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제1 도전형 반도체 기판, 상기 제1 도전형 반도체 기판 상에 형성되고 상기 제1 도전형 반도체 기판과 반대 도전형을 가지는 제2 도전형 반도체층 및 상기 제1 도전형 반도체 기판과 제2 도전형 반도체층 사이의 계면에 형성된 p-n 접합으로 이루어진 p-n 구조
상기 제2 도전형의 반도체층 상에 형성되고, 40 nm ~ 100 nm의 두께를 갖는 SiNx:H 박막으로 이루어진 제1 반사방지막
상기 제1 반사방지막 상에 형성되고, 실리콘산화질화막으로 이루어진 제2 반사방지막
소정 패턴에 따라 상기 제2 반사방지막 상에 형성되고, 상기 제1 및 제2 반사방지막을 관통하여 제2 도전형 반도체층과 연결되는 전면전극 및
상기 제1 도전형 반도체 기판을 사이에 두고 상기 전면전극과 반대측에, 상기 제1 도전형 반도체 기판과 연결되도록 형성된 후면전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지
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2
제1항에 있어서,
상기 제1 반사방지막은 1
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3
제1항에 있어서,
상기 제2 반사방지막은 10 nm ~200 nm의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 태양전지
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4
제1항에 있어서,
상기 제2 반사방지막은 1
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5
제1항에 있어서,
상기 제1 반사방지막 및 제2 반사방지막은 경계 계면에서 불연속적인 굴절률을 갖는 것을 특징으로 하는 태양전지
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6 |
6
제1항에 있어서,
상기 제1 반사방지막은 PECVD법 또는 CVD법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지
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7
제1항에 있어서,
상기 제2 반사방지막은 PECVD법 또는 CVD법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지
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8
제1항에 있어서,
상기 제1 반사방지막과 제2 반사방지막은 PECVD법에 의해 인시튜 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지
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9
제1항에 있어서,
상기 제1 도전형 반도체 기판은 p형 실리콘 기판이고, 상기 제2 도전형 반도체층은 n형 이미터층인 것을 특징으로 하는 태양전지
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10
제1항에 있어서,
상기 제1 도전형 반도체 기판과 상기 후면전극의 계면에는 상기 제1 도전형 반도체 기판보다 농도가 높은 불순물을 포함하는 BSF(Back Surface Field) 층이 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지
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11
(S1) 제1 도전형 반도체 기판 상에 그에 반대 도전형의 제2 도전형 반도체층을 형성하여 그 계면에 p-n 접합을 형성하는 단계
(S2) 상기 제2 도전형 반도체층 상에 40 nm ~ 100 nm의 두께를 갖는 SiNx:H 박막으로 이루어지는 제1 반사방지막을 형성하는 단계
(S3) 상기 제1 반사방지막 상에 실리콘산화질화막으로 이루어지는 제2 반사방지막을 형성하는 단계
(S4) 상기 제2 반사방지막 상에 제2 도전형 반도체층에 연결되는 전면전극을 형성하는 단계
(S5) 상기 제1 도전형 반도체 기판을 사이에 두고 상기 전면전극과 반대측에, 상기 제1 도전형 반도체 기판과 연결되도록 후면전극을 형성하는 단계를 포함하는 태양전지의 제조방법
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12
제11항에 있어서,
상기 제1 반사방지막은 1
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13
제11항에 있어서,
상기 제2 반사방지막은 10 nm ~ 200 nm의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
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14
제11항에 있어서,
상기 제2 반사방지막은 1
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15
제11항에 있어서,
상기 제1 반사방지막 및 제2 반사방지막은 경계 계면에서 불연속적인 굴절률을 갖도록 형성하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
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16
제11항에 있어서,
상기 제1 반사방지막은 PECVD법 또는 CVD법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
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17
제11항에 있어서,
상기 제2 반사방지막은 PECVD법 또는 CVD법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
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18
제11항에 있어서,
상기 제1 반사방지막과 제2 반사방지막은 PECVD법에 의해 인시튜 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
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19
제11항에 있어서,
상기 제1 도전형 반도체 기판은 p형 실리콘 기판이고, 상기 제2 도전형 반도체층은 n형 이미터층인 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
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20
제11항에 있어서,
상기 제1 도전형 반도체 기판과 상기 후면전극의 계면에는 상기 제1 도전형 반도체 기판보다 농도가 높은 불순물을 포함하는 BSF(Back Surface Field) 층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
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제11항에 있어서,
상기 (S4) 단계에서 상기 전면전극은 전면전극 형성용 페이스트를 제2 반사방지막 상에 소정 패턴으로 도포한 후 열처리함에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
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제11항에 있어서,
상기 (S5) 단계에서 상기 후면전극은 후면전극 형성용 페이스트를 상기 제1 도전형 반도체 기판 상에 소정 패턴으로 도포한 후 열처리함에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
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