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웨이퍼 캐리어의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015050359
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요약 본 발명은, 내마모성이 우수하여 사용수명이 획기적으로 증가할 뿐만 아니라 웨이퍼의 양면 연마시에 웨이퍼의 가장자리에 결함이 발생하지 않도록 구조가 개선된 웨이퍼 캐리어를 제조하는 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어의 제조방법은 웨이퍼의 양면을 연마하기 위한 웨이퍼의 양면 연마장치에 구비되는 웨이퍼 캐리어의 제조방법에 있어서, 웨이퍼 캐리어를 구성하는 본체를 미리 설정된 형상으로 가공하는 가공단계; 웨이퍼 캐리어의 본체에 예비공 및 슬러리를 유입하기 위한 슬러리 유입공을 관통 형성하는 형성단계; 예비공이 형성된 본체에 디엘씨를 코팅하는 코팅단계; 및 디엘씨 코팅후에 예비공을 확공하여 웨이퍼를 삽입하기 위한 웨이퍼 유지공을 형성하는 웨이퍼 유지공 형성단계;를 구비한다. 웨이퍼, 연마, 디엘씨(Diamond Like Carbon)
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020070122655 (2007.11.29)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0898821-0000 (2009.05.14)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20090522) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.11.29)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이찬용 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2007-0861072-27
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.11.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0072105-49
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.12.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0617471-11
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2009-0071951-51
6 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2009.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2009-0071040-83
7 등록결정서
Decision to grant
2009.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0196809-75
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
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번호 청구항
1 1
웨이퍼의 양면을 연마하기 위한 웨이퍼의 양면 연마장치에 구비되는 웨이퍼 캐리어의 제조방법에 있어서, 상기 웨이퍼 캐리어를 구성하는 본체를 미리 설정된 형상으로 가공하는 가공단계; 상기 웨이퍼 캐리어의 본체에 예비공 및 슬러리를 유입하기 위한 슬러리 유입공을 관통 형성하는 형성단계; 상기 예비공이 형성된 본체에 디엘씨를 코팅하는 코팅단계; 및 상기 디엘씨 코팅후에 상기 예비공을 확공하여 웨이퍼를 삽입하기 위한 웨이퍼 유지공을 형성하는 웨이퍼 유지공 형성단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 예비공을 형성한 후 상기 디엘씨를 코팅하기 전에, 상기 본체의 전면 및 배면 중 적어도 하나의 면에 상기 예비공의 중심점으로부터 서로 동일한 거리에 배치되도록 상기 본체에 부착 가능한 표식부재를 부착하는 부착단계;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어의 제조방법
3 3
제 2항에 있어서, 상기 표식부재를 상기 예비공의 중심점으로부터 방사형으로 배치되도록 적어도 4개 부착하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어의 제조방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN101444899 CN 중국 FAMILY
2 EP02065131 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 EP02065131 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
4 JP21135424 JP 일본 FAMILY
5 US20090139077 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN101444899 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 EP2065131 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 EP2065131 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 JP2009135424 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 SG152974 SG 싱가포르 DOCDBFAMILY
6 SG173996 SG 싱가포르 DOCDBFAMILY
7 US2009139077 US 미국 DOCDBFAMILY
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