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기판을 이송하는 얼라인 컨베이어;상기 이송중인 기판의 위치를 수정하는 얼라인 핀;상기 이송중인 기판의 위치 틀어짐을 감지하는 2개의 감지 센서; 및 상기 감지센서가 출력한 감지신호에 따라 상기 얼라인 핀 및 상기 컨베이어중 적어도 어느 하나를 제어하는 제어부를 포함하며,상기 얼라인 핀은 각 얼라인 컨베이어의 새프트와 새프트 사이에 배치되며,상기 얼라인 핀은 상기 기판과 마주보는 면이 상기 기판의 측면과 평행하며,상기 2개의 감지센서는 동일한 기판과 접촉하는 접촉식 기판 감지 센서이며, 상기 2개의 감지 센서는 상기 2개의 감지 센서들 사이의 거리 및 센싱 시간을 고려하여 상기 기판의 위치 틀어짐을 감지하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자용 기판 이송 장치
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제 1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 감지센서가 출력한 이상신호를 수신하면 상기 얼라인 핀을 움직여 상기 기판의 위치 틀어짐을 수정하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자용 기판 이송 장치
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제 1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 감지센서가 출력한 정지신호를 수신하면 상기 컨베이어의 동작을 중지시키는 것을 특징으로 하는 평판표시소자용 기판 이송 장치
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제 1항에 있어서, 상기 감지센서는 상기 얼라인 컨베이어 출구 쪽에 위치하는 마지막 새프트와 평행선의 위치의 양끝단 부분에 기판의 이송방향과 직교방향으로 나란하게 설치된 것을 특징으로 하는 평판표시소자용 기판 이송 장치
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제 1항에 있어서,상기 얼라인 핀은 각 얼라인 컨베이어의 양끝단에 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자용 기판 이송 장치
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기판을 일방향으로 이송하는 단계;상기 이송중인 기판의 위치 틀어짐 여부를 2개의 감지센서가 감지하는 단계;상기 감지된 기판의 위치가 틀어졌을 경우, 각 얼라인 컨베이어의 양 끝단 부의 새프트와 새프트 사이에 배치된 얼라인 핀을 이용하여 상기 기판을 정위치시키는 단계;상기 감지된 기판이 파손 위험성을 가진 경우, 상기 얼라인 컨베이어의 동작을 중지시키는 단계를 포함하며,상기 얼라인 핀은 상기 기판과 마주보는 면이 상기 기판의 측면과 평행하며,상기 2개의 감지센서는 동일한 기판과 접촉하는 접촉식 기판 감지 센서이며, 상기 2개의 감지 센서는 상기 2개의 감지 센서들 사이의 거리 및 센싱 시간을 고려하여 상기 기판의 위치 틀어짐을 감지하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자용 기판 이송 방법
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제 8항에 있어서, 상기 얼라인 컨베이어의 동작을 중지시키는 단계는 상기 감지된 기판이 파손 위험성을 가진 경우, 상기 감지센서가 제어부로 정지신호를 보내는 단계; 및 상기 제어부가 얼라인 컨베이어의 동작을 중지시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자용 기판 이송 방법
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제 8항에 있어서, 상기 기판을 정위치시키는 단계는상기 감지된 기판의 위치가 틀어졌을 경우 감지센서가 제어부로 이상신호를 보내는 단계; 및 상기 제어부가 이상신호를 받으면 얼라인 핀을 구동시켜 기판을 정위치 시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자용 기판 이송 방법
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제 8항에 있어서, 상기 감지센서는 상기 얼라인 컨베이어 출구 쪽에 위치하는 마지막 새프트와 평행선의 위치의 양끝단 부분에 기판의 이송방향과 직교방향으로 나란하게 설치된 것을 특징으로 하는 평판표시소자용 기판 이송 방법
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