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그 내부에 세정액이 담긴 하나 이상의 세정 배스;린스 가이드 및 린스 분사기를 구비한 린스 샤워 배스;그 내부에 장입되는 대상물을 건조시키는 건조기; 및상기 세정 배스, 린스 샤워 배스 및 건조기 사이에서 마스크를 이송시키는 이송 장치를 포함하고,상기 린스 샤워 배스에는 마스크 상단에 상기 린스 가이드를 위치시키고,상기 린스 가이드와 대응되도록 린스 분사기를 배치한 다음, 상기 린스 분사기에서 상기 린스 가이드로 린스액을 분사하며,상기 린스 가이드에서 흐르는 린스 액을 통해 상기 마스크를 샤워 린스 시키는 것을 특징으로 하는 마스크 세정장치
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제 1 항에 있어서,상기 세정 배스 및 상기 린스 샤워 배스 사이에 배치되며, 그 내부에 린스액이 담긴 하나 이상의 린스 디핑 배스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세정 장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 린스 샤워 배스에 구비되며 상기 마스크에 잔류하는 린스액을 제거하는 에어 나이프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세정 장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 린스 가이드는 평탄한 형상 또는 주름진 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 마스크 세정 장치
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마스크를 세정액에 디핑한 후 세정 공정을 진행하는 단계;상기 마스크를 린스 샤워 배스로 이송하여 간접 샤워 린스하는 단계; 및상기 간접 샤워 린스 공정 후, 상기 마스크를 건조기로 이송하여 건조하는 단계를 포함하고,상기 마스크를 린스 샤워 배스로 이송하여 간접 샤워 린스하는 단계:는상기 마스크를 린스 샤워 배스로 이송하는 단계;상기 린스 샤워 배스에 이송된 마스크의 상단에 린스 가이드를 위치시키는 단계;상기 린스 가이드에 린스액이 분사되도록 린스 분사기를 위치시키는 단계; 및상기 린스 분사기에서 상기 린스 가이드로 린스액을 분사시켜 상기 린스 가이드에서 상기 린스액이 흘러내리도록 하고, 상기 린스 가이드를 통해 상기 마스크의 표면을 흘러내리도록 하여 상기 마스크의 표면이 린스되도록 하는 간접 린스 샤워를 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크를 세정하는 방법
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제 5 항에 있어서,상기 세정 공정을 진행한 후, 상기 간접 샤워 린스를 하는 공정 이전에,상기 마스크를 린스 디핑 배스로 이송하여 디핑 린스하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크를 세정하는 방법
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제 6 항에 있어서,상기 마스크를 린스 디핑 배스로 이송하여 디핑 린스하는 단계:는상기 마스크를 세정 공정한 후, 상기 마스크를 린스액이 담긴 린스 디핑 배스로 이송하여 린스액에 디핑하는 단계; 및상기 린스 디핑 배스에 구비된 초음파 발생기에서 발생된 초음파로 상기 마스크를 린스하여 디핑 린스 공정을 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크를 세정하는 방법
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제 5 항에 있어서,상기 마스크를 세정액에 디핑한 후 세정 공정을 진행하는 단계:는상기 마스크를 세정액이 담긴 세정 배스로 이송하여 상기 세정액에 디핑하는 단계; 및상기 세정 배스에 구비된 초음파 발생기에서 발생된 초음파로 상기 마스크를 세정하여 세정 공정을 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크를 세정하는 방법
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삭제
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제 5 항에 있어서,상기 간접 샤워 린스 공정 후, 상기 마스크를 건조기로 이송하여 건조하는 단계:는상기 간접 샤워 린스 공정이 끝난 마스크를 상기 건조기로 이송시키기 위해 상기 린스 샤워 배스로부터 마스크를 꺼냄과 동시에 상기 린스 샤워 배스에 구비된 에어 나이프로 상기 마스크의 표면에 잔류하는 린스액을 제거하는 린스액 제거 공정을 진행하는 단계;상기 린스액 제거 공정이 완료된 마스크를 이송하여 건조기에 장입하는 단계; 및상기 건조기에 장입된 마스크를 건조시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크를 세정하는 방법
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