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액정표시장치 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015049066
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요약 본 발명의 액정표시장치 및 그 제조방법은 게이트라인과 데이터라인을 동시에 형성하고 화소전극과 소오스/드레인전극을 동시에 형성함으로써 마스크수를 감소시켜 제조공정을 단순화하기 위한 것으로, 제 1 기판 위에 제 1 도전막으로 형성된 게이트전극과 게이트라인; 상기 제 1 도전막으로 형성되며, 상기 게이트라인이 지나가는 부분에서 절단되어 각각의 화소영역에 대해 분리되도록 형성된 데이터라인; 상기 제 1 기판 위에 형성된 제 1 절연막; 상기 게이트전극 상부에 상기 제 1 절연막이 개재된 상태에서 아일랜드 형태로 형성된 액티브패턴; 상기 제 1 기판 위에 제 2 도전막으로 형성된 소오스전극과 드레인전극; 상기 제 2 도전막으로 형성되며, 상기 제 1 절연막의 일부영역이 제거되어 형성된 콘택홀을 통해 상기 분리된 데이터라인을 서로 연결시키는 연결라인; 상기 화소영역에 제 3 도전막으로 형성된 화소전극; 상기 제 1 기판 위에 형성되며, 상기 화소전극을 노출시키는 제 2 절연막; 및 상기 제 1 기판과 대향하여 합착하는 제 2 기판을 포함한다.이와 같이 구성된 본 발명의 액정표시장치 및 그 제조방법은 액티브패턴이 게이트전극 상부에만 아일랜드 형태로 형성되고 데이터라인 하부에는 존재하지 않게 됨으로써 화소부의 개구영역을 증가시킬 수 있으며, 또한 빛에 의해 노출되지 않기 때문에 빛에 노출되었을 때 발생하였던 웨이비 노이즈(wavy noise) 현상을 방지할 수 있는 것을 특징으로 한다.또한, 본 발명의 데이터라인은 게이트라인이 지나가는 부분에서 절단되어 분리된 구조를 가지며, 상기 화소전극을 형성할 때 연결라인을 이용하여 상기 분리된 데이터라인이 서로 연결되게 되는 것을 특징으로 한다.마스크수, 게이트라인, 데이터라인, 화소전극, 연결라인
Int. CL G02F 1/13 (2006.01) G02F 1/136 (2006.01)
CPC G02F 1/136286(2013.01) G02F 1/136286(2013.01) G02F 1/136286(2013.01) G02F 1/136286(2013.01)
출원번호/일자 1020070080897 (2007.08.10)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1331812-0000 (2013.11.15)
공개번호/일자 10-2009-0016340 (2009.02.13) 문서열기
공고번호/일자 (20131122) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.08.02)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안성훈 대한민국 울산 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.08.10 수리 (Accepted) 1-1-2007-0582757-72
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
6 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.08.02 수리 (Accepted) 1-1-2012-0621022-55
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.26 수리 (Accepted) 9-1-2013-0071399-38
9 등록결정서
Decision to grant
2013.11.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0768179-42
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번호 청구항
1 1
화소부와 데이터패드부 및 게이트패드부로 구분되는 제 1 기판을 제공하는 단계;제 1 마스크공정을 통해 상기 제 1 기판의 화소부에 게이트전극과 게이트라인을 형성하는 단계;상기 제 1 마스크공정을 이용하여 상기 게이트라인과 교차하여 화소영역을 정의하며, 상기 게이트라인이 지나가는 부분에서 절단되어 상기 각각의 화소영역에 대해 분리되는 데이터라인을 형성하는 단계;상기 제 1 기판 위에 제 1 절연막을 형성하는 단계;제 2 마스크공정을 통해 상기 게이트전극 상부에 상기 제 1 절연막이 개재된 상태에서 아일랜드 형태의 액티브패턴을 형성하며, 상기 액티브패턴 위에 n+ 비정질 실리콘 박막패턴을 형성하는 단계;상기 제 2 마스크공정을 이용하여 상기 제 1 절연막의 일부영역을 제거하여 상기 분리된 데이터라인 양단의 일부를 노출시키는 제 1 콘택홀을 형성하는 단계;제 3 마스크공정을 통해 상기 제 1 기판의 화소부에 소오스전극과 드레인전극 및 화소전극을 형성하며, 상기 제 1 콘택홀을 통해 상기 분리된 데이터라인을 서로 연결시키는 연결라인을 형성하는 단계;상기 제 1 기판 위에 제 2 절연막을 형성하는 단계;제 4 마스크공정을 통해 상기 제 2 절연막의 일부영역을 제거하여 상기 화소전극 및 상기 데이터패드전극과 게이트패드전극의 일부를 노출시키는 단계; 및상기 제 1 기판과 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하는 액정표시장치의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 마스크공정을 이용하여 상기 제 1 기판의 데이터패드부에 데이터패드라인을 형성하며, 상기 제 1 기판의 게이트패드부에 게이트라인을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 제 2 마스크공정을 이용하여 상기 제 1 절연막의 일부영역을 제거하여 상기 데이터패드라인의 일부를 노출시키는 제 2 콘택홀을 형성하며, 상기 게이트패드라인의 일부를 노출시키는 제 3 콘택홀을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 제 3 마스크공정을 이용하여 상기 제 2 콘택홀을 통해 상기 데이터패드라인과 전기적으로 접속하는 데이터패드전극을 형성하며, 상기 제 3 콘택홀을 통해 상기 게이트패드라인과 전기적으로 접속하는 게이트패드전극을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 제 3 마스크공정을 통해 상기 소오스전극과 드레인전극 및 연결라인 하부에 각각 상기 소오스전극과 드레인전극 및 연결라인과 동일한 형태로 패터닝된 소오스전극패턴과 드레인전극패턴 및 연결라인패턴을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 제 3 마스크공정을 이용하여 상기 n+ 비정질 실리콘 박막패턴의 일부영역을 제거하여 상기 액티브패턴과 소오스/드레인전극 사이를 오믹-콘택시키는 오믹-콘택층을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
7 7
제 1 기판 위에 제 1 도전막으로 형성된 게이트전극과 게이트라인;상기 제 1 도전막으로 형성되며, 상기 게이트라인이 지나가는 부분에서 절단되어 각각의 화소영역에 대해 분리되도록 형성된 데이터라인;상기 제 1 기판 위에 형성된 제 1 절연막;상기 게이트전극 상부에 상기 제 1 절연막이 개재된 상태에서 아일랜드 형태로 형성된 액티브패턴;상기 제 1 기판 위에 제 2 도전막으로 형성된 소오스전극과 드레인전극;상기 제 2 도전막으로 형성되며, 상기 제 1 절연막의 일부영역이 제거되어 형성된 콘택홀을 통해 상기 분리된 데이터라인을 서로 연결시키는 연결라인;상기 화소영역에 제 3 도전막으로 형성된 화소전극;상기 제 1 기판 위에 형성되며, 상기 화소전극을 노출시키는 제 2 절연막; 및상기 제 1 기판과 대향하여 합착하는 제 2 기판을 포함하는 액정표시장치
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 제 2 도전막과 제 3 도전막은 실질적으로 동일한 도전물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시장치
9 9
제 7 항에 있어서, 상기 소오스전극과 드레인전극 및 연결라인 하부에 상기 제 3 도전막으로 형성되며 각각 상기 소오스전극과 드레인전극 및 연결라인과 동일한 형태로 패터닝된 소오스전극패턴과 드레인전극패턴 및 연결라인패턴을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 제 2 도전막은 저저항 불투명 도전물질로 이루어지며, 상기 제 3 도전막은 투명한 도전물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시장치
11 11
제 7 항에 있어서, 상기 액티브패턴 위에 형성되어 상기 액티브패턴과 소오스/드레인전극 사이를 오믹-콘택시키는 오믹-콘택층을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.