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기판 연마 장치

  • 기술번호 : KST2015050599
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요약 연마헤드와 충돌을 방지하는 기판 연마 장치가 개시된다. 기판 연마 장치는 정반, 연마블록 및 상기 연마블록 상부에 구비되고 상기 연마블록에 선택적으로 접촉되어 상기 기판을 가압하는 연마헤드가 구비되고, 상기 정반 중심부에 구비되어 상기 연마블록 및 상기 연마헤드의 일측부에 접촉되는 센터 가이드 및 상기 정반 외주연부를 따라 구비되어 상기 연마블록의 타측부에 접촉되되, 상기 연마헤드의 하강 시 상기 연마헤드와의 접촉을 방지하도록 상부로 갈수록 단면적이 작아지는 원뿔대 형태를 갖는 아웃 가이드를 포함한다. 따라서, 상기 연마헤드의 하강시 상기 연마헤드가 상기 아웃 가이드에 충돌하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 아웃 가이드와 상기 연마블록의 접촉 면적을 최소화하여, 상기 연마블록과 상기 아웃 가이드의 마찰로 인한 회전력 손실과 상기 아웃 가이드의 마모를 절감할 수 있다. 연마 장치, 연마헤드, 아웃 가이드
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC B24B 37/04(2013.01) B24B 37/04(2013.01)
출원번호/일자 1020070130357 (2007.12.13)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0937583-0000 (2010.01.11)
공개번호/일자 10-2009-0062884 (2009.06.17) 문서열기
공고번호/일자 (20100120) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.12.13)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최세훈 대한민국 인천시 연수구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지실트론 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.12.13 수리 (Accepted) 1-1-2007-0898292-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2008-0077541-04
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0091076-20
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0254474-76
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0254470-94
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2009.07.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0289313-90
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.07.10 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2009-0420213-72
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.07.10 수리 (Accepted) 1-1-2009-0420212-26
10 등록결정서
Decision to grant
2010.01.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0008438-44
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
연마패드가 구비된 정반; 상기 정반 상에 구비되어 기판을 지지하는 연마블록; 상기 연마블록 상부에 구비되고, 상기 연마블록에 선택적으로 접촉되어 상기 기판을 상기 연마패드에 대해 가압하는 연마헤드; 상기 정반 중심부에 구비되어 상기 연마블록 및 상기 연마헤드의 일측부에 접촉되는 센터 가이드; 및 상기 정반 외주연부를 따라 구비되어 상기 연마블록의 타측부에 접촉되되, 상기 연마헤드의 하강 시 상기 연마헤드와의 접촉을 방지하도록 상부로 갈수록 단면적이 작아지는 원뿔대 형태를 갖는 아웃 가이드; 를 포함하는 기판 연마 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 아웃 가이드는 상단부의 직경이 하단부의 직경에 비해 4 내지 16㎜ 작은 것을 특징으로 하는 기판 연마 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 아웃 가이드에서 상기 연마블록과 접촉되는 제1 면은 외측으로 돌출된 것을 특징으로 하는 기판 연마 장치
5 5
제4항에 있어서, 상기 아웃 가이드의 제1 면은 상기 연마블록의 측면과 점접촉되는 것을 특징으로 하는 기판 연마 장치
6 6
제4항에 있어서, 상기 제1 면은 라운드지게 형성된 것을 특징으로 하는 기판 연마 장치
7 7
연마패드가 구비된 정반; 상기 정반 상에 구비되어 기판을 지지하는 연마블록; 상기 연마블록 상부에 구비되고, 상기 연마블록에 선택적으로 접촉되어 상기 기판을 상기 연마패드에 대해 가압하는 연마헤드; 상기 정반 중심부에 구비되어 상기 연마블록 및 상기 연마헤드의 일측부에 접촉되는 센터 가이드; 및 상기 정반 외주연부를 따라 구비되어 상기 연마블록의 타측부에 접촉되되, 상기 연마블록과 접촉되는 제1 면이 외측으로 돌출되어 상기 제1 면의 상부가 상기 연마헤드와 비접촉되는 아웃 가이드; 를 포함하는 기판 연마 장치
8 8
제7항에 있어서, 상기 제1 면은 라운드지게 형성된 것을 특징으로 하는 기판 연마 장치
9 9
제7항에 있어서, 상기 제1 면의 상부의 제2 면은 상부로 갈수로 단면적이 감소되는 경사면인 것을 특징으로 하는 기판 연마 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.