를 포함하는 분산용액을 분산시키는 단계; 상기 분산용액을 기화시켜 나노파우더로 형성되는 반도체층을 형성하는 단계; 및상기 반도체층 상에 소스/드레인전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 나노파우더는 와이어형상의 나노와이어, 구형상의 나노파티클인 것을 특징으로 하는 표시장치 제조방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 나노파우더는 ZnO, InSe, Cdsd, GaN, Si을 포함하는 반도체물질로 마련되는 것을 특징으로 표시장치 제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 그리고 상기 나노파우더는 Ag, Cu를 포함하는 금속물질로 마련되는 것을 특징으로 하는 표시장치 제조방법
5 5
삭제
6 6
제 1항에 있어서, 상기 에탄올, 상기 에틸렌 글리콜은 상기 분산용매에서 소정의 분산도를 갖도록 상기 나노파우더를 분산시키는 것을 특징으로 하는 표시장치 제조방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 에틸렌 글리콜은 15-40wt%(질량 퍼센트)로 마련되는 것을 특징으로 하는 표시장치 제조방법
8 8
제 1항에 있어서, 상기 에탄올은 15-40wt%(질량 퍼센트)로 마련되는 것을 특징으로 하는 표시장치 제조방법
9 9
제 1항에 있어서, 상기 약산은 PH1 내지 PH4에 있는 물질로 마련되는 것을 특징으로 하는 표시장치 제조방법
10 10
제 1항에 있어서, 상기 약산은 CH3COOH, H3BO3, HCOOH를 포함하는 용액인 것을 특징으로 하는 표시장치 제조방법
11 11
제 1항에 있어서, 상기 약산은 상기 나노파우더의 표면에 형성되어 상기 나노파우더의 산화막형성을 억제하는 H+이온을 포함하는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 표시장치 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.