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베이스와; 상기 베이스의 상부에 일 측 단부가 돌출되어 외팔보 구조로 배치되는 액추에이터와; 상기 액추에이터의 일 영역에 구비되며, 상기 일 영역으로부터 돌출되는 3차원 구조의 반응면적을 가지도록 카본 와이어, 카본 튜브 및 필라 구조물 중 어느 하나로 형성되며, 상기 반응면적에는 피검출 물질에 대한 반응 유도물질이 형성되는 반응부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 센서유닛
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제 1 항에 있어서, 상기 액추에이터는 압전구동이 가능한 것을 특징으로 하는 센서유닛
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제 1 항에 있어서, 상기 액추에이터는 압전부재와; 압전부재가 노출되지 않도록 구비되는 제 1 지지부재 및 제 2 지지부재와; 상기 압전부재에 일 단부가 연결되고, 다른 일 단부는 외부의 검출장치와 연결 가능하게 노출되는 접속부를 가지는 통전부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 센서유닛
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4
제 1 항에 있어서, 상기 액추에이터는 압전부재와; 압전부재가 노출되지 않도록 구비되는 제 1 지지부재 및 제 2 지지부재와; 상기 제 2 지지부재의 어느 일 위치에 구비되어 비아를 통해 상기 압전부재와 통전 가능하게 연결되는 커넥터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 센서유닛
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5
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 압전부재는 물리적 변형에 의해 전류가 발생되는 것을 특징으로 하는 센서유닛
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6
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 압전부재는 물리적 변형에 의해 저항값이 변하는 것을 특징으로 하는 센서유닛
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삭제
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삭제
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제 1 항에 있어서, 상기 반응부는 화학적 반응이 가능한 피검출 물질에 반응하게 되는 것을 특징으로 하는 센서유닛
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11
제 1 항에 있어서, 상기 반응부는 상기 반응부는 생체적 반응이 가능한 피검출 물질에 반응하게 되는 것을 특징으로 하는 센서유닛
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12
제 1 항에 있어서, 상기 반응부는 평면 구조의 반응면적을 가지는 반응부재와 3차원 구조의 반응면적을 가지는 반응부재가 함께 구성되는 것을 특징으로 하는 센서유닛
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13
베이스 형성부재의 일 면에 피에조에 의해 구동되는 액추에이터가 형성되는 단계와; 상기 액추에이터가 외팔보 구조를 갖도록 베이스 형성부재의 일 영역을 제거되는 단계와; 상기 액추에이터의 어느 일 영역에 돌출되는 3차원 구조의 반응면적을 가지도록 카본 와이어, 카본 튜브 및 필라 구조물 중 어느 하나로 기초 반응부재가 형성되는 단계와; 상기 기초 반응부재의 외부면에 피검출 물질과 반응하게 되는 반응 유도물질이 형성되는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 센서유닛의 제조방법
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14
제 13 항에 있어서, 상기 액추에이터 형성단계는 베이스 형성부재의 일 면에 제 1 지지부재가 형성되는 단계와; 상기 제 1 지지부재에 압전부재가 형성되는 단계와; 상기 압전부재에 연결되는 통전부재가 형성되는 단계와; 상기 압전부재가 내부에 수용되며, 통전부재의 일 단부가 외부의 검출장치와 연결 가능하도록 제 2 지지부재가 형성되는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 센서유닛의 제조방법
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15
제 13 항에 있어서, 상기 액추에이터 형성단계는 베이스 형성부재의 일 면에 제 1 지지부재가 형성되는 단계와; 상기 제 1 지지부재에 압전부재가 형성되는 단계와; 상기 압전부재가 내부에 수용되도록 제 2 지지부재가 형성되는 단계와; 상기 제 2 지지부재의 어느 일 위치를 통해 일 단부가 상기 압전부재와 통전 가능하게 연결되며, 다른 일 단부가 외부로 노출되는 비아가 형성되는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 센서유닛의 제조방법
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16
제 15 항에 있어서, 상기 비아의 외부로 노출된 단부에는 외부의 검출장치와 연결 가능하도록 커넥터가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 센서유닛의 제조방법
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제 13 항에 있어서, 상기 기초 반응부재의 형성단계는 반응영역을 형성시키기 위한 기초부재를 기반으로 하여 기초 반응부재가 3차원 반응면적을 가지도록 성장되는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 센서유닛의 제조방법
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제 13 항에 있어서, 상기 반응 유도물질은 화학적 반응이 가능한 피검출 물질에 반응하게 되는 것 또는 생체적 반응이 가능한 피검출 물질에 반응하게 되는 것 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 센서유닛의 제조방법
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