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유기 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법, 이를 이용한평판 표시 장치

  • 기술번호 : KST2015048674
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세히는 소수성을 가지는 저유전상수 물질로 이루어진 제 1 패시베이션막과 패턴 형성이 가능하고(patternable) 네트워크 구조를 가지는 고분자 물질로 이루어진 제 2 패시베이션막을 포함하여 구성됨으로써, 외부의 수분 등으로부터 소자를 효과적으로 보호하여 향상된 소자 성능을 구현하고 플렉서블 디스플레이에 적용 가능한 유기 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 유기 반도체층과, 상기 소스 전극 및 드레인 전극과 절연되도록 형성된 게이트 전극과, 상기 유기 반도체층 상부에 소수성을 가지는 저유전상수 물질로 형성된 제 1 패시베이션막과, 상기 제 1 패시베이션막 상부에 패턴형성가능(patternable)하고 네트워크 구조를 가지는 고분자로 형성된 제 2 패시베이션막을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.패시베이션막, 유기 반도체, 저유전상수
Int. CL H01L 29/786 (2006.01)
CPC H01L 51/107(2013.01) H01L 51/107(2013.01) H01L 51/107(2013.01)
출원번호/일자 1020070059322 (2007.06.18)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1352110-0000 (2014.01.08)
공개번호/일자 10-2008-0111231 (2008.12.23) 문서열기
공고번호/일자 (20140114) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.06.08)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노영훈 대한민국 대구광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2007-0437688-52
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
6 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.06.08 수리 (Accepted) 1-1-2012-0456445-27
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.05.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.06.05 수리 (Accepted) 9-1-2013-0043033-43
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0443427-93
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0776966-54
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.08.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0776965-19
12 등록결정서
Decision to grant
2013.12.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0847909-52
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번호 청구항
1 1
기판 상에 서로 마주보도록 형성되어 채널 영역을 정의하는 소스 전극 및 드레인 전극;상기 채널 영역을 덮도록 상기 소스 전극 및 드레인 전극에 전기적으로 접속되도록 형성된 유기 반도체층;상기 유기 반도체층 상부에 적층되어 형성된 절연층 및 게이트 전극;상기 게이트 전극을 포함한 기판 전면을 덮도록 형성된 제 1 패시베이션막 및 제 2 패시베이션막을 포함하여 구성되고,상기 제 1 패시베이션막은 소수성을 가지고 유전상수가 3
2 2
제 1 항에 있어서,상기 게이트 전극과 제 1 패시베이션막 사이에 마스크 패턴이 개재된 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터
3 3
제 2 항에 있어서,상기 마스크 패턴은 포토 아크릴로 형성된 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터
4 4
제 1 항에 있어서,상기 제 1 패시베이션막은 비극성 주사슬로 이루어진 고분자와 퍼플루오로에틸렌 주사슬로 이루어진 고분자가 연결된 공중합체(copolymer) 또는 부테닐 바이닐 에테르 주사슬로 이루어진 고분자와 퍼플루오로에틸렌 주사슬로 이루어진 고분자가 연결된 공중합체 중 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터
5 5
제 1 항에 있어서,상기 제 2 패시베이션막의 두께는 상기 제 1 패시베이션막의 두께보다 얇은 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터
6 6
제 1 항에 있어서,상기 제 2 패시베이션막은 포토 아크릴인 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터
7 7
기판 상에 서로 마주보도록 배치되어 채널 영역을 정의하도록 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계;상기 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한 기판 전면에 유기 반도체 물질층과 절연 물질층 및 전도층을 차례로 형성하는 단계;상기 전도층 상부에 포토레지스트를 도포하여 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계;상기 포토레지스트 패턴을 마스크로 하여 상기 전도층 및 절연 물질층과 유기 반도체 물질층을 식각하여 유기 반도체층과 절연층 및 게이트 전극을 형성한 후 상기 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계;상기 게이트 전극을 포함한 기판 전면에 소수성을 가지고 유전상수가 3
8 8
기판 상에 서로 마주보도록 배치되어 채널 영역을 정의하도록 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계;상기 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한 기판 전면에 유기 반도체 물질층과 절연 물질층 및 전도층을 차례로 형성하는 단계;상기 전도층 상부에 마스크 패턴을 형성하는 단계;상기 마스크 패턴을 마스크로 하여 상기 전도층 및 절연 물질층과 유기 반도체 물질층을 식각하여 유기 반도체층과 절연층 및 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 마스크 패턴을 포함한 기판 전면에 소수성을 가지고 유전상수가 3
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제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,상기 제 2 패시베이션막의 두께는 상기 제 1 패시베이션막의 두께보다 작도록 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터의 제조 방법
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복수의 게이트 라인 및 상기 게이트 라인과 교차하여 화소 영역을 정의하도록 형성된 데이터 라인과, 상기 화소 영역에 형성된 화소셀 및 상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 접속되어 상기 화소셀을 구동하기 위한 스위칭 소자를 구비한 표시 패널;상기 게이트 라인을 통해 상기 화소셀을 구동하기 위한 스캔 신호를 공급하는 게이트 드라이버;상기 데이터 라인을 통해 화상을 구현하기 위한 화상 신호를 공급하는 데이터 드라이버를 포함하여 구성되고,상기 스위칭 소자는 제 1 항 내지 제 6 항의 유기 박막 트랜지스터 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.