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복수의 화소 영역이 형성된 기판 상에 박막을 형성하는 마스크 장치에 있어서,일정 간격을 갖도록 서로 이격된 그릴 형태의 복수의 개구홀 및 상기 개구홀을 제외한 영역이 차단영역으로 정의된 마스크 프레임과;상기 마스크 프레임의 상기 차단영역에 형성된 복수의 스페이서를 포함하며,상기 스페이서는 상기 인접한 개구홀 사이의 간격에 대응되는 길이를 가지며, 상기 개구홀에 대응되도록 상기 개구홀과 수직 방향으로 배열된 것을 특징으로 하는 마스크 장치
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제 1 항에 있어서,상기 복수의 스페이서는 상기 마스크 프레임의 적어도 하나의 일면에 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 장치
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제 1 항에 있어서,상기 복수의 개구홀은 상기 복수의 화소 영역과 대응되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 장치
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제 1 항에 있어서,상기 차단 영역은 적어도 하나 이상의 상기 화소 영역을 차단하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 장치
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제 1 항에 있어서,상기 복수의 개구홀은,상기 마스크 프레임의 제 1 면에 제 1 면적을 갖는 제 1 개구부와;제 2 면에 제 2 면적을 갖는 제 2 개구부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크 장치
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제 5 항에 있어서,상기 복수의 스페이서가 설치된 상기 마스크 프레임의 제 1 개구부는 상기 제 2 개구부 보다 큰 것을 특징으로 하는 마스크 장치
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제 5 항에 있어서,상기 복수의 개구홀은 상기 제 2 개구부로 경사진 경사면을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 장치
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제 1 항에 있어서,상기 마스크 프레임은 SUS 계열, INVAR, 티타늄(Ti) 또는 이들의 합금 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 마스크 장치
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삭제
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복수의 화소 영역이 형성된 기판 상에 박막을 형성하기 위해 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 의한 마스크 장치를 준비하는 단계와;상기 마스크 장치와 기판이 마주보도록 정렬하는 단계와;상기 마스크 장치를 통과한 증착 물질이 상기 기판 상에 박막으로 형성되는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 제조방법
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