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마스크리스 노광 장치와 방법, 및 평판 디스플레이 패널의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015048883
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마스크리스 노광 장치와 방법, 및 평판 디스플레이 패널의 제조 방법에 관한 것으로, 마스크리스 노광부와 대상물간의 측정된 작업 거리(Working distance)가 기준 작업 거리 범위내에 있지 않으면, 멀티 어레이 렌즈만 이동시켜 포커스(Focus)를 조정함으로써, 정밀하게 포커스를 설정할 수 있는 장점이 있다.더불어, 본 발명은 마스크리스 노광부로 스캔한 스테이지의 궤적을 세분화하고, 세분화된 위치들에서 마스크리스 노광부의 포커스 거리를 추출하고, 상기 세분화된 위치에서 추출된 포커스 거리를 유지하면서 노광함으로써, 복수개의 마스크리스 노광부들이 어레이되어도 기구적인 간섭을 방지하면서 포커스를 설정할 수 있는 장점이 있다.노광, 포커스, MAL, 궤적, 거리
Int. CL G02F 1/13 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/70291(2013.01) G03F 7/70291(2013.01) G03F 7/70291(2013.01) G03F 7/70291(2013.01) G03F 7/70291(2013.01)
출원번호/일자 1020070073431 (2007.07.23)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-1353810-0000 (2014.01.14)
공개번호/일자 10-2009-0010374 (2009.01.30) 문서열기
공고번호/일자 (20140121) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.06.21)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이형진 대한민국 서울특별시 서초구
2 서원호 대한민국 서울특별시 서초구
3 이창주 대한민국 서울특별시 서초구
4 신영훈 대한민국 서울특별시 서초구
5 박명주 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
3 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.07.23 수리 (Accepted) 1-1-2007-0531963-97
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2012.06.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-0494139-41
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.07.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0504204-83
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.08.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0754042-88
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.08.20 수리 (Accepted) 1-1-2013-0754036-14
9 등록결정서
Decision to grant		 2014.01.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0022331-35
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
소정의 대상물이 올려져 있는 스테이지; 상기 대상물에 마스크 없이 노광하는 마스크리스 노광부; 상기 마스크리스 노광부에 구비되어, 상기 마스크리스 노광부로부터 대상물까지의 포커스(Focus) 거리를 측정하는 포커스 거리 측정부; 상기 포커스 거리 측정부에서 측정된 포커스 거리가 저장되는 저장부; 상기 저장부에 저장된 포커스 거리가 유지되도록, 상기 마스크리스 노광부를 광축 방향인 z축 방향으로 이동시키는 액츄에이터; 및상기 저장부에 저장된 포커스 거리가 유지되도록, 상기 스테이지를 이동시키는 스테이지 레벨링 모터;를 포함하는 마스크리스 노광 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 마스크리스 노광부는,패턴을 갖는 광을 출사하는 공간 광 변조기;상기 공간 광 변조기에서 출사된 광을 확장시키는 빔 확장기;상기 빔 확장기에서 확장된 광을 복수개의 광들로 분리하여 집광시키는 멀티 어레이 렌즈; 및상기 멀티 어레이 렌즈에서 집광된 광들의 해상도를 조정하여 대상물로 투과시키는 프로젝션 렌즈;를 포함하는 마스크리스 노광 장치
3 3
제2항에 있어서,상기 액츄에이터는 상기 멀티 어레이 렌즈의 일측에 구비되어 상기 멀티 어레이 렌즈를 z축 방향으로 이동시키는 마스크리스 노광 장치
4 4
제2항에 있어서,상기 액츄에이터 및 상기 스테이지 레벨링 모터를 구동시키기 위한 제어신호를 출력하는 제어부를 더 포함하고,상기 제어부는 상기 대상물이 올려져 있는 스테이지에 구비된 스테이지 레벨링 모터를 매크로 구동시키고, 상기 멀티 어레이 렌즈를 z축으로 구동시키는 액츄에이터를 마이크로(Micro) 구동시킴으로써 포커스 거리를 유지하는 마스크리스 노광 장치
5 5
제4항에 있어서,상기 제어부는 상기 포커스 거리 측정부에서 측정된 거리가 기준 작업 거리 범위내에 있는지 여부를 판단하여, 상기 측정된 작업 거리가 기준 작업 거리 범위내에 있지 않으면, 상기 마스크리스 노광부의 멀티 어레이 렌즈만 이동시켜 포커스를 조정하는 마스크리스 노광 장치
6 6
제2항에 있어서,상기 포커스 거리 측정부는 상기 프로젝션 렌즈와 대상물간의 작업 거리를 측정하는 자동 포커스(Auto Focus) 센서인 마스크리스 노광 장치
7 7
제1항에 있어서,상기 스테이지 레벨링 모터는 상기 스테이지에 세 개가 구비되는 마스크리스 노광 장치
8 8
소정의 대상물이 올려져 있는 스테이지; 상기 대상물에 마스크 없이 노광하는 복수 개의 마스크리스 노광부; 상기 복수 개의 마스크리스 노광부에 구비되어, 상기 복수 개의 마스크리스 노광부로부터 대상물까지의 포커스(Focus) 거리를 측정하는 포커스 거리 측정부; 상기 포커스 거리 측정부에서 측정된 포커스 거리가 저장되는 저장부; 상기 저장부에 저장된 포커스 거리가 유지되도록, 상기 복수 개의 마스크리스 노광부를 광축 방향인 z축 방향으로 이동시키는 액츄에이터; 및상기 저장부에 저장된 포커스 거리가 유지되도록, 상기 스테이지를 이동시키는 스테이지 레벨링 모터;를 포함하는 마스크리스 노광 장치
9 9
제8항에 있어서,상기 복수 개의 마스크리스 노광부는,패턴을 갖는 광을 출사하는 공간 광 변조기;상기 공간 광 변조기에서 출사된 광을 확장시키는 빔 확장기;상기 빔 확장기에서 확장된 광을 복수개의 광들로 분리하여 집광시키는 멀티 어레이 렌즈; 및상기 멀티 어레이 렌즈에서 집광된 광들의 해상도를 조정하여 대상물로 투과시키는 프로젝션 렌즈;를 각각 포함하는 마스크리스 노광 장치
10 10
제9항에 있어서,상기 액츄에이터는 상기 멀티 어레이 렌즈의 일측에 구비되어 상기 멀티 어레이 렌즈를 z축 방향으로 이동시키는 마스크리스 노광 장치
11 11
제9항에 있어서,상기 액츄에이터 및 상기 스테이지 레벨링 모터를 구동시키기 위한 제어신호를 출력하는 제어부를 더 포함하고,상기 제어부는 상기 대상물이 올려져 있는 스테이지에 구비된 스테이지 레벨링 모터를 매크로 구동시키고, 상기 멀티 어레이 렌즈를 z축으로 구동시키는 액츄에이터를 마이크로(Micro) 구동시킴으로써 포커스 거리를 유지하는 마스크리스 노광 장치
12 12
제11항에 있어서,상기 제어부는 상기 포커스 거리 측정부에서 측정된 거리가 기준 작업 거리 범위내에 있는지 여부를 판단하여, 상기 측정된 작업 거리가 기준 작업 거리 범위내에 있지 않으면, 상기 마스크리스 노광부의 멀티 어레이 렌즈만 이동시켜 포커스를 조정하는 마스크리스 노광 장치
13 13
제1항에 있어서,상기 스테이지 레벨링 모터는 상기 스테이지에 세 개가 구비되는 마스크리스 노광 장치
14 14
제9항에 있어서,상기 포커스 거리 측정부는,상기 복수 개의 마스크리스 노광부들 각각이 스캔한 스테이지의 궤적을 복수 개의 위치들로 세분화하고, 이 세분화된 복수 개의 위치들 각각에서 포커스 거리를 측정하는 위치 매핑(Position mapping) 센서인 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 장치
15 15
제9항에 있어서,상기 포커스 거리 측정부는,상기 복수 개의 마스크리스 노광부들과 대상물간의 작업 거리를 측정하기 위하여, 상기 복수 개의 마스크리스 노광부들의 전방에 위치되어 있는 전방 자동 포커스(Auto Focus) 센서; 및상기 복수 개의 마스크리스 노광부들과 대상물간의 작업 거리를 측정하기 위하여, 상기 복수 개의 마스크리스 노광부들의 후방에 위치되어 있는 후방 자동 포커스 센서;로 구성된 마스크리스 노광 장치
16 16
제15항에 있어서,상기 전방 자동 포커스 센서들은 적어도 3개 이상인 것을 특징으로 하는 마스크리스 노광 장치
17 17
포커스 거리 측정부로써 멀티 어레이 렌즈를 구비하고 있는 마스크리스 노광부와 대상물간의 작업 거리를 측정하는 단계;이후, 제어부로써 상기 측정된 작업 거리가 기준 작업 거리 범위 내에 있는지 여부를 판단하는 단계;상기 측정된 작업 거리가 기준 작업 거리 범위 내에 있지 않으면, 상기 마스크리스 노광부의 멀티 어레이 렌즈만 광축 방향인 z 축 방향으로 이동시켜 포커스를 조정하여 상기 마스크리스 노광부로써 상기 대상물을 노광하는 단계;를 포함하는 마스크리스 노광 방법
18 18
패턴을 갖는 광을 출사하는 공간 광 변조기와, 상기 공간 광 변조기에서 출사된 광을 확장시키는 빔 확장기와, 상기 빔 확장기에서 확장된 광을 복수개의 광들로 분리하여 집광시키는 멀티 어레이 렌즈와, 상기 멀티 어레이 렌즈에서 집광된 광들의 해상도를 조정하여 대상물로 투과시키는 프로젝션 렌즈를 포함하는 복수 개의 마스크리스 노광부들로써 대상물을 노광하는 마스크리스 노광 방법에 있어서,상기 복수 개의 마스크리스 노광부들 하부에 노광할 대상물을 올려놓을 수 있는 스테이지를 위치시키는 단계; 상기 복수 개의 마스크리스 노광부들로 스테이지를 스캔하는 단계; 상기 마스크리스 노광부들 각각이 스캔한 스테이지의 궤적을 복수개의 위치들로 세분화하고, 이 세분화된 복수개의 위치들에서 마스크리스 노광부들 각각의 포커스(Focus) 거리를 추출하는 단계; 상기 스테이지에 노광할 대상물을 올려놓는 단계; 상기 대상물이 올려져 있는 스테이지에 구비된 스테이지 레벨링 모터로 매크로(Macro) 구동하고, 멀티 어레이 렌즈를 Z축으로 구동시키는 액츄에이터로 마이크로(Micro) 구동하여 추출된 포커스 거리를 유지하며, 상기 마스크리스 노광부들로써 상기 대상물을 노광하는 단계;로 구성된 마스크리스 노광 방법
19 19
마스크리스 노광부로 대상물에 노광 패턴을 형성하기 위한 노광 공정이 구비된 평판 디스플레이 패널의 제조 방법에 있어서, 상기 노광 공정은, 상기 마스크리스 노광부와 대상물간의 작업 거리를 측정하고, 상기 측정된 작업 거리가 기준 작업 거리 범위내에 있지 않으면, 상기 마스크리스 노광부의 멀티 어레이 렌즈만 광축 방향인 z축 방향으로 이동시켜 포커스를 조정하는 공정 또는, 상기 마스크리스 노광부로 스테이지를 스캔하고, 그 스캔 궤적의 세분화된 위치들에서 마스크리스 노광부의 포커스 거리를 추출하고, 상기 세분화된 위치에서 추출된 포커스 거리를 유지하며 노광하는 공정을 포함하고 있는 것을 특징으로 평판 디스플레이 패널의 제조 방법
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