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산화아연계 다층 박막 및 그 제조방법

기술번호 : KST2015047548
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 기판; 산화칼슘(CaO)을 포함하는 중간층(interlayer) 박막; 및 산화아연(ZnO)계 박막을 포함하는 다층 박막으로서, 상기 산화아연계 박막은 2이상의 서로 다른 결정 배향(Crystal Orientation)을 동시에 갖는 것이 특징인 다층 박막, 그 제조방법 및 상기 다층 박막을 구비한 자외선 광 검출기를 제공한다. 본 발명은 기판과 산화아연계 박막 사이에 산화칼슘 중간층 박막을 개재시킴으로써, 산화아연이 단일 배향으로 결정 성장하지 않고, 2 이상의 결정 성장 배향을 가지며 성장하도록 할 수 있으며, 이러한 다배향성 박막을 증착장치의 구조 변경 없이도 용이하게 제작할 수 있다. 이러한 다배향성 산화아연계 박막은 빠른 광 응답속도를 가질 수 있기 때문에 자외선 광 검출기 용도로 적용이 가능하다. 산화아연, 산화칼슘, 중간층, 박막, 결정배향, 광 검출기
Int. CL	H01L 31/10 (2006.01)
CPC	H01L 31/0445(2013.01)
출원번호/일자	1020070019071 (2007.02.26)
출원인	주식회사 엘지화학
등록번호/일자	10-1009532-0000 (2011.01.12)
공개번호/일자	10-2008-0079044 (2008.08.29) 문서열기
공고번호/일자	(20110118) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2008.04.28)
심사청구항수	13

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	주식회사 엘지화학	대한민국	서울특별시 영등포구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	장현우	대한민국	대전 서구
2	방정식	대한민국	대전 유성구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	홍원진	대한민국	서울특별시 강남구 역삼로 **, 층 (역삼동, 신성빌딩)(특허법인천문)
2	함현경	대한민국	서울시 송파구 법원로 *** 대명타워 *층(한얼국제특허사무소)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	주식회사 엘지화학	대한민국	서울특별시 영등포구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2007.02.26	수리 (Accepted)	1-1-2007-0165412-11
2	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)	2008.04.28	수리 (Accepted)	1-1-2008-0301807-34
3	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2009.05.19	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2009.06.12	수리 (Accepted)	9-1-2009-0034600-93
5	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2009.12.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2009-0521837-89
6	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2010.02.18	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2010-0106688-71
7	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2010.02.18	수리 (Accepted)	1-1-2010-0106653-84
8	최후의견제출통지서 Notification of reason for final refusal	2010.06.08	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2010-0244105-25
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2010.07.16	수리 (Accepted)	1-1-2010-0460593-46
10	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2010.07.16	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2010-0460610-35
11	등록결정서 Decision to grant	2010.12.30	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2010-0603055-17
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2015.01.02	수리 (Accepted)	4-1-2015-5000389-31
13	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2015.12.02	수리 (Accepted)	4-1-2015-5161532-51
14	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2018.11.12	수리 (Accepted)	4-1-2018-5227604-80
15	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2018.12.19	수리 (Accepted)	4-1-2018-5261818-30
16	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.08.19	수리 (Accepted)	4-1-2019-5164284-96

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 기판; 산화칼슘(CaO)을 포함하는 중간층(interlayer) 박막; 및 산화아연계 박막을 포함하는 다층박막으로서, 기판과 산화아연계 박막 사이에 산화칼슘(CaO)을 포함하는 중간층(interlayer) 박막을 개재시킴으로써, 상기 산화아연계 박막은 우선배향인 ZnO(002)면 이외에 다른 결정배향도 더 포함하는 다배향성을 갖는 것이 특징인 다층 박막
2	2 제 1항에 있어서, 상기 다층 박막은 자외선 광 검출기(UV Photo Detector)에 사용되는 것이 특징인 다층 박막
3	3 제 1항에 있어서, 상기 산화아연계 박막은 ZnO(002)면과 ZnO(100)면의 결정배향을 갖거나, ZnO(002)면과 ZnO(101)면의 결정배향을 갖거나, 또는 ZnO(002)면, ZnO(100)면 및 ZnO(101)면의 결정배향을 갖는 것이 특징인 다층 박막
4	4 제 1항에 있어서, 상기 산화아연계 박막은 Al, Ga, In, B, Tl, Sc, V, Cr, Mn, Fe, Co, 및 Ni으로 구성된 군에서 선택된 도판트를 0
5	5 제 1항에 있어서, 상기 산화칼슘(CaO)을 포함하는 중간층 박막의 두께는 5 ~ 100 nm 범위인 것이 특징인 다층 박막
6	6 제 1항에 있어서, 상기 기판은 유리 또는 플라스틱 기판인 것이 특징인 다층 박막
7	7 제 1항에 있어서, 상기 중간층 박막 및 산화아연계 박막은 스퍼터링에 의하여 증착된 것이 특징인 다층 박막
8	8 제 7항에 있어서, 25℃ ~ 300℃의 증착 온도에서 증착된 것이 특징인 다층 박막
9	9 a) 기판 위에 산화칼슘(CaO)을 포함하는 중간층(interlayer) 박막을 증착시키는 단계; 및 b) 상기 중간층 박막 위에 산화아연(ZnO)계 박막을 증착시키는 단계를 포함하는, 우선배향인 ZnO(002)면 이외에 다른 결정배향도 더 포함하는 다배향성을 갖는 산화아연계 박막을 구비한 다층 박막의 제조방법
10	10 제 9항에 있어서, 상기 중간층 박막 및 산화아연계 박막은 스퍼터링에 의하여 증착하는 것이 특징인 다층 박막의 제조방법
11	11 제 9항에 있어서, 상기 a)와 b) 단계는 하나의 시스템 내에서 연속적으로 수행되는 것이 특징인 다층 박막의 제조방법
12	12 제 9항에 있어서, 상기 a)와 b) 단계는 각각 독립적으로 25℃ ~ 300℃의 온도에서 수행되는 것이 특징인 다층 박막의 제조방법
13	13 제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 기재된 다층 박막을 구비한 자외선 광 검출기(UV Photo Detector)

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1009532-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20070226 출원 번호 : 1020070019071 공고 연월일 : 20110118 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20101230 청구범위의 항수 : 13 유별 : H01L 31/10 발명의 명칭 : 산화아연계 다층 박막 및 그 제조방법 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 주식회사 엘지화학 서울특별시 영등포구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	552,000 원	2011년 01월 12일	납입
제 4 년분	금 액	326,000 원	2014년 01월 03일	납입
제 5 년분	금 액	326,000 원	2014년 12월 31일	납입
제 6 년분	금 액	326,000 원	2015년 12월 29일	납입
제 7 년분	금 액	594,000 원	2016년 12월 27일	납입
제 8 년분	금 액	594,000 원	2018년 01월 02일	납입
제 9 년분	금 액	594,000 원	2019년 01월 07일	납입
제 10 년분	금 액	955,000 원	2020년 01월 02일	납입

본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2007.02.26	수리 (Accepted)	1-1-2007-0165412-11
2	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서	2008.04.28	수리 (Accepted)	1-1-2008-0301807-34
3	선행기술조사의뢰서	2009.05.19	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	선행기술조사보고서	2009.06.12	수리 (Accepted)	9-1-2009-0034600-93
5	의견제출통지서	2009.12.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2009-0521837-89
6	[명세서등 보정]보정서	2010.02.18	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2010-0106688-71
7	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2010.02.18	수리 (Accepted)	1-1-2010-0106653-84
8	최후의견제출통지서	2010.06.08	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2010-0244105-25
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2010.07.16	수리 (Accepted)	1-1-2010-0460593-46
10	[명세서등 보정]보정서	2010.07.16	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2010-0460610-35
11	등록결정서	2010.12.30	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2010-0603055-17
12	출원인정보변경(경정)신고서	2015.01.02	수리 (Accepted)	4-1-2015-5000389-31
13	출원인정보변경(경정)신고서	2015.12.02	수리 (Accepted)	4-1-2015-5161532-51
14	출원인정보변경(경정)신고서	2018.11.12	수리 (Accepted)	4-1-2018-5227604-80
15	출원인정보변경(경정)신고서	2018.12.19	수리 (Accepted)	4-1-2018-5261818-30
16	출원인정보변경(경정)신고서	2019.08.19	수리 (Accepted)	4-1-2019-5164284-96


기술번호	KST2015047548
자료제공기관	NTB
기술공급기관	LG그룹
기술명	산화아연계 다층 박막 및 그 제조방법
기술개요	본 발명은 기판; 산화칼슘(CaO)을 포함하는 중간층(interlayer) 박막; 및 산화아연(ZnO)계 박막을 포함하는 다층 박막으로서, 상기 산화아연계 박막은 2이상의 서로 다른 결정 배향(Crystal Orientation)을 동시에 갖는 것이 특징인 다층 박막, 그 제조방법 및 상기 다층 박막을 구비한 자외선 광 검출기를 제공한다. 본 발명은 기판과 산화아연계 박막 사이에 산화칼슘 중간층 박막을 개재시킴으로써, 산화아연이 단일 배향으로 결정 성장하지 않고, 2 이상의 결정 성장 배향을 가지며 성장하도록 할 수 있으며, 이러한 다배향성 박막을 증착장치의 구조 변경 없이도 용이하게 제작할 수 있다. 이러한 다배향성 산화아연계 박막은 빠른 광 응답속도를 가질 수 있기 때문에 자외선 광 검출기 용도로 적용이 가능하다. 산화아연, 산화칼슘, 중간층, 박막, 결정배향, 광 검출기
개발상태
기술의 우수성
응용분야
시장규모 및 동향
희망거래유형
사업화적용실적
도입시고려사항

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