맞춤기술찾기

이전대상기술

웨이퍼 처리 장치

  • 기술번호 : KST2015048506
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 이송 과정에서 세정된 웨이퍼가 오염되는 것을 방지하는 웨이퍼 처리 장치가 개시된다. 웨이퍼 처리 장치는, 웨이퍼의 일면을 지지하도록 형성되고, 복수의 웨이퍼가 결합되는 블록, 상기 웨이퍼의 세정 공정이 수행되는 세정유닛 및 상기 블록에 대응된 부분이 개방되고 상기 블록 둘레를 따라 결합되는 링 형태를 갖고 상기 블록에 결합되어 상기 웨이퍼를 이송하는 디마운터를 포함하는 이송유닛을 포함할 수 있다. 따라서, 웨이퍼의 연마 또는 세정 공정이 수행된 웨이퍼를 이송하는 과정에서 상기 웨이퍼에 잔류하는 버블 또는 세정액이 상기 디마운터에 묻는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 디마운터 상에 잔류하는 상기 버블 또는 세정액으로 인해 상기 웨이퍼의 표면이 오염되는 것을 방지한다.CMP, 이송유닛, 디마운터
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01)
CPC H01L 21/67028(2013.01) H01L 21/67028(2013.01) H01L 21/67028(2013.01) H01L 21/67028(2013.01) H01L 21/67028(2013.01)
출원번호/일자 1020070058586 (2007.06.14)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0873236-0000 (2008.12.03)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20081210) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.06.14)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 최철호 대한민국 부산시 남구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2007-0432470-45
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0017212-03
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0173011-30
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.05.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0317317-93
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2008-0317315-02
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2008.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2008-0317314-56
8 등록결정서
Decision to grant
2008.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0501412-96
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼의 일면을 지지하도록 형성되고, 복수의 웨이퍼가 결합되는 블록;상기 웨이퍼의 세정 공정이 수행되는 세정유닛;상기 블록에 대응된 부분이 개방되고 상기 블록 둘레를 따라 결합되는 링 형태를 갖고 상기 블록에 결합되어 상기 웨이퍼를 이송하는 디마운터를 포함하는 이송유닛;을 포함하는 웨이퍼 처리 장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 디마운터는 상기 블록과 상기 디마운터를 이격시키는 스페이서를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 처리 장치
6 6
제1항에 있어서,상기 디마운터가 안착되어 상기 디마운터를 이동시키는 이송레일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 처리 장치
7 7
제1항에 있어서,상기 이송유닛은 상기 세정유닛으로부터 상기 블록을 입출입시키는 이송로봇을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 처리 장치
8 8
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.