맞춤기술찾기

이전대상기술

왁스 마운팅 방법

  • 기술번호 : KST2015049336
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 왁스 마운팅 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 왁스 마운팅 방법은 연마용 블록 상부에 왁스를 공급하고, 연마용 블록을 회전시켜 왁스를 상기 연마용 블록 전체에 도포시킨다. 그리고 연마용 블록 상에 도포된 왁스를 통해 연마용 블록과 웨이퍼를 부착시키며 왁스는 상기 연마용 블록 상의 주변부보다 중앙부에 더 두껍게 도포되도록 한다. 본 발명에 따르면, 연마용 블록 또는 웨이퍼의 상의 주변부보다 중앙부에 왁스가 두껍게 도포되도록 함으로써 웨이퍼의 평탄도를 향상시킬 수 있다.왁스, 웨이퍼, 연마, 평탄도
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC H01L 21/30625(2013.01) H01L 21/30625(2013.01) H01L 21/30625(2013.01)
출원번호/일자 1020070087031 (2007.08.29)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0872805-0000 (2008.12.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20081209) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.08.29)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 유환수 대한민국 경북 구미시
2 최은석 대한민국 충남 연기군

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)
2 박보경 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)(특허법인필앤온지)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2007-0629378-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.05.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2008-0034408-98
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0343244-59
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.08.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0598009-03
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2008-0598003-29
7 등록결정서
Decision to grant
2008.10.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0531942-19
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
연마용 블록 상부에 왁스를 공급하고 상기 연마용 블록을 회전시켜 상기 왁스를 상기 연마용 블록 전체에 도포시키되, 상기 왁스는 25℃에서 30 내지 45cP의 점도를 가지는 것을 이용함으로써, 상기 도포된 왁스의 제거 없이 상기 왁스의 공급과 상기 연마용 블록의 회전만으로 상기 왁스가 상기 연마용 블록 상의 주변부보다 중앙부에 더 두껍게 도포되도록 하는 단계; 및상기 연마용 블록 상에 도포된 왁스를 통해 상기 연마용 블록과 웨이퍼를 부착시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 왁스 마운팅 방법
2 2
웨이퍼의 일측면 상에 왁스를 공급하고 상기 웨이퍼를 회전시켜 상기 왁스를 상기 웨이퍼 일측면 전체에 도포시키되, 상기 왁스는 25℃에서 30 내지 45cP의 점도를 가지는 것을 이용함으로써, 상기 도포된 왁스의 제거 없이 상기 왁스의 공급과 상기 웨이퍼의 회전만으로 상기 왁스가 상기 웨이퍼 일측면 상의 주변부보다 중앙부에 더 두껍게 도포되도록 하는 단계; 및상기 웨이퍼 일측면 상에 도포된 왁스를 통해 상기 웨이퍼와 연마용 블록을 부착시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 왁스 마운팅 방법
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 왁스는 1 내지 6초의 시간 범위에서 공급하는 것을 특징으로 하는 왁스 마운팅 방법
4 4
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.