맞춤기술찾기

이전대상기술

스퍼터링 타겟용 산화아연 소결체의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015050002
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 a)산화아연(ZnO)을 포함하는 원료 분말을 혼합하는 단계; b)상기 혼합된 분말을 성형하여 성형체를 제조하는 단계; 및 c)상기 성형체를 소결하는 단계; 를 포함하여 산화아연을 포함하는 소결체를 제조하는 방법으로서, 상기 소결시 공기를 0.5 ~ 5 L/min (로내 용적 0.1m3당) 범위의 유량으로 흘려주는 것이 특징인 제조방법 및 상기 방법에 의해 제조된 산화아연을 포함하는 소결체로 된 스퍼터링 타겟을 제공한다.본 발명은 산화아연 소결체의 소결시 소량의 공기 흐름(air flow) 중에서 소결함으로써, 고밀도의 스퍼터링 타겟용 산화아연 소결체를 제작할 수 있으며, 소결시 성형체 표면을 동종의 원료 혼합 분말로 덮어줌으로서 소결체 표면의 이상반응을 억제하여 균일한 표면의 소결체를 얻을 수 있다. 산화아연 소결체, 스퍼터링 타겟, 공기 흐름(air flow)
Int. CL C04B 35/453 (2006.01)
CPC C04B 35/453(2013.01) C04B 35/453(2013.01) C04B 35/453(2013.01) C04B 35/453(2013.01) C04B 35/453(2013.01) C04B 35/453(2013.01) C04B 35/453(2013.01) C04B 35/453(2013.01) C04B 35/453(2013.01) C04B 35/453(2013.01)
출원번호/일자 1020070109516 (2007.10.30)
출원인 주식회사 엘지화학
등록번호/일자 10-1211884-0000 (2012.12.06)
공개번호/일자 10-2009-0043774 (2009.05.07) 문서열기
공고번호/일자 (20121213) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.01.19)
심사청구항수 11

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 양승민 대한민국 서울특별시 구로구
2 방정식 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2007-0778836-77
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2011.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2011-0043186-97
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2011-0044223-67
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2011.04.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0259013-62
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.03.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.04.24 수리 (Accepted) 9-1-2012-0032543-24
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0311989-88
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0604413-50
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.07.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0604419-23
10 등록결정서
Decision to grant
2012.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0686170-07
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5000389-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5161532-51
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.12 수리 (Accepted) 4-1-2018-5227604-80
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5261818-30
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164284-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
a)산화아연(ZnO)을 포함하는 원료 분말을 혼합하는 단계; b)상기 혼합된 분말을 성형하여 성형체를 제조하는 단계; 및 c)상기 성형체를 소결하는 단계;를 포함하여 산화아연을 포함하는 소결체를 제조하는 방법으로서, 상기 소결시 공기를 0
2 2
제 1항에 있어서, 소결시 상기 성형체의 외부를 상기의 혼합된 원료분말로 덮는 것이 특징인 제조방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 a)단계는 산화갈륨(Ga2O3), 산화알루미늄(Al2O3), 산화규소(SiO2), 산화게르마늄(GeO2) 및 산화티타늄(TiO2)으로 구성된 군에서 선택된 산화물 분말을 원료 분말에 함께 포함하거나 또는 산화아연 분말 자체에 Ga, Al, Si, Ge 및 Ti로 구성된 군에서 선택된 원소가 도판트로서 포함되는 것이 특징인 제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 원료 분말은 산화갈륨(Ga2O3)을 산화아연 100중량부 대비 2중량부 내지 8중량부 범위로 포함하는 것이 특징인 제조방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 원료분말은 10 nm ~ 1
6 6
제 1항에 있어서, 상기 소결체는 5
7 7
제 1항에 있어서, 직경 1
8 8
제 1항에 있어서, 150 ~ 300 bar의 압력을 가하고, 가압 후 2분 내지 1시간 유지한 후 탈형하는 일축성형(uniaxial pressing)에 의해 성형체를 제조하는 것이 특징인 제조방법
9 9
제 1항에 있어서, 2000 ~ 3000 bar의 압력을 가하는 냉간등압성형(Cold Isostatic Pressing, CIP)에 의해 성형체를 제조하는 것이 특징인 제조방법
10 10
제 1항에 있어서, 승온속도 2 ~ 10 ℃/min, 소결온도 1300 ~ 1600 ℃, 유지시간 1 ~ 5 hr
11 11
제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항의 제조방법으로 제조되고, 5
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.