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헤비 도핑부와 라이트 도핑부를 포함하는 태양전지의 선택적 에미터 형성방법에 있어서,(S1) 도펀트 페이스트를 반도체 기판 위에 도포하고;(S2) 상기 기판의 라이트 도핑부가 형성될 영역에 도포된 페이스트를 소정 두께만큼 제거하여, 상기 페이스트 층이 상기 기판 위에서 단차를 갖도록 하고;(S3)상기 페이스트가 도포된 기판를 열처리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 선택적 에미터 형성방법
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제1항에 있어서,상기 (S2) 단계는, 상기 페이스트가 도포된 기판을 컨베이어 위에서 이송시키고, 그 외주부 중 상기 기판의 라이트 도핑부가 형성될 영역에 상응하는 부분은 돌출되고, 헤비도핑부가 형성될 영역에 상응하는 부분은 요입된 러빙롤러를, 그 돌출부가 상기 페이스트 층과 맞닿은 상태로 회전시켜, 상기 기판의 라이트 도핑부가 형성될 영역 위에 도포된 페이스트의 일부를 제거함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 태양전지의 선택적 에미터 형성방법
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제2항에 있어서, 상기 러빙롤러는 스틸, 스테인레스스틸 및 구리로 이루어진 군에서 선택되는 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 선택적 에미터 형성방법
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제2항에 있어서, 상기 러빙롤러의 외주부는 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌 나프탈레이트, 폴리비닐 알코올, 폴리디메틸 실록산, 폴리카보네이트, 폴리에스테르, 폴리에스테르술포네이트, 폴리술포네이트, 폴리아크릴레이트, 불화 폴리이미드, 불화 수지, 폴리아크릴, 폴리에폭시, 폴리에틸렌, 폴리스타이렌, 폴리비닐클로라이드, 폴리비닐부티랄, 폴리아세탈, 폴리아미드, 폴리아미드이미드, 폴리에테르이민, 폴리페닐렌 설파이드, 폴리에테르술폰, 폴리에테르케톤, 폴리프탈아미드, 폴리에테르나이트릴, 폴리벤즈이미다졸, 폴리메틸(메트)아크릴레이트, 폴리메타크릴아미드, 에폭시 수지, 페놀 수지, 멜라민 수지, 우레아 수지, 나이트릴 고무, 아크릴 고무, 폴리부타디엔, 폴리이소프렌, 부틸 고무 및 폴리(스타이렌-코-부타디엔)로 이루어진 군에서 선택되는 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 선택적 에미터 형성방법
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제1항에 있어서,상기 반도체 기판은 p형 반도체 기판인 것을 특징으로 하는 태양전지의 선택적 에미터 형성방법
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제1항에 있어서,상기 도펀트는 P, As, Sb로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 선택적 에미터 형성방법
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제1항 내지 제6항에 따른 선택적 에미터 형성방법을 포함하는 태양전지 제조방법
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헤비 도핑부와 라이트 도핑부를 포함하는 태양전지의 선택적 에미터 형성장치에 있어서,반도체 기판 위에 도펀트 페이스트를 도포하는 스프레이 도퍼;상기 스프레이 도퍼 아래에서 상기 기판을 지지하며 이송시키는 제1 컨베이어;그 외주부 중 상기 기판의 라이트 도핑부가 형성될 영역에 상응하는 부분은 돌출되고, 헤비 도핑부가 형성될 영역에 상응하는 부분은 요입되며, 그 돌출부가 상기 기판 위에 도포된 페이스트와 맞닿은 상태로 회전하여, 상기 기판의 라이트 도핑부가 형성될 영역 위에 도포된 페이스트의 일부를 제거하는 러빙롤러; 상기 제1 컨베이어로부터 상기 기판을 전달받아 상기 기판에 도포된 페이스트가 상기 러빙롤러와 맞닿은 상태로 이송되도록 상기 기판을 지지하며 이송시키는 제2 컨베이어; 및상기 제2 컨베이어로부터 상기 기판을 전달받아 상기 러빙롤러에 의해 단차가 형성된 페이스트 층을 열처리하는 퍼니스;를 포함하는 태양전지의 선택적 에미터 형성장치
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제8항에 있어서, 상기 러빙롤러는 스틸, 스테인레스스틸 및 구리로 이루어진 군에서 선택되는 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 선택적 에미터 형성장치
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제8항에 있어서, 상기 러빙롤러의 외주부는 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌 나프탈레이트, 폴리비닐 알코올, 폴리디메틸 실록산, 폴리카보네이트, 폴리에스테르, 폴리에스테르술포네이트, 폴리술포네이트, 폴리아크릴레이트, 불화 폴리이미드, 불화 수지, 폴리아크릴, 폴리에폭시, 폴리에틸렌, 폴리스타이렌, 폴리비닐클로라이드, 폴리비닐부티랄, 폴리아세탈, 폴리아미드, 폴리아미드이미드, 폴리에테르이민, 폴리페닐렌 설파이드, 폴리에테르술폰, 폴리에테르케톤, 폴리프탈아미드, 폴리에테르나이트릴, 폴리벤즈이미다졸, 폴리메틸(메트)아크릴레이트, 폴리메타크릴아미드, 에폭시 수지, 페놀 수지, 멜라민 수지, 우레아 수지, 나이트릴 고무, 아크릴 고무, 폴리부타디엔, 폴리이소프렌, 부틸 고무 및 폴리(스타이렌-코-부타디엔)로 이루어진 군에서 선택되는 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 선택적 에미터 형성장치
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제8항에 있어서, 상기 태양전지의 선택적 에미터 형성장치는 상기 러빙롤러의 돌출부와 접하며 회전하여 상기 러빙롤러의 돌출부에 도포된 페이스트를 제거하는 보조롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 선택적 에미터 형성장치
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제8항에 있어서, 상기 퍼니스는 상기 제2 컨베이어로부터 상기 기판을 전달받아 상기 퍼니스 내에서의 열처리동안 상기 기판을 지지하며 이송시키는 제3 컨베이어;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 선택적 에미터 형성장치
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