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수증기 주입장치와 이를 포함한 스퍼터링 장비

  • 기술번호 : KST2015046694
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요약 본 발명은 진공 챔버 내에 수증기를 주입하는 수증기 주입장치와 이를 포함하는 스퍼터링 장비에 관한 것이다.본 발명의 특징은, 상기 수증기 주입장치의 물보관 탱크를 가열하여 물을 수증기로 기화시키는 열공급 장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.이와 같이 하면, 진공챔버 내의 진공도가 떨어져 진공에 의한 물의 기화도가 저하되더라도 상기 열공급 장치에 의해 발생한 수증기가 진공챔버 내로 지속적으로 유입될 수 있기 때문에, 진공챔버 내에 충분히 수증기를 채울 수 있고 이로 인해, 기판에 성막 되는 막 특성이 개선될 수 있는 장점이 있다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01)
CPC C23C 14/35(2013.01) C23C 14/35(2013.01) C23C 14/35(2013.01)
출원번호/일자 1020060132855 (2006.12.22)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1372284-0000 (2014.03.04)
공개번호/일자 10-2008-0058767 (2008.06.26) 문서열기
공고번호/일자 (20140310) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.09)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김진영 대한민국 인천광역시 부평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2006-0956017-97
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0979791-42
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.08.23 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.10.04 수리 (Accepted) 9-1-2012-0075359-71
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.07.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0471595-45
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.09.05 수리 (Accepted) 1-1-2013-0814102-15
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.09.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0814103-61
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.12.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0845499-87
13 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2014.01.03 수리 (Accepted) 7-1-2014-0000191-73
14 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2014.01.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2014-0003229-34
15 등록결정서
Decision to grant
2014.03.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0158311-22
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번호 청구항
1 1
기판을 고정하는 제 1 플레이트와;상기 제 1 플레이트와 대응되는 위치에 구성되고 박막물질인 타깃을 고정하는 제 2 플레이트와;상기 제 1 플레이트와 제 2 플레이트를 내부에 구비하고, 진공을 조성할 수있는 진공챔버와;물이 저장된 투명한 유리재질의 물 저장탱크와, 가열장치를 구비하며 상기 진공챔버의 외부에 구성되어 상기 진공챔버의 내부로 수증기(H2O 가스)를 주입하는 수증기 주입장치 및 상기 진공챔버의 외부이면서 상기 타깃의 배면에 위치됨으로써 상기 진공챔버에서 발생된 플라즈마가 상기 기판에 포집되도록 하는 마그넷을 포함하고, 상기 가열장치는 메탈재질로 이루어져 상기 물 저장탱크의 외부를 감싸며 일체로 형성되어 상기 물 저장탱크를 가열하며, 상기 물 저장탱크의 물높이가 체크될 수 있도록 일면의 일부가 수직방향을 따라 개구된 상태인 스퍼터링 장비
2 2
제 1 항에 있어서,상기 수증기 주입장치는상기 물저장 탱크에 물을 주입하는 제 1 파이프와;상기 물 저장탱크로부터 기화된 수증기를 상기 진공챔버에 전달하는 제 2 파이프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장비
3 3
제 2 항에 있어서,상기 제 1 파이프와 제 2 파이프에 구성된 제 1 밸브와 제 2 밸브를 더욱 포함하는 스퍼터링 장비
4 4
제 2 항에 있어서,상기 제 2 파이프에 구성되고, 상기 제 2 파이프를 흐르는 수증기의 유량을 감지하는 유량센서를 더욱 포함하는 스퍼터링 장비
5 5
제 1 항에 있어서,상기 가열장치는 상기 물저장 탱크를 감싸는 형태이며, 수증기를 상기 진공챔버의 내부에 주입할 때만 사용하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장비
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14 14
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.