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마스크의 이물 제거 장치

  • 기술번호 : KST2015049295
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마스크의 이물제거 장치에 관한 것으로, 마스크의 이물제거 장치는 마스크와 정전기 유도부재를 서로 접촉 및 분리하여 형성된 정전기에 의해, 마스크의 표면에 부착된 이물질을 제거함에 따라, 마스크의 손상 및 변형을 최소화하며 마스크의 이물질을 제거할 수 있을 뿐만 아니라, 미세한 크기의 이물질을 효과적으로 제거할 수 있다.마스크, 이물질, 정전기, 스테이지, 롤러
Int. CL H05B 33/10 (2006.01) C23C 14/04 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01)
CPC H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01)
출원번호/일자 1020070088853 (2007.09.03)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1386336-0000 (2014.04.10)
공개번호/일자 10-2009-0023806 (2009.03.06) 문서열기
공고번호/일자 (20140418) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.09.03)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 배성일 대한민국 경상북도 영주시
2 최원희 대한민국 서울 도봉구
3 김동환 대한민국 대구광역시 달서구
4 송창현 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2007-0639140-37
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2012.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0706442-33
7 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2012.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2012-0706882-19
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.06.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.07.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0054947-16
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0598976-26
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0972429-01
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.10.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0972430-47
13 등록결정서
Decision to grant		 2014.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0065864-00
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
마스크의 표면에 부착된 이물질을 제거하기 위하여, 상기 마스크와 접촉 및 분리하여 정전기를 발생하는 정전기 유도부재; 및상기 정전기 유도부재를 지지하는 몸체를 포함하며, 상기 정전기 유도부재는 절연체이고, 상기 마스크는 도전체이며, 상기 마스크와 상기 정전기 유도부재가 서로 접촉될 경우, 상기 마스크와 상기 정전기 유도부재는 서로 반대 전하로 대전되고, 상기 마스크와 상기 정전기 유도부재가 서로 분리될 경우, 정전기 인력으로 인해, 상기 마스크 표면에 부착되어 있던 이물질이 상기 정전기 유도부재의 표면으로 전이되는 것을 특징으로 하는 마스크의 이물 제거 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 마스크 또는 상기 정전기 유도부재의 탈착이 가능하고, 상기 몸체의 상하 또는 좌우로 이동할 수 있는 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크의 이물 제거 장치
3 3
제 2 항에 있어서,상기 스테이지와 대향하도록 상기 몸체에 구비되고, 상기 마스크 또는 상기 정전기 유도부재의 탈착이 가능하며, 상기 마스크 또는 상기 정전기 유도부재를 노출하도록 개구된 트레이부를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크의 이물 제거 장치
4 4
제 3 항에 있어서,상기 트레이부에 배치되어 상기 마스크 또는 상기 정전기 유도부재를 고정하는 고정부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크의 이물 제거 장치
5 5
제 1 항에 있어서,상기 정전기 유도부재는 대전서열에서 상기 마스크와 다른 극성을 갖는 기판인 것을 특징으로 하는 마스크의 이물 제거 장치
6 6
제 2 항에 있어서,상기 스테이지는 접지되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크의 이물 제거 장치
7 7
제 1 항에 있어서,상기 정전기 유도부재는 필름인 것을 특징으로 하는 마스크의 이물 제거 장치
8 8
제 7 항에 있어서,상기 정전기 유도부재가 감겨진 제 1 롤러부; 및상기 마스크와 접촉한 후 상기 정전기 유도부재를 감는 제 2 롤러부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크의 이물 제거 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.