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전기영동표시소자에 적용한 유기박막트랜지스터 및 그제조방법

  • 기술번호 : KST2015050388
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  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기박막트랜지스터 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명은 플라스틱기판; 상기 플라스틱기판상에 형성된 소스전극과 드레인전극; 상기 소스전극과 드레인전극의 상부 및 이들사이의 플라스틱기판상에 적층된 유기반도체층과 유기절연막 및 제1게이트전극; 상기 적층된 유기반도체층과 유기절연막 및 제1게이트전극을 포함한 플라스틱기판상에 형성되고 상기 제1게이트전극과 드레인전극 일부분을 노출시키는 보호막; 상기 보호막상부에 형성되고 상기 제1게이트전극과 드레인전극과 각각 전기적으로 연결되는 제2게이트전극과 화소전극연결패턴; 및 상기 화소전극연결패턴과 전기적으로 연결되는 화소전극;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.유기반도체, 버퍼층, 포토아크릴, 화소전극, 전기영동표시소자
Int. CL H01L 29/786 (2006.01) G02F 1/167 (2006.01)
CPC H01L 51/055(2013.01) H01L 51/055(2013.01) H01L 51/055(2013.01)
출원번호/일자 1020070125818 (2007.12.05)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1396940-0000 (2014.05.13)
공개번호/일자 10-2009-0058995 (2009.06.10) 문서열기
공고번호/일자 (20140520) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.12.04)
심사청구항수 22

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권오남 대한민국 경기도 용인시
2 이정재 대한민국 경기도 과천시 별양로 **,
3 강호철 대한민국 경기도 군포시 광정로 ***, 솔거대림아파트 *
4 박춘호 대한민국 경기 안양시 동안구
5 김창동 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.12.05 수리 (Accepted) 1-1-2007-0877074-37
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
6 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.12.04 수리 (Accepted) 1-1-2012-1005999-77
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0083789-67
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.11.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0761846-80
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.01.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0011995-26
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2014-0011990-09
12 등록결정서
Decision to grant
2014.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0286722-08
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
플라스틱기판;상기 플라스틱기판상에 형성된 소스전극과 드레인전극;상기 소스전극과 드레인전극의 상부 및 이들사이의 플라스틱기판상에 적층된 유기반도체층과 유기절연막 및 제1게이트전극;상기 적층된 유기반도체층과 유기절연막 및 제1게이트전극을 포함한 플라스틱기판상에 형성되고 상기 제1게이트전극과 드레인전극 일부분을 노출시키는 보호막;상기 보호막상부에 형성되고 상기 제1게이트전극과 드레인전극과 각각 전기적으로 연결되는 제2게이트전극과 화소전극연결패턴; 및상기 화소전극연결패턴과 전기적으로 연결되는 화소전극;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터
2 2
제 1항에 있어서, 상기 플라스틱기판과 소스/드레인전극사이에 오버코트층과 버퍼층이 형성된 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터
3 3
제 1항에 있어서, 상기 유기반도체는 펜타센(pentacene), 티오펜 올리고머(thiophene oligomer)인 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터
4 4
제 1항에 있어서, 상기 제1 게이트전극은 크롬(Cr), 구리(Cu), 몰리브덴 (Mo), 알루미늄(Al), 알루미늄합금(Al alloy), 텅스텐(W)계열 또는 Ti 등의 금속물질중에서 적어도 하나 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터
5 5
제 1항에 있어서, 제2 게이트전극과 화소전극연결패턴은 Cu/Ti, AlNd, 구리(Cu), 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 알루미늄합금(Al alloy), 텅스텐(W)계열 또는 Ti 등의 금속물질중에서 적어도 하나 이상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터
6 6
제 1항에 있어서, 상기 보호막은 서로 다른 물질로 구성된 이중 보호막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터
7 7
제 6항에 있어서, 상기 이중 보호막 중에서 제1보호막은 유기물질이고, 제2보호막은 감광성의 포토아크릴로 구성된 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터
8 8
플라스틱기판상에 소스전극과 드레인전극을 형성하는 단계;상기 소스전극과 드레인전극의 상부 및 이들사이의 플라스틱기판상에 유기반도체층과 유기절연막 및 제1게이트전극을 적층시키는 단계;상기 적층된 유기반도체층과 유기절연막 및 제1게이트전극을 포함한 플라스틱기판상에 상기 제1게이트전극과 드레인전극 일부분을 노출시키는 보호막을 형성하는 단계;상기 보호막상부에 상기 제1게이트전극과 드레인전극과 각각 전기적으로 연결되는 제2게이트전극과 화소전극연결패턴을 형성하는 단계; 및상기 화소전극연결패턴과 전기적으로 연결되는 화소전극을 형성하는 단계;를포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터 제조방법
9 9
제 8항에 있어서, 상기 플라스틱기판과 소스/드레인전극사이에 오버코트층과 버퍼층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터 제조방법
10 10
제 8항에 있어서, 상기 유기반도체는 펜타센(pentacene), 티오펜 올리고머 (thiophene oligomer)인 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터 제조방법
11 11
제 9항에 있어서, 상기 제1 게이트전극은 크롬(Cr), 구리(Cu), 몰리브덴 (Mo), 알루미늄(Al), 알루미늄합금(Al alloy), 텅스텐(W)계열 또는 Ti 등의 금속물질중에서 적어도 하나 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터 제조방법
12 12
제 8항에 있어서, 제2 게이트전극과 화소전극연결패턴은 Cu/Ti, AlNd, 구리(Cu), 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 알루미늄합금(Al alloy), 텅스텐(W)계열 또는 Ti 등의 금속물질중에서 적어도 하나 이상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터 제조방법
13 13
제 8항에 있어서, 상기 보호막은 서로 다른 물질로 구성된 이중 보호막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터 제조방법
14 14
제 13항에 있어서, 상기 이중 보호막 중에서 제1보호막은 유기물질이고, 제2보호막은 감광성의 포토아크릴로 구성된 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터 제조방법
15 15
제 8항에 있어서, 상기 유기반도체층과 유기절연막 및 제1게이트전극을 형성하는 단계는 습식식각공정과 건식식각공정에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터 제조방법
16 16
플라스틱기판상에 소스전극과 드레인전극을 형성하는 단계;상기 소스전극과 드레인전극의 상부 및 이들사이의 플라스틱기판상에 유기반도체층과 유기절연막 및 제1게이트전극을 적층시키는 단계;상기 적층된 유기반도체층과 유기절연막 및 제1게이트전극을 포함한 플라스틱기판상에 상기 제1게이트전극과 드레인전극 일부분을 노출시키는 보호막을 형성하는 단계;상기 보호막상부에 상기 제1게이트전극과 드레인전극과 각각 전기적으로 연결되는 제2게이트전극과 화소전극연결패턴을 형성하는 단계; 상기 화소전극연결패턴과 전기적으로 연결되는 화소전극을 형성하는 단계; 및상기 화소전극을 포함한 플라스틱기판상에 전기영동필름을 형성하는 단계;를포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터를 적용한 전기영동표시소자 제조방법
17 17
제 16항에 있어서, 상기 플라스틱기판과 소스/드레인전극사이에 오버코트층과 버퍼층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터를 적용한 전기영동표시소자 제조방법
18 18
제 16항에 있어서, 상기 유기반도체는 펜타센(pentacene), 티오펜 올리고머 (thiophene oligomer)인 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터를 적용한 전기영동표시소자 제조방법
19 19
제 16항에 있어서, 상기 제1 게이트전극은 크롬(Cr), 구리(Cu), 몰리브덴 (Mo), 알루미늄(Al), 알루미늄합금(Al alloy), 텅스텐(W)계열 또는 Ti 등의 금속물질중에서 적어도 하나 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터를 적용한 전기영동표시소자 제조방법
20 20
제 16항에 있어서, 제2 게이트전극과 화소전극연결패턴은 Cu/Ti, AlNd, 구리(Cu), 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 알루미늄합금(Al alloy), 텅스텐(W)계열 또는 Ti 등의 금속물질중에서 적어도 하나 이상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터를 적용한 전기영동표시소자 제조방법
21 21
제 16항에 있어서, 상기 보호막은 서로 다른 물질로 구성된 이중 보호막으로 구성되되, 상기 이중 보호막 중에서 제1보호막은 유기물질이고, 제2보호막은 감광성의 포토아크릴로 구성된 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터를 적용한 전기영동표시소자 제조방법
22 22
제 16항에 있어서, 상기 유기반도체층과 유기절연막 및 제1게이트전극을 형성하는 단계는 습식식각공정과 건식식각공정에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터를 적용한 전기영동표시소자 제조방법
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