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유기 절연막용 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된유기 절연막

  • 기술번호 : KST2015048603
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기 절연막용 감광성 수지 조성물 및 이로 제조된 유기 절연막에 관한 것으로, 보다 상세하게는 A) a) i) 불포화 카르복시산, 불포화 디카르복시산 무수물, 히드록시기를 갖는 불포화 화합물 또는 이들의 혼합물, ii) 입체장애(steric hindrance)를 지닌 벌키(bulky)한 알킬시클로기를 포함하는 불포화 화합물 및 iii) 에폭시기를 갖는 불포화 화합물로 중합된 분자량 7,000 내지 60,000의 수지와; b) a)와 동일한 조성으로 중합된 분자량 2,000 내지 7,000의 수지의 혼합물로 이루어진 알칼리 가용성 수지; B) 감광성 산발생제; C) 접착력 증진제 ; D) 계면활성제 및 E) 유기 용매를 포함하는 유기 절연막용 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 유기 절연막에 관한 것이다. 본 발명에 따라 제조된 유기 절연막은 분자량이 큰 수지와 분자량이 작은 수지의 혼합으로 인한 시너지 효과로, 서로 트레이드-오프(trade-off) 관계에 있는 잔막율, 내열성, 내화학성, 포토 특성, 유전율, 투과도 및 저장 안정성 등을 최적으로 향상시킬 수 있고 각 특성에 대한 충분한 마진을 갖게 하는 장점을 지닌다. 그리하여 반도체소자 및 액정표시소자의 금속막, 반도체막 또는 보호막 등의 TFT 회로 형성 용도로 유용하게 사용될 수 있다.유기 절연막, 층간 절연막, 감광성 산발생제, 알칼리 가용성 수지
Int. CL G03F 7/004 (2006.01)
CPC G03F 7/0045(2013.01) G03F 7/0045(2013.01) G03F 7/0045(2013.01) G03F 7/0045(2013.01)
출원번호/일자 1020070066555 (2007.07.03)
출원인 주식회사 엘지화학
등록번호/일자 10-1249992-0000 (2013.03.27)
공개번호/일자 10-2009-0003686 (2009.01.12) 문서열기
공고번호/일자 (20130402) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020120021259;
심사청구여부/일자 Y (2009.09.18)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 성혜란 대한민국 대전광역시 유성구
2 김경준 대한민국 대전광역시 유성구
3 정혜원 대한민국 대전광역시 유성구
4 박찬효 대한민국 대전광역시 유성구
5 민성준 대한민국 서울특별시 서초구
6 손용구 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.07.03 수리 (Accepted) 1-1-2007-0485785-42
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2009.09.18 수리 (Accepted) 1-1-2009-0575443-56
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.08.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2010.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0549921-38
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.09.13 수리 (Accepted) 9-1-2010-0055481-06
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.04.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0212518-18
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.06.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0457287-43
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.06.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0457284-17
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2011.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0776828-39
10 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2012.02.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0169868-72
11 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner		 2012.06.01 수리 (Accepted) 7-8-2012-0017669-10
12 협의요구서
Request for Consultation		 2012.07.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0426899-30
13 등록결정서
Decision to grant		 2013.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0116544-45
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5000389-31
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5161532-51
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.11.12 수리 (Accepted) 4-1-2018-5227604-80
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5261818-30
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164284-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
A) a) i) 불포화 카르복시산, 불포화 디카르복시산 무수물, 히드록시기를 갖는 불포화 화합물 또는 이들의 혼합물, ii) 입체장애(steric hindrance)를 지닌 벌키(bulky)한 알킬시클로기를 포함하는 불포화 화합물 및 iii) 에폭시기를 갖는 불포화 화합물로 중합된 분자량 7,000 내지 60,000의 수지와; b) a)와 동일한 조성으로 중합된 분자량 2,000 내지 7,000의 수지의 혼합물로 이루어진 알칼리 가용성 수지; B) 감광성 산발생제; C) 접착력 증진제 ; D) 계면활성제 및 E) 유기 용매를 포함하고,상기 A) 알칼리 가용성 수지의 함유량은 총 수지량 100 중량부에 대해 분자량 7,000 내지 60,000 의 수지 (a) 40 내지 99
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 A) a) i)의 불포화 카르복시산, 불포화 디카르복시산 무수물, 히드록시기를 갖는 불포화 화합물 또는 이들의 혼합물은 (메타)아크릴산, 크로톤산, 말레인산, 푸마르산, 시트라콘산, 메타콘산, 이타콘산, (메타)아크릴산히드록시메틸, (메타)아크릴산 2-히드록시에틸, (메타)아크릴산 2-히드록시프로필, (메타)아크릴산 3-히드록시프로필, (메타)아크릴산 4-히드록시부틸, 디에틸렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 프로필렌글리콜모노(메타)아크릴레이트, 모노[2-(메타)아크릴로일옥시에틸]글리코사이드 및 (메타)아크릴산 4-히드록시페닐로 이루어진 군으로부터 선택된 단독 또는 2종 이상의 화합물을 혼합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막용 감광성 수지 조성물
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 A) a) i)의 불포화 카르복시산, 불포화 디카르복시산 무수물, 히드록시기를 갖는 불포화 화합물은 총 단량체 100 중량부에 대하여 3 내지 40 중량부를 사용하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막용 감광성 수지 조성물
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 A) a) ii) 입체장애를 지닌 벌키(bulky)한 알킬시클로기를 포함하는 불포화 화합물은 (메타)아크릴산 시클로펜틸, (메타)아크릴산 시클로헥실, (메타)아크릴산 2-메틸시클로헥실, (메타)아크릴산 디시클로펜타닐옥시에틸, (메타)아크릴산 디시클로펜테닐옥시에틸, (메타)아크릴산 트리시클로[5
5 5
청구항 1에 있어서, 상기 A) a) ii) 입체장애를 지닌 벌키(bulky)한 알킬시클로기를 포함하는 불포화 화합물은 총 단량체 100 중량부에 대하여 3 내지 60 중량부를 사용하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막용 감광성 수지 조성물
6 6
청구항 1에 있어서, 상기 A) a) iii) 에폭시기를 갖는 불포화 화합물은 (메타)아크릴산글리시딜, (메타)아크릴산3,4-에폭시부틸, (메타)아크릴산6,7-에폭시헵틸, (메타)아크릴산2,3-에폭시시클로펜틸, (메타)아크릴산3,4-에폭시시클로헥실, α-에틸아크릴산글리시딜, α-에틸아크릴산6,7-에폭시헵틸, α-n-프로필아크릴산글리시딜, α-n-부틸아크릴산글리시딜로 이루어진 군으로부터 선택된 단독 또는 2종 이상의 화합물을 혼합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막용 감광성 수지 조성물
7 7
청구항 1에 있어서, 상기 A) a) iii) 에폭시기를 갖는 불포화 화합물은 총 단량체 100 중량부에 대하여 3 내지 60 중량부를 사용하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막용 감광성 수지 조성물
8 8
삭제
9 9
청구항 1에 있어서, 상기 C) 접착력 증진제는 A) 알칼리 가용성 수지 100 중량부에 대해 0
10 10
청구항 1에 있어서, 상기 E)의 유기 용매는 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 사이클로펜타논, 사이클로헥사논, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노프로필에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노프로필에테르, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 메틸아세테이트, 에틸아세테이트, 부틸아세테이트, 메틸프로피오네이트, 에틸프로피오네이트, 3-메톡시메틸프로피오네이트, 에틸락테이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트 및 디프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트로 이루어진 군으로부터 선택된 단독 또는 2종 이상의 화합물을 혼합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막용 감광성 수지 조성물
11 11
청구항 1에 있어서, 상기 유기 절연막용 감광성 수지 조성물의 고형분 농도는 총 유기 절연막용 감광성 수지 조성물 100 중량부에 대해 5 내지 65 중량부인 것을 특징으로 하는 유기 절연막용 감광성 수지 조성물
12 12
가) 기재 상에 청구항 1 내지 7, 및 청구항 9 내지 11 중 어느 한 항의 유기 절연막용 감광성 수지 조성물을 코팅하는 단계;나) 상기 조성물을 프리베이크하여 유기 절연막을 형성하는 단계;다) 상기 유기 절연막을 노광 및 현상하여 패턴화하는 단계; 및라) 상기 패턴화된 유기 절연막을 후노광 및 포스트베이크 하는 단계를 포함하는 유기 절연막의 제조방법
13 13
청구항 12에 있어서, 상기 가)의 기재는 플라스틱 기판, 유리기판, 금속기판, 실리콘 웨이퍼 또는 SiO2 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 유기 절연막의 제조방법
14 14
청구항 12에 있어서, 상기 나)의 프리베이크는 60 내지 115℃에서 1 내지 17분 동안 수행하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막의 제조방법
15 15
청구항 12에 있어서, 상기 나)의 프리베이크에 의해 형성된 유기 절연막의 두께가 3 내지 6㎛인 것을 특징으로 하는 유기 절연막의 제조방법
16 16
청구항 12에 있어서, 상기 라)의 후노광은 200 내지 500mJ/㎠의 에너지를 사용하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막의 제조방법
17 17
청구항 12에 있어서, 상기 라)의 포스트베이크는 120 내지 250℃에서 10 내지 60분간 수행하는 것을 특징으로 하는 유기 절연막의 제조방법
18 18
청구항 1 내지 7, 및 9 내지 11 중 어느 한 항의 유기 절연막용 감광성 수지 조성물로부터 제조된 유기절연막
19 19
청구항 18의 유기 절연막을 포함하는 반도체소자
20 20
청구항 18의 유기 절연막을 포함하는 액정표시소자
지정국 정보가 없습니다
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