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기판 세정장치용 세정 부품의 적합성 검사 장치

  • 기술번호 : KST2015049685
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요약 기판 세정장치용 세정 부품의 적합성을 판단할 수 있는 검사 장치가 개시된다. 검사 장치는, 피검사체가 수용되어 상기 피검사체에 대한 검사 환경을 형성하는 세정유닛과 상기 세정유닛으로 순수를 공급하는 순수라인 및 상기 세정유닛에서 오버플로우되는 순수에 포함된 파티클을 검출하는 검사유닛을 포함한다. 상기 순수에 포함된 파티클은 상기 피검사체로 인해 발생되는 파티클이므로, 상기 피검사체의 세정 부품으로의 적합성 여부를 간단하고 정확하게 판단할 수 있다. 또한, 실제 세정장치에 사용되는 세정 부품으로 제작하지 않더라도 상기 피검사체의 적합성 여부를 판단할 수 있어서, 검사에 필요한 비용과 시간을 줄일 수 있다. 세정장치, 부품 재질 적합성, 입자계수기, LPC
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC H01L 21/67057(2013.01) H01L 21/67057(2013.01)
출원번호/일자 1020070105268 (2007.10.18)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0931788-0000 (2009.12.04)
공개번호/일자 10-2009-0039553 (2009.04.22) 문서열기
공고번호/일자 (20091214) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.10.18)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정홍일 대한민국 부산시 수영구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지실트론 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2007-0747221-93
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.01.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.02.16 수리 (Accepted) 9-1-2009-0008235-76
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.07.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0307119-51
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2009-0572281-31
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.09.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0572279-49
7 등록결정서
Decision to grant
2009.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0491361-10
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
피검사체가 수용되어 상기 피검사체에 대한 검사 환경을 형성하고, 내조와 상기 내조에서 오버플로우되는 순수를 수용하는 외조를 포함하는 세정유닛; 상기 내조에 연결되어 상기 내조에 순수를 공급하는 순수라인; 및 상기 외조와 연결되어 상기 외조에서 유입되는 순수를 수용하는 검사체적과 상기 검사체적에 광을 조사하는 광원부와 상기 검사체적에서 발생하는 광을 검출하는 검출부를 포함하고, 상기 세정유닛의 파티클을 검출하는 검사유닛; 을 포함하는 기판 세정장치용 세정 부품의 적합성 검사 장치
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삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 상기 검출부는 상기 검사체적에서 검출되는 산란광을 검출하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치용 세정 부품의 적합성 검사 장치
5 5
제4항에 있어서, 상기 검출부는 상기 검출된 산란광의 세기를 파티클의 크기로 변환하고, 상기 산란광의 검출빈도를 상기 파티클의 개수로 변환하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치용 세정 부품의 적합성 검사 장치
6 6
제1항에 있어서, 상기 광원부는 레이저인 것을 특징으로 하는 기판 세정장치용 세정 부품의 적합성 검사 장치
7 7
제1항에 있어서, 상기 검사유닛으로 유입되는 순수를 선택적으로 차단시키기 위한 밸브가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치용 세정 부품의 적합성 검사 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.