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전자가 방출되는 애노드실린더;상기 애노드실린더의 양단에 설치되어 자기에너지를 모으기 위한 폴피스;상기 애노드실린더의 측면과 평행하게 설치된 마그네트; 상기 마그네트의 양단에 설치되어 상기 마그네트를 지지하며, 상기 애노드실린더와 상기 마그네트 사이에 자기회로를 형성하는 요크; 및상기 요크와 상기 폴피스 사이에 설치된 스페이서;를 포함하는 마그네트론 유닛
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제 1 항에 있어서,상기 마그네트는 알루미늄, 니켈 또는 코발트 중에서 적어도 하나를 포함한 것을 특징으로 하는 마그네트론 유닛
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제 1 항에 있어서,상기 마그네트는, 상기 애노드실린더의 길이방향의 중심선에 대하여 대칭으로 배치된 것을 특징으로 하는 마그네트론 유닛
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제 4 항에 있어서,상기 마그네트는, 상기 애노드실린더와 이격되어 설치된 것을 특징으로 하는 마그네트론 유닛
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제 1 항에 있어서,상기 요크는 상부 및 하부 요크로 이루어지며, 상기 상부요크와 상기 하부요크를 결합하기 위한 체결부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마그네트론 유닛
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제 1 항에 있어서,상기 스페이서와 상기 폴피스 사이에는 실링부재가 형성된 것을 특징으로 하는 마그네트론 유닛
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전자가 방출되는 애노드실린더;상기 애노드실린더의 양단에 설치되며, 중심부가 돌출 형성된 폴피스;상기 애노드실린더의 길이방향을 따라, 그 양측에 평행하게 설치된 원주형의 마그네트; 상기 마그네트를 지지하기 위해 상기 마그네트의 양단에 각각 설치된 요크; 상기 요크와 상기 폴피스 사이에 설치된 원통형의 스페이서; 및상기 애노드실린더에서 발생한 열을 방열하기 위해 상기 애노드실린더를 감싸며 상기 마그네트의 일측으로 돌출된 연장부를 구비한 방열부재;를 포함하는 마그네트론 유닛
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제 8 항에 있어서,상기 방열부재에는, 상기 애노드실린더 및 상기 마그네트를 삽입하기 위한 구멍이 형성된 것을 특징으로 하는 마그네트론 유닛
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제 8 항에 있어서,상기 요크는, 그 폭이 상기 마그네트의 직경 보다는 크고 상기 애노드실린더의 직경 보다는 작은 것을 특징으로 하는 마그네트론 유닛
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제 8 항에 있어서,상기 폴피스는, 돌출형성된 중심부와, 상기 중심부의 가장자리로부터 반경방향으로 연장형성된 테두리부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 마그네트론 유닛
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제 11 항에 있어서,상기 마그네트의 직경은, 상기 폴피스의 테두리부의 내경 보다 크고 상기 애노드실린더의 직경 보다 작은 것을 특징으로 하는 마그네트론 유닛
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제 11 항에 있어서,상기 스페이서의 직경은, 상기 폴피스의 테두리부의 외경 보다 크고 상기 애노드실린더의 직경 보다 작은 것을 특징으로 하는 마그네트론 유닛
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제 8 항 내지 제 13 중 어느 한 항에 있어서,상기 마그네트는, 알루미늄, 니켈 또는 코발트 중 적어도 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 마그네트론 유닛
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