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액정표시장치 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015050450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 액정표시장치 및 그 제조방법은 다중노출 마스크를 이용하여 액티브패턴과 소오스/드레인전극 및 패드부 콘택홀을 형성하고, 포토리소그래피공정이 필요 없는 메탈 마스크를 이용하여 화소부에 보호막을 형성함으로써 마스크수를 감소시켜 제조공정을 단순화하는 동시에 제조비용을 절감하기 위한 것으로, 화소부와 데이터패드부 및 게이트패드부로 구분되는 제 1 기판을 제공하는 단계; 제 1 마스크공정을 통해 상기 제 1 기판의 화소부에 게이트전극과 게이트라인을 형성하며, 상기 제 1 기판의 게이트패드부에 게이트패드라인을 형성하는 단계; 상기 게이트전극과 게이트라인 및 게이트패드라인이 형성된 제 1 기판 위에 게이트절연막과 비정질 실리콘 박막과 n+ 비정질 실리콘 박막 및 도전막을 형성하는 단계; 다중노출 마스크를 이용한 제 2 마스크공정을 통해 상기 도전막이 형성된 제 1 기판 위에 제 1 감광막패턴 내지 제 5 감광막패턴을 형성하는 단계; 상기 제 1 감광막패턴 내지 제 5 감광막패턴을 마스크로 하여 상기 게이트절연막의 일부와 상기 비정질 실리콘 박막과 n+ 비정질 실리콘 박막 및 도전막을 선택적으로 제거하여 상기 제 1 기판의 게이트패드부에 상기 게이트절연막의 두께 일부가 제거되어 제 1 두께를 갖도록 제 1 패드 홀을 형성하는 단계; 제 1 애싱공정을 통해 상기 제 5 감광막패턴을 제거하는 동시에 상기 제 1 감광막패턴 내지 제 5 감광막패턴의 두께 일부를 제거하여 제 6 감광막패턴 내지 제 9 감광막패턴을 형성하는 단계; 상기 제 6 감광막패턴 내지 제 9 감광막패턴을 마스크로 상기 비정질 실리콘 박막과 n+ 비정질 실리콘 박막 및 도전막을 선택적으로 제거하여 상기 제 1 기판의 화소부에 상기 비정질 실리콘 박막으로 이루어진 액티브패턴을 형성하며, 상기 제 1 기판의 화소부 및 데이터패드부에 각각 상기 도전막으로 이루어진 데이터라인 및 제 1 데이터패드라인을 형성하는 단계; 상기 제 6 감광막패턴 내지 제 9 감광막패턴을 마스크로 상기 게이트절연막을 선택적으로 제거하여 상기 제 1 기판의 게이트패드부에 상기 제 1 두께의 게이트절연막의 두께 일부가 더 제거되어 제 2 두께를 갖도록 제 2 패드 홀을 형성하는 단계; 제 2 애싱공정을 통해 상기 제 9 감광막패턴을 제거하는 동시에 상기 제 6 감광막패턴 내지 제 8 감광막패턴의 두께 일부를 제거하여 제 10 감광막패턴 내지 제 12 감광막패턴을 형성하는 단계; 상기 제 10 감광막패턴 내지 제 12 감광막패턴을 마스크로 상기 도전막을 선택적으로 제거하여 상기 제 1 기판의 화소부에 상기 도전막으로 이루어진 소오스전극과 드레인전극을 형성하며, 상기 제 2 두께의 게이트절연막을 선택적으로 제거하여 상기 게이트패드부에 상기 게이트패드라인의 일부를 노출시키는 제 1 콘택홀을 형성하는 단계; 제 3 마스크공정을 통해 상기 제 1 기판의 화소부에 상기 드레인전극과 직접 접속하는 화소전극을 형성하며, 상기 제 1 기판의 게이트패드부에 상기 제 1 콘택홀을 통해 상기 게이트패드라인과 전기적으로 접속하는 게이트패드전극을 형성하는 단계; 상기 화소전극 및 게이트패드전극이 형성된 제 1 기판의 데이터패드부와 게이트패드부를 메탈 마스크로 가린 상태에서 상기 제 1 기판의 화소부에 보호막을 형성하는 단계; 및 상기 보호막이 형성된 제 1 기판과 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함한다.액정표시장치, 다중노출 마스크, 메탈 마스크, 마스크수
Int. CL G02F 1/13 (2006.01) G02F 1/136 (2006.01)
CPC G02F 1/136286(2013.01) G02F 1/136286(2013.01) G02F 1/136286(2013.01) G02F 1/136286(2013.01)
출원번호/일자 1020070127193 (2007.12.07)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1432571-0000 (2014.08.14)
공개번호/일자 10-2009-0060048 (2009.06.11) 문서열기
공고번호/일자 (20140821) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.12.06)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이지노 대한민국 대구광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2007-0883737-96
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
6 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.12.06 수리 (Accepted) 1-1-2012-1015229-29
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0077723-79
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0869463-06
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.02.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0114645-00
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2014-0114639-25
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.06.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0396360-75
13 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2014.07.02 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2014-0025230-96
14 등록결정서
Decision to grant
2014.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0538555-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
화소부와 데이터패드부 및 게이트패드부로 구분되는 제 1 기판을 제공하는 단계;제 1 마스크공정을 통해 상기 제 1 기판의 화소부에 게이트전극과 게이트라인을 형성하며, 상기 제 1 기판의 게이트패드부에 게이트패드라인을 형성하는 단계;상기 게이트전극과 게이트라인 및 게이트패드라인이 형성된 제 1 기판 위에 게이트절연막과 비정질 실리콘 박막과 n+ 비정질 실리콘 박막 및 도전막을 형성하는 단계;다중노출 마스크를 이용한 제 2 마스크공정을 통해 상기 도전막이 형성된 제 1 기판 위에 제 1 감광막패턴 내지 제 5 감광막패턴을 형성하는 단계;상기 제 1 감광막패턴 내지 제 5 감광막패턴을 마스크로 하여 상기 게이트절연막의 일부와 상기 비정질 실리콘 박막과 n+ 비정질 실리콘 박막 및 도전막을 선택적으로 제거하여 상기 제 1 기판의 게이트패드부에 상기 게이트절연막의 두께 일부가 제거되어 제 1 두께를 갖도록 제 1 패드 홀을 형성하는 단계;제 1 애싱공정을 통해 상기 제 5 감광막패턴을 제거하는 동시에 상기 제 1 감광막패턴 내지 제 5 감광막패턴의 두께 일부를 제거하여 제 6 감광막패턴 내지 제 9 감광막패턴을 형성하는 단계;상기 제 6 감광막패턴 내지 제 9 감광막패턴을 마스크로 상기 비정질 실리콘 박막과 n+ 비정질 실리콘 박막 및 도전막을 선택적으로 제거하여 상기 제 1 기판의 화소부에 상기 비정질 실리콘 박막으로 이루어진 액티브패턴을 형성하며, 상기 제 1 기판의 화소부 및 데이터패드부에 각각 상기 도전막으로 이루어진 데이터라인 및 제 1 데이터패드라인을 형성하는 단계;상기 제 6 감광막패턴 내지 제 9 감광막패턴을 마스크로 상기 게이트절연막을 선택적으로 제거하여 상기 제 1 기판의 게이트패드부에 상기 제 1 두께의 게이트절연막의 두께 일부가 더 제거되어 제 2 두께를 갖도록 제 2 패드 홀을 형성하는 단계;제 2 애싱공정을 통해 상기 제 9 감광막패턴을 제거하는 동시에 상기 제 6 감광막패턴 내지 제 8 감광막패턴의 두께 일부를 제거하여 제 10 감광막패턴 내지 제 12 감광막패턴을 형성하는 단계;상기 제 10 감광막패턴 내지 제 12 감광막패턴을 마스크로 상기 도전막을 선택적으로 제거하여 상기 제 1 기판의 화소부에 상기 도전막으로 이루어진 소오스전극과 드레인전극을 형성하며, 상기 제 2 두께의 게이트절연막을 선택적으로 제거하여 상기 게이트패드부에 상기 게이트패드라인의 일부를 노출시키는 제 1 콘택홀을 형성하는 단계;제 3 마스크공정을 통해 상기 제 1 기판의 화소부에 상기 드레인전극과 직접 접속하는 화소전극을 형성하며, 상기 제 1 기판의 게이트패드부에 상기 제 1 콘택홀을 통해 상기 게이트패드라인과 전기적으로 접속하는 게이트패드전극을 형성하는 단계;상기 화소전극 및 게이트패드전극이 형성된 제 1 기판의 데이터패드부와 게이트패드부를 메탈 마스크로 가린 상태에서 상기 제 1 기판의 화소부에 보호막을 형성하는 단계; 및상기 보호막이 형성된 제 1 기판과 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하는 액정표시장치의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 마스크공정을 이용하여 상기 제 1 기판의 데이터패드부에 제 2 데이터패드라인을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 제 2 마스크공정을 이용하여 상기 제 1 기판의 데이터패드부에 상기 제 2 데이터패드라인의 일부를 노출시키는 제 2 콘택홀을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 제 3 마스크공정을 이용하여 상기 제 1 기판의 데이터패드부에 상기 제 2 콘택홀을 통해 상기 제 2 데이터패드라인과 전기적으로 접속하는 데이터패드전극을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 데이터패드전극은 그 일부가 상기 화소부로 연장되어 상기 제 1 데이터패드라인과 직접 전기적으로 접속하도록 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
6 6
삭제
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 감광막패턴 내지 제 3 감광막패턴은 상기 제 4 감광막패턴과 제 5 감광막패턴보다 두껍게 형성하는 한편, 상기 제 5 감광막패턴은 상기 제 4 감광막패턴보다 두껍게 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 제 6 감광막패턴 내지 제 9 감광막패턴을 마스크로 상기 비정질 실리콘 박막과 n+ 비정질 실리콘 박막 및 도전막을 선택적으로 제거하여, 상기 액티브패턴 상부에 각각 상기 n+ 비정질 실리콘 박막과 도전막으로 이루어지며 상기 액티브패턴과 동일한 형태로 패터닝된 제 1 n+ 비정질 실리콘 박막패턴과 도전막패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 제 6 감광막패턴 내지 제 9 감광막패턴을 마스크로 상기 비정질 실리콘 박막과 n+ 비정질 실리콘 박막 및 도전막을 선택적으로 제거하여, 상기 데이터라인 및 제 1 데이터패드라인 하부에 각각 상기 비정질 실리콘 박막과 n+ 비정질 실리콘 박막으로 이루어지며 상기 데이터라인 및 제 1 데이터패드라인과 동일한 형태로 패터닝된 제 1 비정질 실리콘 박막패턴과 제 2 n+ 비정질 실리콘 박막패턴 및 제 2 비정질 실리콘 박막패턴과 제 3 n+ 비정질 실리콘 박막패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
10 10
삭제
11 11
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12 12
삭제
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