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더블 쏘우 와이어 잉곳 절단장치

  • 기술번호 : KST2015050623
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요약 본 발명은 더블 쏘우 와이어 잉곳 절단장치를 개시한다. 본 발명에 따른 더블 쏘우 와이어 잉곳 절단장치는, 잉곳을 절단하는 쏘우 와이어; 상부와 하부에 2개의 절단 구간을 제공하도록 상기 쏘우 와이어를 감아서 폐루프로 회전시키는 복수의 와이어롤러; 및 제1 잉곳이 장착된 상부테이블이 설치된 상부유닛과, 제2 잉곳이 장착된 하부테이블이 설치된 하부유닛, 및 상기 하부유닛을 기준으로 상부유닛이 상하 직선 이동이 가능하도록 상기 상부 유닛과 하부 유닛을 상호 결합시키는 직선 이동 가이더를 구비하고, 상기 제1 및 제2 잉곳을 각각 상기 상부 절단 구간 및 하부 절단 구간으로 동시에 이동시키는 잉곳 이동유닛을 포함한다. 본 발명에 따르면, 메인 롤러의 그루브를 재형성한 후 수행하는 갭(Gap) 조정 작업 시 스페이서를 사용하지 않고 조정을 용이하게 수행할 수 있다. 따라서, 작업자가 무거운 잉곳 이동유닛을 취급할 필요가 없고, 갭 조정 작업에 소요되는 시간 또한 현저히 단축시킬 수 있다. 잉곳, 쏘우 와이어, 잉곳 절단장치, 웨이퍼
Int. CL B28D 5/04 (2006.01) H01L 21/304 (2006.01) B28D 5/00 (2006.01)
CPC B28D 5/0058(2013.01) B28D 5/0058(2013.01)
출원번호/일자 1020070129165 (2007.12.12)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0942144-0000 (2010.02.04)
공개번호/일자 10-2009-0062068 (2009.06.17) 문서열기
공고번호/일자 (20100216) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.12.12)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성호 대한민국 대구 서구
2 이영래 대한민국 대구 수성구
3 강희명 대한민국 대구 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지실트론 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2007-0894058-50
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.04.14 수리 (Accepted) 9-1-2009-0022286-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.07.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0277534-47
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.09.01 수리 (Accepted) 1-1-2009-0537165-88
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.09.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0537163-97
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.10.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0409304-61
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.11.26 수리 (Accepted) 1-1-2009-0727125-18
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.11.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0727124-73
10 등록결정서
Decision to grant
2010.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0043684-24
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
잉곳을 절단하는 쏘우 와이어; 상부와 하부에 2개의 절단 구간을 제공하도록 상기 쏘우 와이어를 감아서 폐루프로 회전시키는 복수의 와이어롤러; 및 제1 잉곳이 장착된 상부테이블이 설치된 상부유닛과, 제2 잉곳이 장착된 하부테이블이 설치된 하부유닛, 및 상기 와이어롤러의 그루빙 작업으로 발생된 상기 쏘우 와이어와 상기 제1 및 제2잉곳 사이의 갭 차이를 보정할 수 있도록 상기 하부유닛을 기준으로 상부유닛이 상하 직선 이동이 가능하도록 상기 상부 유닛과 하부 유닛을 상호 결합시키는 직선 이동 가이더를 구비하고, 상기 제1 및 제2 잉곳을 각각 상기 상부 절단 구간 및 하부 절단 구간으로 동시에 이동시키는 잉곳 이동유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 더블 쏘우 와이어 잉곳 절단장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 직선 이동 가이더는, 일 측면은 상부유닛과, 타 측면은 직선 이동 베이링과 결합된 슬라이더; 및 상기 직선 이동 베어링과 맞물려 상기 슬라이더의 직선 이동을 안내하는 베어링 가이더를 포함하는 것을 특징으로 하는 더블 쏘우 와이어 잉곳 절단장치
3 3
제 2항에 있어서, 상기 직선 이동 베어링은 회전력을 제공하는 구동원과 연결된 것을 특징으로 하는 더블 쏘우 와이어 잉곳 절단장치
4 4
제 1항에 있어서, 상기 상부유닛은, 하중의 완충작용을 하는 가스 실린더의 피스톤 주축과 결합된 것을 특징으로 하는 더블 쏘우 와이어 잉곳 절단장치
5 5
제 4항에 있어서, 상기 가스 실린더는, 상기 상부유닛의 하방 이동시 피스톤 주축을 통해 인가되는 압력과 동일한 크기의 공기압을 피스톤에 의해 정의되는 실린더 공간에 제공하는 공기 펌프와 연결된 것을 특징으로 하는 더블 쏘우 와이어 잉곳 절단장치
6 6
제 1항에 있어서, 상기 하부유닛은, 하중의 완충작용을 하는 가스 실린더의 피스톤 주축과 결합된 것을 특징으로 하는 더블 쏘우 와이어 잉곳 절단장치
7 7
제 6항에 있어서, 상기 가스 실린더는, 상기 하부유닛의 하방 이동시 피스톤 주축을 통해 인가되는 압력과 동일한 크기의 공기압을 피스톤에 의해 정의되는 실린더 공간에 제공하는 공기 펌프와 연결된 것을 특징으로 하는 더블 쏘우 와이어 잉곳 절단장치
8 8
제 1항에 있어서, 상기 상부유닛과 하부유닛은, 상기 와이어롤러의 그루빙 작업시 필요한 갭조정 간격 이상으로 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 더블 쏘우 와이어 잉곳 절단장치
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