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카세트 세정장치

  • 기술번호 : KST2015047336
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요약 본 발명은 스토커 선반이나 적재기와 접촉하는 카세트 하부의 금속성 입자를 제거하기 위한 카세트 세정 장치에 관한 것이다.본 발명에 따른 카세트 세정장치는 이격된 복수의 안착부; 상기 인접한 안착부에 안착되는 카세트; 상기 인접한 안착부 사이에 이동가능하게 설치되어 상기 카세트의 배면을 따라 이동하면서 상기 카세트를 세정하는 하나 이상의 하부 세정부를 포함하여 구성된다.이러한 구성에 의하여 본 발명은 카세트 하부의 금속성 입자를 제거하여 액정 표시장치 제조 공정시 발생하는 글래스 불량 및 클린룸 내 이물질 발생을 최소화하여 공정 생산성 향상에 기여할 수 있다.카세트, 분사노즐, LM 가이드, 세정
Int. CL H01L 21/00 (2006.01) H01L 21/673 (2006.01)
CPC B08B 3/02(2013.01) B08B 3/02(2013.01)
출원번호/일자 1020070014234 (2007.02.12)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1385456-0000 (2014.04.09)
공개번호/일자 10-2008-0075283 (2008.08.18) 문서열기
공고번호/일자 (20140421) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.01)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성우 대한민국 경기 파주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2007-0126306-21
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
6 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.02.01 수리 (Accepted) 1-1-2012-0083379-63
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.04.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.06.05 수리 (Accepted) 9-1-2013-0043820-69
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.08.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0533991-55
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0884535-45
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.11.01 수리 (Accepted) 1-1-2013-0996234-56
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.11.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0996231-19
13 등록결정서
Decision to grant
2014.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0190439-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
서로 이격된 2개의 안착블록들로 구성된 제 1 안착부;상기 제 1 안착부의 2개의 안착블록들로부터 간격을 두고 떨어져 있으며, 서로 이격된 또 다른 2개의 안착블록들로 구성된 제 2 안착부;상기 4개의 안착블록들에 안착되는 카세트;상기 제 1 안착부와 제 2 안착부 사이에 이동가능하게 설치되어 상기 카세트의 하부를 따라 이동하면서 상기 카세트의 하부 세정하는 하나 이상의 하부 세정부를 포함하며;상기 카세트는 이의 하부가 중력 방향을 향하도록 상기 4개의 안착블록들 상에 놓여져 있으며;상기 카세트의 하부는 스토커 선반이나 적재기와 접촉하는 면이며;상기 하부 세정부 각각은, 상기 카세트의 하부로 세정수를 분사하는 하나 이상의 세정수 분사노즐이 설치된 이동 블록과, 상기 제 1 안착부와 제 2 안착부 사이에 배치되어 상기 이동 블록 각각을 이동시키는 하나 이상의 레일과, 상기 레일을 따라 상기 이동 블록을 이동시키기 위한 실린더와, 상기 카세트의 하부를 세정함과 동시에 건조시키기 위한 가스를 분사하는 하나 이상의 가스 분사노즐을 포함함을 특징으로 하는 카세트 세정장치
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3 3
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삭제
6 6
제 1 항에 있어서,상기 카세트의 상부에 대향되도록 설치되어 상기 카세트 쪽으로 세정수를 분사하는 상부 세정부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치
7 7
제 6 항에 있어서,상기 상부 세정부는 회전 가능한 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치
8 8
제 6 항에 있어서,상기 상부 세정부 각각은;상기 세정수가 공급되는 세정수 공급배관; 및상기 세정수 공급배관에 설치되어 상기 세정수를 상기 카세트에 분사하는 하나 이상의 세정수 분사노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치
9 9
제 6 항에 있어서,상기 상부 세정부 각각은;가스가 공급되는 가스 공급배관; 및상기 가스 공급배관에 설치되어 상기 가스를 상기 카세트에 분사하는 하나 이상의 가스 분사노즐을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치
10 10
제 1 항에 있어서,상기 카세트의 적어도 한 측면에 대향되도록 설치되어 상기 카세트 쪽으로 세정수를 분사하는 측부 세정부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치
11 11
제 10 항에 있어서,상기 측부 세정부 각각은;상기 세정수가 공급되는 세정수 공급배관; 및상기 세정수 공급배관에 설치되어 상기 세정수를 상기 카세트에 분사하는 하나 이상의 세정수 분사노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치
12 12
제 10 항에 있어서,상기 측부 세정부 각각은;가스가 공급되는 가스 공급배관; 및 상기 가스 공급배관에 설치되어 상기 가스를 상기 카세트에 분사하는 하나 이상의 가스 분사노즐을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.