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기판 상에 화소 영역을 정의하는 게이트 라인과 데이터 라인과, 상기 게이트 라인과 교차하며 상기 데이터 라인과 평행하게 형성된 전원 라인과,상기 게이트 라인 및 데이터 라인과 접속된 스위칭 박막 트랜지스터와,상기 스위칭 박막 트랜지스터 및 전원 라인과 접속된 구동 박막 트랜지스터와,상기 스위칭 박막 트랜지스터 및 상기 구동 박막 트랜지스터를 덮도록 상기 기판 전면에 형성된 보호막과,상기 구동 박막 트랜지스터와 접속되도록 상기 보호막 상에 형성되며, 화소 전극, 발광층 및 음극을 포함하는 유기발광 다이오드와, 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 드레인 전극, 반도체층, 게이트 절연막 및 상기 보호막을 관통하여 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극 상부면을 노출시키는 콘택홀과,상기 콘택홀에 의해 노출된 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극 상부면을 덮도록 상기 화소 전극과 동일 물질로 상기 보호막 상에 형성되어, 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극을 서로 연결시키는 연결 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광표시장치
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제 1 항에 있어서,상기 전원 라인과 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극이 상기 게이트 절연막을 사이에 두고 중첩되어 형성된 스토리지 캐패시터를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 유기발광표시장치
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제 1 항에 있어서,상기 콘택홀은 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 드레인 전극 및 반도체층을 관통하여 형성된 개구부에 대응되는 상기 게이트 절연막 및 보호막을 더 제거하여 형성된 것을 특징으로 하는 유기발광표시장치
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기판 상에 게이트 라인 및 데이터 라인과 접속된 스위칭 박막 트랜지스터와, 상기 스위칭 박막 트랜지스터 및 전원 라인과 접속된 구동 박막 트랜지스터를 형성하는 단계와,상기 스위칭 박막 트랜지스터와 상기 구동 박막 트랜지스터를 덮도록 상기 기판 상에 보호막을 형성하는 단계와,상기 스위칭 박막 트랜지스터의 드레인 전극, 반도체층, 게이트 절연막 및 상기 보호막을 관통하여 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극 상부면을 노출시키는 콘택홀을 형성하는 단계와,상기 구동 박막 트랜지스터와 접속되도록 상기 보호막 상에 화소 전극, 발광층 및 음극을 포함하는 유기발광 다이오드를 형성하는 단계와,상기 스위칭 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극을 서로 연결하기 위해, 상기 콘택홀에 의해 노출된 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극 상부면을 덮도록 상기 보호막 상에 상기 화소 전극과 동일 물질로 연결 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광표시장치의 제조방법
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제 5 항에 있어서,상기 전원 라인과 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극이 상기 게이트 절연막을 사이에 두고 중첩되도록 스토리지 캐패시터를 형성하는 단계를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 유기발광표시장치의 제조방법
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제 5 항에 있어서,상기 콘택홀은 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 드레인 전극 및 반도체층을 관통하여 형성된 개구부에 대응되는 상기 게이트 절연막 및 보호막을 더 제거하여 형성된 것을 특징으로 하는 유기발광표시장치의 제조방법
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기판 상에 게이트 라인 및 제 1 및 제 2 게이트 전극을 포함한 게이트 패턴을 형성하는 단계와,상기 게이트 패턴이 형성된 기판 상에 게이트 절연막과, 상기 게이트 절연막 상에 상기 게이트 패턴과 중첩되도록 제 1 및 제 2 반도체층과, 상기 제 2 게이트 전극과 중첩된 영역에 개구부를 갖는 제 3 반도체층을 포함한 반도체 패턴을 형성하는 단계와,상기 반도체 패턴이 형성된 상기 게이트 절연막 상에 데이터 라인과, 제 1 및 제 2 소스 전극과, 상기 제 3 반도체층의 개구부와 중첩된 영역에 개구부를 갖는 제 1 드레인 전극 및 제 2 드레인 전극을 포함하는 소스/드레인 패턴을 형성하는 단계와,상기 소스/드레인 패턴 상에 상기 제 3 반도체층의 개구부 및 상기 제 1 드레인 전극의 개구부를 경유하고, 상기 2 게이트 전극을 노출하는 제 1 콘택홀 및 제 2 드레인 전극을 노출하는 제 2 콘택홀을 포함하는 보호막을 형성하는 단계와,상기 보호막 상에 제 2 게이트 전극 및 제 1 드레인 전극을 상기 제 1 콘택홀을 통해 연결하는 연결 전극 및 상기 제 2 콘택홀을 통해 제 2 드레인 전극과 전기적으로 연결되는 화소 전극을 포함하는 투명 도전 패턴을 형성하는 단계와, 상기 투명 도전 패턴을 포함하는 상기 보호막 전면에 화소홀을 갖는 뱅크 절연막을 형성하는 단계와,상기 뱅크 절연막의 화소홀을 경유하도록 발광층을 형성하는 단계와,상기 발광층 및 상기 뱅크 절연막 상에 음극을 형성하는 단계를 포함하고,상기 제 3 반도체층은 상기 제 2 게이트 전극과 제 1 드레인 전극의 중첩부에 형성되고, 상기 제 1 콘택홀은 상기 중첩부에 형성된 것을 특징으로 하는 유기발광표시장치의 제조방법
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