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광을 조명하는 조명부와; 외부 신호를 받아 선택적으로 상기 조명부의 광을 반사시키는 복수개의 마이크로미러들이 배열되어 있는 디지털 마이크로미러 소자(Digital Micromirror Divice, DMD)와; 상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광의 해상도를 조정하여 노광시키는 막으로 투과시키는 프로젝션 렌즈로 구성되며, 상기 디지털 마이크로미러 소자의 복수개의 마이크로미러들 중 적어도 하나 이상의 마이크로미러에 광을 조사하고, 상기 복수개의 마이크로미러들 중 중앙에 위치한 마이크로미러에서 반사된 광을 촬영하여, 촬영된 영상으로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 정렬할 수 있는 위치 정렬부가 더 구비되고,상기 위치 정렬부는,상기 디지털 마이크로미러 소자의 복수개의 마이크로미러들 중 적어도 하나 이상의 마이크로미러에 광을 조사하는 위치 정렬용 조명부와; 상기 프로젝션 렌즈에서 투과된 광을 집광하는 집광렌즈와; 상기 집광렌즈로 집광된 광을 촬영하여 영상으로 출력하는 카메라와; 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 조정하는 위치 조정부로 구성된 마스크 리스(Maskless) 노광 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 위치 정렬용 조명부는,레이저광을 조명하는 광원인 것을 특징으로 하는 마스크 리스 노광 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 카메라는,CCD(Charge Coupled Device)인 것을 특징으로 하는 마스크 리스 노광 장치
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광을 조명하는 조명부와; 외부 신호를 받아 선택적으로 상기 조명부의 광을 반사시키는 복수개의 마이크로미러들이 배열되어 있는 디지털 마이크로미러 소자(Digital Micromirror Divice, DMD)와; 상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광의 해상도를 조정하여 노광시키는 막으로 투과시키는 프로젝션 렌즈로 구성되며, 상기 디지털 마이크로미러 소자에 조사된 광을 입사받아, 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치값을 검출하고, 검출된 위치값으로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 정렬할 수 있는 위치 정렬부가 더 구비되고,상기 위치 정렬부는,상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 후, 상기 프로젝션 렌즈에서 투과된 광을 입력받아, 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치 좌표를 검출하는 위치 검출 센서와; 상기 위치 검출 센서에서 검출된 위치 좌표로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 보정하는 값을 출력하는 위치 보정부와; 상기 위치 보정부에서 출력된 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치 보정값으로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 조정하는 스테이지로 구성된 마스크 리스 노광 장치
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광을 조명하는 조명부와; 외부 신호를 받아 선택적으로 상기 조명부의 광을 반사시키는 복수개의 마이크로미러들이 배열되어 있는 디지털 마이크로미러 소자(Digital Micromirror Divice, DMD)와; 상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광의 해상도를 조정하여 노광시키는 막으로 투과시키는 프로젝션 렌즈로 구성되며, 상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광을 촬영하고, 촬영된 영상으로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 정렬할 수 있는 위치 정렬부를 더 구비하고,상기 위치 정렬부는,상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 위치 마크 이미지 패턴이 포함된 광을 촬영하는 카메라와; 상기 카메라에서 촬영된 영상에 포함된 위치 마크 이미지 패턴을 인식하여 위치 편차를 계산하여 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 보정하는 값을 출력하는 위치 보정부와; 상기 위치 보정부에서 출력된 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치 보정값으로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 조정하는 스테이지로 구성된 마스크 리스 노광 장치
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위치 정렬용 조명부에서 디지털 마이크로미러 소자의 복수개의 마이크로미러들 중 적어도 하나 이상의 마이크로미러에 광을 조사하는 단계와;상기 조사된 광을 상기 마이크로미러에서 반사시키는 단계와;상기 마이크로미러에서 반사된 광을 카메라에서 촬영하여 영상으로 출력하는 단계와;상기 촬영된 영상으로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치 정렬 상태를 판단하는 단계와;상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치가 정렬되어 있지 않으면, 위치 조정부로 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 조정하여 정렬시키는 단계로 이루어지고,상기 마이크로미러에서 반사된 광은 프로젝션 렌즈에서 투과되고, 상기 투과된 광을 집광렌즈에서 집광되고, 상기 집광렌즈에서 집광된 광을 상기 카메라에서 촬영하여 영상으로 출력하는 마스크 리스 노광 장치의 정렬 방법
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조명부에서 조명된 광을 디지털 마이크로미러 소자에서 반사하는 단계와;상기 디지털 마이크로미러 소자에서 반사된 광을 입력받아 위치 검출 센서에서 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치 좌표를 검출하는 단계와;상기 위치 검출 센서에서 검출된 위치 좌표를 위치 보정부에서 입력받아, 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 보정하는 값을 출력하는 단계와;상기 위치 보정부에서 출력된 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치 보정값을 스테이지가 입력받아, 상기 디지털 마이크로미러 소자의 위치를 조정하여 정렬하는 단계로 이루어지고,상기 디지털 마이크로미러 소자가 반사된 광에는 위치 마크 이미지 패턴이 포함되어 있는 마스크 리스 노광 장치의 정렬 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 조명부는, 레이저광을 조명하는 조명부인 것을 특징으로 하는 마스크 리스 노광 장치의 정렬 방법
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