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화소부와 데이터패드부 및 게이트패드부로 구분되는 제 1 기판을 제공하는 단계;제 1 마스크공정을 통해 상기 제 1 기판의 화소부에 게이트전극과 게이트라인을 형성하는 단계;상기 제 1 마스크공정을 이용하여 상기 게이트라인과 교차하여 화소영역을 정의하며, 상기 게이트라인이 지나가는 부분에서 절단되어 상기 각각의 화소영역에 대해 분리되는 데이터라인을 형성하는 단계;상기 제 1 기판 위에 제 1 절연막을 형성하는 단계;제 2 마스크공정을 통해 상기 게이트전극 상부에 상기 제 1 절연막이 개재된 상태에서 아일랜드 형태의 액티브패턴을 형성하며, 상기 액티브패턴 위에 n+ 비정질 실리콘 박막패턴을 형성하는 단계;상기 제 2 마스크공정을 이용하여 상기 제 1 절연막의 일부영역을 제거하여 상기 분리된 데이터라인 양단의 일부를 노출시키는 제 1 콘택홀을 형성하는 단계;제 3 마스크공정을 통해 상기 제 1 기판의 화소부에 소오스전극과 드레인전극 및 화소전극을 형성하며, 상기 제 1 콘택홀을 통해 상기 분리된 데이터라인을 서로 연결시키는 연결라인을 형성하는 단계;상기 제 1 기판 위에 제 2 절연막을 형성하는 단계;제 4 마스크공정을 통해 상기 제 2 절연막의 일부영역을 제거하여 상기 화소전극 및 상기 데이터패드전극과 게이트패드전극의 일부를 노출시키는 단계; 및상기 제 1 기판과 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하는 액정표시장치의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 마스크공정을 이용하여 상기 제 1 기판의 데이터패드부에 데이터패드라인을 형성하며, 상기 제 1 기판의 게이트패드부에 게이트라인을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
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제 2 항에 있어서, 상기 제 2 마스크공정을 이용하여 상기 제 1 절연막의 일부영역을 제거하여 상기 데이터패드라인의 일부를 노출시키는 제 2 콘택홀을 형성하며, 상기 게이트패드라인의 일부를 노출시키는 제 3 콘택홀을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 제 3 마스크공정을 이용하여 상기 제 2 콘택홀을 통해 상기 데이터패드라인과 전기적으로 접속하는 데이터패드전극을 형성하며, 상기 제 3 콘택홀을 통해 상기 게이트패드라인과 전기적으로 접속하는 게이트패드전극을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 3 마스크공정을 통해 상기 소오스전극과 드레인전극 및 연결라인 하부에 각각 상기 소오스전극과 드레인전극 및 연결라인과 동일한 형태로 패터닝된 소오스전극패턴과 드레인전극패턴 및 연결라인패턴을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 3 마스크공정을 이용하여 상기 n+ 비정질 실리콘 박막패턴의 일부영역을 제거하여 상기 액티브패턴과 소오스/드레인전극 사이를 오믹-콘택시키는 오믹-콘택층을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
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제 1 기판 위에 제 1 도전막으로 형성된 게이트전극과 게이트라인;상기 제 1 도전막으로 형성되며, 상기 게이트라인이 지나가는 부분에서 절단되어 각각의 화소영역에 대해 분리되도록 형성된 데이터라인;상기 제 1 기판 위에 형성된 제 1 절연막;상기 게이트전극 상부에 상기 제 1 절연막이 개재된 상태에서 아일랜드 형태로 형성된 액티브패턴;상기 제 1 기판 위에 제 2 도전막으로 형성된 소오스전극과 드레인전극;상기 제 2 도전막으로 형성되며, 상기 제 1 절연막의 일부영역이 제거되어 형성된 콘택홀을 통해 상기 분리된 데이터라인을 서로 연결시키는 연결라인;상기 화소영역에 제 3 도전막으로 형성된 화소전극;상기 제 1 기판 위에 형성되며, 상기 화소전극을 노출시키는 제 2 절연막; 및상기 제 1 기판과 대향하여 합착하는 제 2 기판을 포함하는 액정표시장치
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제 7 항에 있어서, 상기 제 2 도전막과 제 3 도전막은 실질적으로 동일한 도전물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시장치
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제 7 항에 있어서, 상기 소오스전극과 드레인전극 및 연결라인 하부에 상기 제 3 도전막으로 형성되며 각각 상기 소오스전극과 드레인전극 및 연결라인과 동일한 형태로 패터닝된 소오스전극패턴과 드레인전극패턴 및 연결라인패턴을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치
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제 9 항에 있어서, 상기 제 2 도전막은 저저항 불투명 도전물질로 이루어지며, 상기 제 3 도전막은 투명한 도전물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시장치
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제 7 항에 있어서, 상기 액티브패턴 위에 형성되어 상기 액티브패턴과 소오스/드레인전극 사이를 오믹-콘택시키는 오믹-콘택층을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치
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