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상정반, 하정반 및 웨이퍼 캐리어로 구성된 양면 연마기에 의한 웨이퍼의 양면 연마 공정을 수행하는 단계;
상기 웨이퍼를 모니터링하는 단계;
세라믹 재질로 이루어진 시즈닝 플레이트를 상기 상정반과 하정반 사이에 위치시키는 단계;
상기 모니터링한 웨이퍼의 형상에 근거하여, 상기 시즈닝 플레이트를 가압하는 압력, 시즈닝 시간 및 연마제 온도를 설정하는 단계; 및
상기 상정반과 하정반이 상기 시즈닝 플레이트를 가압하여 연마 패드의 평탄도를 고르게 하는 시즈닝 단계;
를 포함하고,
상기 시즈닝 플레이트를 가압하는 압력, 시즈닝 시간 및 연마제 온도를 설정하는 단계는, 상기 모니터링한 웨이퍼의 형상이 볼록한 경우와 오목한 경우로 나누어 압력, 시간 및 온도값을 설정하는 것을 특징으로 하는 시즈닝 플레이트를 이용한 웨이퍼의 평탄도 제어 방법
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제 1 항에 있어서,
상기 시즈닝 플레이트를 가압하는 압력, 시즈닝 시간 및 연마제 온도를 설정하는 단계는,
상기 모니터링한 웨이퍼의 형상이 볼록한 경우, 압력을 250g/cm2 내지 300g/cm2로 설정하고, 시즈닝 시간을 3분 내지 5분으로 설정하며, 연마제 온도를 26℃ 내지 28℃로 설정하는 것을 특징으로 하는 시즈닝 플레이트를 이용한 웨이퍼의 평탄도 제어 방법
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제 1 항에 있어서,
상기 시즈닝 플레이트를 가압하는 압력, 시즈닝 시간 및 연마제 온도를 설정하는 단계는,
상기 모니터링한 웨이퍼의 형상이 볼록한 경우, 압력을 300g/cm2 내지 400g/cm2로 설정하고, 시즈닝 시간을 5분 내지 7분으로 설정하며, 연마제 온도를 28℃ 내지 30℃로 설정하는 것을 특징으로 하는 시즈닝 플레이트를 이용한 웨이퍼의 평탄도 제어 방법
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제 1 항에 있어서,
상기 시즈닝 플레이트를 가압하는 압력, 시간 및 온도를 설정하는 단계는,
상기 모니터링한 웨이퍼의 형상이 볼록한 경우, 압력을 450g/cm2 내지 550g/cm2로 설정하고, 시즈닝 시간을 7분 내지 9분으로 설정하며, 연마제 온도를 30℃ 내지 32℃로 설정하는 것을 특징으로 하는 시즈닝 플레이트를 이용한 웨이퍼의 평탄도 제어 방법
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제 1 항에 있어서,
상기 시즈닝 플레이트를 가압하는 압력, 시즈닝 시간 및 연마제 온도를 설정하는 단계는,
상기 모니터링한 웨이퍼의 형상이 오목한 경우, 압력을 200g/cm2 내지 250g/cm2로 설정하고, 시즈닝 시간을 2분 내지 3분으로 설정하며, 연마제 온도를 23℃ 내지 25℃로 설정하는 것을 특징으로 하는 시즈닝 플레이트를 이용한 웨이퍼의 평탄도 제어 방법
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제 1 항에 있어서,
상기 시즈닝 플레이트를 가압하는 압력, 시즈닝 시간 및 연마제 온도를 설정하는 단계는,
상기 모니터링한 웨이퍼의 형상이 오목한 경우, 압력을 100g/cm2 내지 200g/cm2로 설정하고, 시즈닝 시간을 1분 내지 2분으로 설정하며, 연마제 온도를 20℃ 내지 23℃로 설정하는 것을 특징으로 하는 시즈닝 플레이트를 이용한 웨이퍼의 평탄도 제어 방법
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