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고온 열처리를 위한 열을 제공하는 히터가 바깥쪽에 배치되고, 상기 히터의 안쪽에는 공정가스가 주입되는 열처리 튜브와 웨이퍼들이 탑재되는 보트(boat)가 설치되며, 상기 보트의 하부에는 열의 이동을 차단하는 배플(baffle)과 상기 배플의 하부에서 상부 구조물들을 지지하는 페데스탈(pedestal)을 구비한 고온 열처리 노에 있어서,
상기 배플의 몸체와 상기 페데스탈의 몸체에는 공정가스 배출용 통공이 형성된 것을 특징으로 하는 고온 열처리 노
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제1항에 있어서,
상기 배플의 공정가스 배출용 통공은 상기 배플의 디스크형 몸체 중심을 관통하도록 형성된 것을 특징으로 하는 고온 열처리 노
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제2항에 있어서,
상기 배플의 몸체 가장자리에는 일정 간격으로 체결공이 형성되고,
상기 체결공에 끼워져서 상기 보트에 연결되는 보트 샤프트에 의해 복수매의 배플이 적층되되, 각 배플의 중심이 정렬되어 공정가스 배출용 통공들이 상호 연통되는 것을 특징으로 하는 고온 열처리 노
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제3항에 있어서,
상기 페데스탈의 공정가스 배출용 통공은 상기 배플의 몸체 중심과 대응하는 페데스탈 몸체 중심에 그 유입구가 위치하고 유출구는 배기구를 향하는 'ㄴ'자형 통공인 것을 특징으로 하는 고온 열처리 노
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고온 열처리를 위한 열을 제공하는 히터가 바깥쪽에 배치되고, 상기 히터의 안쪽에는 공정가스가 주입되는 열처리 튜브와 웨이퍼들이 탑재되는 보트가 설치된 고온 열처리 노에 있어서 상기 보트의 하부에 설치되어 열의 이동을 차단하는 배플(baffle) 구조로서,
배플 몸체에 공정가스 배출용 통공이 형성된 것을 특징으로 하는 고온 열처리 노의 배플 구조
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제5항에 있어서,
상기 배플 몸체는 전체적으로 디스크 형태로 구성되고,
상기 공정가스 배출용 통공은 상기 배플 몸체의 중심을 관통하도록 형성된 것을 특징으로 하는 고온 열처리 노의 배플 구조
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고온 열처리를 위한 열을 제공하는 히터가 바깥쪽에 배치되고, 상기 히터의 안쪽에는 공정가스가 주입되는 열처리 튜브와 웨이퍼들이 탑재되는 보트가 설치되며, 상기 보트의 하부에는 열의 이동을 차단하는 배플(baffle)이 설치된 고온 열처리 노에 있어서 상기 배플의 하부에 설치되어 상부 구조물들을 지지하는 페데스탈(pedestal) 구조로서,
페데스탈 몸체에 공정가스 배출용 통공이 형성된 것을 특징으로 하는 고온 열처리 노의 페데스탈 구조
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제7항에 있어서,
상기 페데스탈의 공정가스 배출용 통공은 상기 페데스탈 몸체의 중심에 그 유입구가 위치하는 'ㄴ'자형 통공인 것을 특징으로 하는 고온 열처리 노의 페데스탈 구조
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