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어레이 기판 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015049224
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요약 본 발명은 어레이 기판 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 어레이 기판은 기판상에 배치된 게이트 전극, 상기 게이트 전극를 포함하는 상기 기판상에 배치된 게이트 절연막, 상기 게이트 절연막상에 서로 이격되어 배치된 소스 전극 및 드레인 전극, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극상에 각각 배치된 제 1 및 제 2 오믹 콘택 패턴, 상기 제 1 및 제 2 오믹 콘택 패턴상에 연장되어 배치된 나노 반도체, 상기 나노 반도체를 포함하는 상기 기판상에 배치되며, 상기 제 2 오믹 콘택 패턴의 일부를 노출하는 보호 패턴 및 상기 보호 패턴상에 상기 제 2 오믹 콘택 패턴과 전기적으로 연결된 화소 전극을 포함한다.어레이 기판, 나노 반도체, 전계, 어레이, 오믹 콘택
Int. CL H01L 29/786 (2006.01) B82Y 10/00 (2011.01)
CPC H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01)
출원번호/일자 1020070087607 (2007.08.30)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1396665-0000 (2014.05.12)
공개번호/일자 10-2009-0022327 (2009.03.04) 문서열기
공고번호/일자 (20140519) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.08.14)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재현 대한민국 경기도 수원시 장안구
2 채기성 대한민국 인천광역시 연수구
3 이보현 대한민국 서울 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2007-0632626-17
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
6 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0649170-48
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0706442-33
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.07.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0064366-78
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.08.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0569997-16
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.10.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0936264-20
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2013-0936263-85
13 등록결정서
Decision to grant
2014.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0143929-87
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판상에 배치된 게이트 전극;상기 게이트 전극를 포함하는 상기 기판상에 배치된 게이트 절연막;상기 게이트 절연막상에 서로 이격되어 배치된 소스 전극 및 드레인 전극;상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극상에 각각 배치된 제 1 및 제 2 오믹 콘택 패턴;상기 제 1 및 제 2 오믹 콘택 패턴상에 연장되어 배치된 나노 반도체;상기 나노 반도체의 일단부와 상기 제 1 오믹 콘택 패턴상에 배치된 보조 소스 전극;상기 나노 반도체의 타단부와 상기 제 2 오믹 콘택 패턴상에 배치된 보조 드레인 전극;상기 나노 반도체, 보조 소스 전극 및 보조 드레인 전극을 포함하는 상기 기판상에 배치되며, 상기 보조 드레인 전극의 일부를 노출하는 보호 패턴; 및상기 보호 패턴상에 상기 보조 드레인 전극과 전기적으로 연결된 화소 전극을 포함하는 어레이 기판
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 보조 소스 전극 하부에 배치된 보조 제 1 오믹 콘택 패턴; 및상기 보조 드레인 전극 하부에 배치된 보조 제 2 오믹 콘택 패턴을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판
4 4
제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 오믹 콘택 패턴과 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극은 각각 대응된 면적을 갖는 것을 특징으로 하는 어레이 기판
5 5
제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 오믹 콘택 패턴은 Ti, ITO, Pd 및 Au 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판
6 6
기판상에 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 게이트 전극를 포함하는 상기 기판상에 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 게이트 절연막상에 서로 마주하는 소스 전극, 드레인 전극과, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극상에 각각 배치된 제 1 및 제 2 오믹 콘택 패턴을 형성하는 단계;상기 제 1 및 제 2 오믹 콘택 패턴의 각 일부에 전기적으로 접촉된 나노 반도체를 형성하는 단계;상기 나노 반도체의 일단부와 상기 제 1 오믹 콘택 패턴상에 배치된 보조 소스 전극과 상기 나노 반도체의 타단부와 상기 제 2 오믹 콘택 패턴상에 배치된 보조 드레인 전극을 형성하는 단계;상기 보조 드레인 전극의 일부를 노출하며, 상기 나노 반도체를 포함하는 상기 기판상에 보호 패턴을 형성하는 단계; 및상기 보호 패턴상에 상기 보조 드레인 전극과 전기적으로 연결된 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 어레이 기판의 제조 방법
7 7
제 6 항에 있어서,상기 소스 전극, 상기 드레인 전극, 상기 제 1 및 제 2 오믹 콘택 패턴을 형성하는 단계에서 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결된 데이터 배선과 상기 데이터 배선과 평행하는 어레이 배선을 더 형성하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판의 제조 방법
8 8
제 7 항에 있어서,상기 나노 반도체를 형성하는 단계는 상기 데이터 배선 및 상기 어레이 배선을 포함하는 상기 기판상에 나노물질 분산 용액을 코팅하는 단계; 상기 데이터 배선 및 상기 어레이 배선중 어느 하나의 배선에 외부 전압을 인가하여 상기 나노물질을 배열하는 단계; 및상기 나노물질이 배열된 상기 기판을 건조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판의 제조 방법
9 9
제 8 항에 있어서,상기 나노물질을 배열하는 단계와 상기 기판을 건조하는 단계 사이에 상기 나노물질이 배열된 상기 기판을 세정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판의 제조 방법
10 10
제 8 항에 있어서,상기 기판을 건조하는 단계 이후에 상기 어레이 배선을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판의 제조 방법
11 11
삭제
12 12
제 6 항에 있어서,상기 보조 소스 전극 및 상기 보조 드레인 전극 하부에 각각 보조 제 1 및 제 2 오믹 콘택 패턴이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 어레이 기판의 제조 방법
13 13
제 10 항에 있어서,상기 보조 소스 전극 및 상기 보조 드레인 전극을 형성하는 단계에서 상기 어레이 배선이 제거되는 것을 특징으로 하는 어레이 기판의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.