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화학적 기계적 연마 장치 및 이를 이용한 연마 패드 드레싱방법

  • 기술번호 : KST2015048766
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요약 화학적 기계적 연마 장치 및 이를 이용한 연마 패드 드레싱 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 화학적 기계적 연마 장치는 회전 가능하게 설치되는 턴 테이블; 웨이퍼의 표면을 연마하기 위한 것으로서 턴 테이블 상에 부착되며, 웨이퍼와 접촉되는 연질 연마 패드; 연마 패드의 상방에 회전 가능하게 배치되어 그 하부에 웨이퍼를 고정시키며, 연마 패드에 대하여 접근되는 방향 및 이격되는 방향을 따라 왕복이동 가능하여, 웨이퍼를 연마 패드에 접촉 및 가압시키는 연마 헤드; 및 연마 패드의 상방에 회전 가능하게 배치되고 연마 패드의 표면 특성 제어를 위한 드레서 연마층이 그 하부에 부착되어 있으며, 연마 패드에 대하여 접근되는 방향 및 이격되는 방향을 따라 왕복이동 가능하여, 드레서 연마층을 연마 패드에 접촉 및 가압시키는 드레서를 구비하며, 드레서 연마층은 복수의 다이아몬드 입자들이 링 타입으로 드레서 하부의 가장자리에 고정된 층인 것이 특징이다.
Int. CL B24B 53/02 (2006.01) H01L 21/304 (2006.01) B24B 37/04 (2006.01)
CPC B24B 53/017(2013.01) B24B 53/017(2013.01) B24B 53/017(2013.01) B24B 53/017(2013.01) B24B 53/017(2013.01)
출원번호/일자 1020070069907 (2007.07.12)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0879761-0000 (2009.01.14)
공개번호/일자 10-2009-0006514 (2009.01.15) 문서열기
공고번호/일자 (20090121) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.07.12)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유환수 대한민국 경북 구미시
2 문도민 대한민국 경북 구미시
3 안진우 대한민국 서울 마포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)
2 박보경 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)(특허법인필앤온지)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.07.12 수리 (Accepted) 1-1-2007-0506994-15
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.04.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.05.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0031210-30
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.08.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0440741-37
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.10.08 수리 (Accepted) 1-1-2008-0701536-37
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.10.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0701545-48
7 등록결정서
Decision to grant
2008.12.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0617909-17
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
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번호 청구항
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회전 가능하게 설치되는 턴 테이블;웨이퍼의 표면을 연마하기 위한 것으로서 상기 턴 테이블 상에 부착되며, 상기 웨이퍼와 접촉되는 연질 연마 패드;상기 연마 패드의 상방에 회전 가능하게 배치되어 그 하부에 상기 웨이퍼를 고정시키며, 상기 연마 패드에 대하여 접근되는 방향 및 이격되는 방향을 따라 왕복이동 가능하여, 상기 웨이퍼를 상기 연마 패드에 접촉 및 가압시키는 연마 헤드; 및상기 연마 패드의 상방에 회전 가능하게 배치되고 상기 연마 패드의 표면 특성 제어를 위한 드레서 연마층이 그 하부에 부착되어 있으며, 상기 연마 패드에 대하여 접근되는 방향 및 이격되는 방향을 따라 왕복이동 가능하여, 상기 드레서 연마층을 상기 연마 패드에 접촉 및 가압시키는 드레서를 구비하며,상기 드레서 연마층은 복수의 다이아몬드 입자들이 링 타입으로 상기 드레서 하부의 가장자리에 고정된 층이고, 상기 다이아몬드 입자들은 형상이 MBG 680 또는 MBE 925이면서 크기는 Mesh 80~140이거나, 형상이 MBG 660이면서 크기가 Mesh 170~230인 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마 장치
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삭제
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제1항 기재의 화학적 기계적 연마 장치를 이용한 연질 연마 패드 드레싱 방법으로서,상기 턴 테이블을 회전시켜 상기 연마 패드를 회전시키는 단계; 및상기 드레서를 상기 연마 패드에 대하여 접촉 및 가압시켜 회전시키는 단계를 포함하고,상기 드레서가 상기 연마 패드에 대하여 가하는 압력은 20~60gf/㎠, 드레싱 시간은 3~15분, 상기 연마 패드의 회전속도에 대한 상기 드레서의 회전속도비는 0
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제3항에 있어서, 상기 드레싱 수행 전과 수행 후에 상기 연마 패드에 대하여 탈이온수를 공급하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 드레싱 방법
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제4항에 있어서, 상기 드레싱 수행 동안에 연마 슬러리 또는 탈이온수를 공급하며 상기 연마 슬러리 또는 탈이온수의 유량은 1~2L/min인 것을 특징으로 하는 드레싱 방법
6 6
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.