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노광용 기준 마크를 형성하는 장치

  • 기술번호 : KST2015047057
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요약 본 발명은 노광용 기준 마크를 형성하는 장치와 방법, 및 표시 패널용 기판의 제조 방법에 관한 것으로, 장치는 노광할 막이 형성되어 있는 글라스가 상부에 놓여지는 스테이지(Stage)와; 노광용 기준 마크가 형성되도록, 상기 스테이지 상부의 글라스를 통하여 패턴된 광을 상기 노광할 막에 조사하는 복수개의 광원부들로 구성된다.그러므로, 본 발명은 복수개의 노광 마크를 하나의 장치에서 신속히 형성할 수 있는 효과가 있다.또한, 본 발명은 노광용 기준 마크들을 인식하면서, 대면적 글라스 상부에 있는 노광할 영역들을 순차적으로 노광할 수 있으므로, 노광 오차를 줄일 수 있어 노광의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.노광, 기준마크, 형성, 레이저광, 글라스
Int. CL G02F 1/13 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC H01L 23/544(2013.01) H01L 23/544(2013.01) H01L 23/544(2013.01) H01L 23/544(2013.01)
출원번호/일자 1020070005510 (2007.01.18)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-1372036-0000 (2014.03.03)
공개번호/일자 10-2008-0068170 (2008.07.23) 문서열기
공고번호/일자 (20140310) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.01.17)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송민규 대한민국 경기도 화성시
2 하철호 대한민국 경기도 오산시 운암로 ***,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
3 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2007-0051298-17
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2012-0044226-38
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.04.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0027932-09
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0420109-06
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.08.05 수리 (Accepted) 1-1-2013-0707411-31
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.08.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0707417-15
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.12.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0876515-46
12 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2014.01.14 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2014-0001499-08
13 등록결정서
Decision to grant
2014.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0128304-65
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
노광할 막이 형성되어 있는 글라스가 상부에 놓여지는 스테이지(Stage)와; 노광용 기준 마크가 형성되도록, 상기 스테이지 상부의 글라스를 통하여 패턴된 광을 상기 노광할 막에 조사하는 복수개의 광원부들로 구성되고,상기 광원부는 레이저 광원과;상기 레이저 광원에서 출사된 레이저빔의 직경을 확장하는 빔 확대기(Beam expander)와; 상기 빔 확대기에서 출사된 레이저광을 패턴된 레이저광으로 투과시키는 마스크; 및상기 빔 확대기를 통과한 상기 레이저 광을 상기 마스크로 향하도록 하는 빔 가이드를 포함하고,상기 빔 가이드는 상기 마스크를 지지하도록 구성된 노광용 기준 마크를 형성하는 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 글라스를 상승 및 하강시키도록 상기 스테이지에 설치된 복수개의 리프트 핀(Lift pin)들이 더 구비된 것을 특징으로 하는 노광용 기준 마크를 형성하는 장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 광원부들에서 조사되는 광은 레이저광인 것을 특징으로 하는 노광용 기준 마크를 형성하는 장치
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 노광할 막에 상기 패턴된 레이저광이 조사될 때, 상기 노광할 막에서 기화되는 가스를 흡입하는 흡입부가 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 노광용 기준 마크를 형성하는 장치
5 5
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스테이지 상부면에는,진공펌프와 연결된 복수개의 진공홀들이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 노광용 기준 마크를 형성하는 장치
6 6
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스테이지는,화강석(Granite)으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 노광용 기준 마크를 형성하는 장치
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.