맞춤기술찾기

이전대상기술

연마 장치 및 연마 방법

  • 기술번호 : KST2015049545
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 연마 대상물을 연마할 수 있는 연마 장치 및 연마 방법이 개시된다. 연마 장치는 연마 정반, 연마 정반과 상대적으로 이동하면서 연마 대상물을 연마할 수 있는 연마 헤드부를 포함할 수 있으며, 연마 정반 및 연마 헤드부에 의해 연마되는 연마 대상물 일부를 냉각할 수 있는 냉각부를 포함한다. 또한, 연마 방법은 연마 대상물이 연마 정반 및 연마 헤드부에 의해 연마되는 과정 중 냉각 유체를 연마 대상물 일부에 공급하여 연마 대상물의 에지 영역의 온도를 낮춤으로써 연마 대상물의 평탄도를 개선 또는 향상시킬 수 있다. 헤드, 냉각부, 냉각체, 냉각 유체
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) B24B 37/04 (2006.01) B24B 55/02 (2006.01) B24B 37/015 (2006.01)
CPC B24B 37/04(2013.01) B24B 37/04(2013.01) B24B 37/04(2013.01)
출원번호/일자 1020070100250 (2007.10.05)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0914608-0000 (2009.08.21)
공개번호/일자 10-2009-0035144 (2009.04.09) 문서열기
공고번호/일자 (20090831) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.10.05)
심사청구항수 8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 최은석 대한민국 충남 연기군
2 안진우 대한민국 서울시 마포구
3 배소익 대한민국 대전시 서구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.10.05 수리 (Accepted) 1-1-2007-0716008-58
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.07.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2008-0049141-43
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0090158-08
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0254424-04
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.05.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0319258-78
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0319257-22
8 등록결정서
Decision to grant
2009.08.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0343264-07
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
연마 대상물을 연마하는 연마 장치에 있어서,연마 정반; 상기 연마 정반 상측에 위치하여 상기 연마 대상물에 가해지는 압력을 조절하는 멤브레인, 상기 멤브레인 하부에 상기 연마 대상물을 일시적으로 고정하는 백킹필름 및 상기 연마 대상물 주변에 제공되어 상기 백킹필름과 함께 상기 연마 대상물을 지지 및 고정하는 유지 링을 구비하며, 상기 연마 정반에 대해 상하로 이동하며 상기 연마 대상물을 연마하는 연마 헤드부; 및상기 멤브레인의 내부에 제공되며, 상기 연마 대상물의 에지 영역에 냉각 유체를 공급하여 상기 에지 영역을 냉각시키는 냉각부;를 포함하며, 상기 냉각부에 의해 상기 에지 영역의 연마 속도가 늦춰지는 것을 특징으로 하는 연마 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 냉각 유체는 물 또는 상대적으로 높은 열용량의 유체를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 냉각부는 상기 연마 헤드부 내부에서 상기 냉각 유체를 안내하기 위한 냉각체 및 상기 냉각체로 상기 냉각 유체를 공급하는 냉각 유입로를 포함하며,상기 냉각체는 상기 연마 대상물의 상기 에지 영역을 따라 제공되는 것을 특징으로 하는 연마 장치
5 5
제4항에 있어서,상기 냉각 유입로는 상기 연마 헤드부의 외측부 또는 중앙부에 형성되는 것을 특징으로 하는 연마 장치
6 6
연마 대상물을 연마하는 연마 방법에 있어서,연마 정반을 제공하는 단계;상기 연마 정반 상측에 상기 연마 대상물에 가해지는 압력을 조절하는 멤브레인, 상기 멤브레인 하부에 상기 연마 대상물을 일시적으로 고정하는 백킹필름 및 상기 연마 대상물 주변에 제공되어 상기 백킹필름과 함께 상기 연마 대상물을 지지 및 고정하는 유지 링을 구비하며, 상기 연마 정반에 대해 상하로 이동하며 상기 연마 대상물을 연마하는 연마 헤드부를 제공하는 단계;연마 대상물을 상기 연마 헤드부 저면에 제공하는 단계;상기 연마 정반 및 상기 연마 헤드부가 상대적으로 이동하며 상기 연마 대상물을 연마하는 단계; 및상기 연마 대상물의 에지 영역에 대응하도록 상기 멤브레인 내부에 냉각 유체를 공급하여 상기 에지 영역을 냉각시키는 단계;를 구비하며,상기 에지 영역을 냉각시키는 단계에 의해 상기 에지 영역의 연마 속도가 늦춰지는 것을 특징으로 하는 연마 방법
7 7
삭제
8 8
제6항에 있어서,상기 냉각 유체는 물 또는 상대적으로 높은 열용량의 유체를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 방법
9 9
제6항에 있어서, 상기 에지 영역을 냉각하는 단계에서 상기 냉각 유체를 안내하기 위한 냉각체 및 상기 냉각체로 상기 냉각 유체를 공급하는 냉각 유입로를 제공하는 것을 특징으로 하는 연마 방법
10 10
제9항에 있어서,상기 냉각 유입로는 상기 연마 헤드부의 외측부 또는 중앙부에 형성되는 것을 특징으로 하는 연마 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.