맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

웨이퍼 쉽핑박스의 세정을 위한 박스 크리너

  • 기술번호 : KST2015049434
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 순수(DIW)가 채워질 수 있는 수용공간이 마련되고 하부에는 초음파 발생기가 배치된 초음파 세정조와, 웨이퍼 쉽핑박스가 적재되는 트레이와, 상기 트레이를 상기 초음파 세정조 내부로 투입 및 반출시키기 위한 구동력을 제공하는 승강기구와, 세정공정 완료 후 상기 쉽핑박스를 건조하는 건조장치를 포함하는 박스 크리너에 있어서, 상기 초음파 세정조의 일측에는, 세정공정 완료시 상기 쉽핑박스 내부에 기체를 분사하여 상기 쉽핑박스 내부의 순수(DIW)를 밀어냄으로써 배수하는 기체분사부가 구비된 것을 특징으로 하는 박스 크리너를 개시한다. 쉽핑박스, 박스 크리너, 초음파 세정조, CDA, DIW, CAH 필터링 시스템
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020070097817 (2007.09.28)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0958793-0000 (2010.05.11)
공개번호/일자 10-2009-0032505 (2009.04.01) 문서열기
공고번호/일자 (20100518) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.09.28)
심사청구항수 8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 오세열 대한민국 경북 구미시

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0699585-25
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.11.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0071848-75
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0171634-52
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2009.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2009-0383687-86
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.07.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0450133-65
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.07.23 수리 (Accepted) 1-1-2009-0450134-11
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0469770-19
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.01.13 수리 (Accepted) 1-1-2010-0021635-46
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.01.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0021634-01
11 등록결정서
Decision to grant		 2010.05.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0194105-18
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
순수(DIW)가 채워질 수 있는 수용공간이 마련되고 하부에는 초음파 발생기가 배치된 초음파 세정조와, 웨이퍼 쉽핑박스가 적재되는 트레이와, 상기 트레이를 상기 초음파 세정조 내부로 투입 및 반출시키기 위한 구동력을 제공하는 승강기구와, 세정공정 완료 후 상기 쉽핑박스를 건조하는 건조장치를 포함하는 박스 크리너에 있어서, 상기 초음파 세정조의 일측에는, 세정공정 완료시 순수(DIW)에 디핑된 쉽핑박스 내부에 기체를 분사하여 상기 쉽핑박스 내부의 순수(DIW)를 밀어냄으로써 배수하는 기체분사부가 구비된 것을 특징으로 하는 박스 크리너
2 2
제1항에 있어서, 상기 기체분사부는 상기 트레이의 하부에서 상기 트레이의 길이방향을 따라 배치되고, 그 몸체에 다수의 통공이 형성된 버블 파이프(bubble pipe)인 것을 특징으로 하는 박스 크리너
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 상기 건조장치는 트레이에 적재된 쉽핑박스에 청정건조공기(CDA)를 분사하기 위한 CDA 노즐이 부착된 이동 플레이트와, 상기 이동 플레이트를 좌,우로 구동하여 CDA 노즐의 스캐닝이 이루어지도록 하는 구동기구를 구비한 것을 특징으로 하는 박스 크리너
5 5
제4항에 있어서, 상기 청정건조공기의 공급을 위해 상기 CDA 노즐에 연결되는 플렉시블 튜브;를 구비한 것을 특징으로 하는 박스 크리너
6 6
제4항에 있어서, 상기 CDA 노즐을 이용한 건조공정시 상기 청정건조공기(CDA)의 분사에 의해 생성된 파티클(air born particle)과 미세 물기를 제거하기 위한 CAH(Clean Air Hood) 필터링 시스템;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박스 크리너
7 7
제6항에 있어서, 상기 CAH 필터링 시스템의 건조효율을 보다 높이기 위해 구비되는 항온항습기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박스 크리너
8 8
순수(DIW)가 채워질 수 있는 수용공간이 마련되고 하부에는 초음파 발생기가 배치된 초음파 세정조와, 웨이퍼 쉽핑박스가 적재되는 트레이와, 상기 트레이를 상기 초음파 세정조 내부로 투입 및 반출시키기 위한 구동력을 제공하는 승강기구를 포함하는 박스 크리너의 초음파 세정장치에 있어서, 상기 초음파 세정조의 일측에는, 세정공정 완료시 순수(DIW)에 디핑된 쉽핑박스 내부에 기체를 분사하여 상기 쉽핑박스 내부의 순수(DIW)를 밀어냄으로써 배수하는 기체분사부가 구비된 것을 특징으로 하는 박스 크리너의 초음파 세정장치
9 9
제8항에 있어서, 상기 기체분사부는 상기 트레이의 하부에서 상기 트레이의 길이방향을 따라 배치되고, 그 몸체에 다수의 통공이 형성된 버블 파이프(bubble pipe)인 것을 특징으로 하는 박스 크리너의 초음파 세정장치
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
삭제
14 14
삭제
15 15
삭제
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP02042245 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 EP02042245 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 EP02042245 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
4 JP05203868 JP 일본 FAMILY
5 JP21088513 JP 일본 FAMILY
6 US07976642 US 미국 FAMILY
7 US20090084416 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP2042245 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
2 EP2042245 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 EP2042245 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 JP2009088513 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 JP5203868 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 SG151232 SG 싱가포르 DOCDBFAMILY
7 US2009084416 US 미국 DOCDBFAMILY
8 US7976642 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.