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유리기판이 로딩되는 척(chuck); 및상기 척의 상측에 위치하고, 끝단 측부에 일시적으로 좁아지는 조임부가 형성된 분사공이 적어도 하나 경사지게 형성되며, 외부로부터 유입되는 탈이온수가 상기 분사공의 상기 조임부를 지나면서 유속이 증가하여 상기 유리기판 상에 강하게 분사되는 하나 이상의 분사노즐을 포함하여 구성되는 포토공정 파티클 제거장치
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제1항에 있어서, 상기 분사노즐은 상기 탈이온수가 유입되는 중공형(中孔型)을 갖는 노즐 본체; 및 상기 노즐 본체의 단부에 체결되고, 측부에 상기 중공형보다 작은 직경을 가지는 상기 분사공이 적어도 하나 형성된 노즐 팁을 포함하여 구성되는 포토공정 파티클 제거장치
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제2항에 있어서, 상기 분사공을 통하여 분사되는 상기 탈이온수의 분사력은 동일한 것을 특징으로 하는 포토공정 파티클 제거장치
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제2항에 있어서, 상기 노즐 본체와 상기 노즐 팁은 볼트와 너트의 구조로 형성되어 체결되는 것을 특징으로 하는 포토공정 파티클 제거장치
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제1항에 있어서, 상기 분사공은 내측에서 외측으로 갈수록 좁아지는 끝조임(혹은 수축) 형상인 것을 특징으로 하는 포토공정 파티클 제거장치
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제1항에 있어서, 상기 분사공은 내측에서 외측으로 갈수록 넓어지는 발산(혹은 확대) 형상인 것을 특징으로 하는 포토공정 파티클 제거장치
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제1항에 있어서, 상기 분사공은 내측 및 외측의 분사공 직경이 서로 다른 것을 특징으로 하는 포토공정 파티클 제거장치
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제1항에 있어서, 상기 분사공은 가운데 영역의 분사공 직경이 내측 및 외측의 분사공 직경과 서로 다른 것을 특징으로 하는 포토공정 파티클 제거장치
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제1항에 있어서, 상기 탈이온수는 상기 분사공을 통해 스프레이방식으로 분사되는 것을 특징으로 하는 포토공정 파티클 제거장치
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제1항에 있어서, 상기 분사 노즐은 테프론(teflon)을 재질로 하여 형성되는 것을 특징으로 하는 포토공정 파티클 제거장치
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제1항에 있어서, 상기 척의 가장자리영역으로는 상측에 로딩되는 상기 유리기판과 직접적으로 맞닿는 것을 방지하는 지지핀(supprot pin)이 추가적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 포토공정 파티클 제거장치
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제1항에 있어서, 상기 척은 별도의 모터와 연동하여 회전할 수 있는 것을 특징으로 하는 포토공정 파티클 제거장치
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탈이온수가 유입되는 중공형(中孔型)을 갖는 노즐 본체; 및 상기 노즐 본체의 단부에 체결되고, 측부에 상기 중공형보다 작은 직경을 가지며 일시적으로 좁아지는 조임부가 형성된 분사공이 적어도 하나 경사지게 형성되고, 상기 탈이온수가 상기 분사공의 상기 조임부를 지나면서 유속이 증가하여 외부로 강하게 분사되는 노즐 팁을 포함하여 구성되는 포토공정 파티클 제거장치의 분사노즐
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제14항에 있어서, 상기 분사공은 내측에서 외측으로 갈수록 좁아지는 끝조임(혹은 수축) 형상인 것을 특징으로 하는 포토공정 파티클 제거장치의 분사노즐
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제14항에 있어서, 상기 분사공은 내측에서 외측으로 갈수록 넓어지는 발산 형상인 것을 특징으로 하는 포토공정 파티클 제거장치의 분사노즐
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제14항에 있어서, 상기 분사공은 내측 및 외측의 분사공 직경이 서로 다른 것을 특징으로 하는 포토공정 파티클 제거장치의 분사노즐
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제14항에 있어서, 상기 분사공은 가운데 영역의 분사공 직경이 내측 및 외측의 분사공 직경과 서로 다른 것을 특징으로 하는 포토공정 파티클 제거장치의 분사노즐
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제14항에 있어서, 상기 노즐 본체 및 상기 노즐 팁은 볼트와 너트의 구조로 형성되어 체결되는 것을 특징으로 하는 포토공정 파티클 제거장치의 분사노즐
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제14항에 있어서, 상기 분사공을 통해 스프레이방식으로 분사되는 상기 탈이온수의 분사력은 동일한 것을 특징으로 하는 포토공정 파티클 제거장치의 분사노즐
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제14항에 있어서, 상기 노즐 본체 및 상기 노즐 팁은 테프론(teflon)을 재질로 하여 형성되는 것을 특징으로 하는 포토공정 파티클 제거장치의 분사노즐
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