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웨이퍼 세정장치

  • 기술번호 : KST2015050672
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요약 본 발명은 웨이퍼 세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼를 향하여 초음파를 발신하여 웨이퍼 표면에 부착된 이물질을 제거하는 웨이퍼 세정장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 웨이퍼 세정장치는 내부에 웨이퍼를 세정하기 위한 세정액이 수용되는 세정조와, 세정조 내부로 세정액을 공급하는 세정액 공급라인과, 일방향으로 길게 형성된 바 형상으로 이루어져 수평하게 배치되며, 외측면에 대하여 오목하게 형성되며 웨이퍼가 끼워져 지지되는 슬롯이 길이 방향을 따라 서로 이격되게 복수 개 마련되어 있으며, 세정조 내부에 서로 나란하게 배치되는 복수 개의 웨이퍼 서포터와, 세정조의 하측에 배치되며 웨이퍼를 향하여 초음파를 발생하는 초음파 발신기를 포함하는 웨이퍼 세정장치에 있어서, 각 웨이퍼 서포터의 단면은, 그 수직 방향의 길이가 수평 방향의 길이보다 길게 형성된다. 웨이퍼, 세정액, 세정장치, 웨이퍼 서포터
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC H01L 21/67057(2013.01) H01L 21/67057(2013.01) H01L 21/67057(2013.01)
출원번호/일자 1020070132235 (2007.12.17)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0910190-0000 (2009.07.24)
공개번호/일자 10-2009-0064871 (2009.06.22) 문서열기
공고번호/일자 (20090730) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.12.17)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 위일환 대한민국 서울 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2007-0905253-16
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.01.14 수리 (Accepted) 9-1-2009-0002656-44
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0091082-05
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0253935-44
6 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2009.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0253219-72
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0253806-63
8 등록결정서
Decision to grant
2009.07.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0290587-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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내부에 웨이퍼를 세정하기 위한 세정액이 수용되는 세정조와, 상기 세정조 내부로 상기 세정액을 공급하는 세정액 공급라인과, 일방향으로 길게 형성된 바 형상으로 이루어져 수평하게 배치되며, 외측면에 대하여 오목하게 형성되며 상기 웨이퍼가 끼워져 지지되는 슬롯이 상기 길이 방향을 따라 서로 이격되게 복수 개 마련되어 있으며, 상기 세정조 내부에 서로 나란하게 배치되는 복수 개의 웨이퍼 서포터와, 상기 세정조의 하측에 배치되며 상기 웨이퍼를 향하여 초음파를 발생하는 초음파 발신기를 포함하는 웨이퍼 세정장치에 있어서, 상기 각 웨이퍼 서포터의 단면은, 그 수직 방향의 길이가 수평 방향의 길이보다 길게 형성되며, 상기 각 웨이퍼 서포터의 상면 및 하면은 곡면 형상으로 형성되며, 상기 각 웨이퍼 서포터의 양 측면은 서로 평행한 평면 형상으로 형성되며, 상기 웨이퍼가 지지되는 상기 슬롯의 바닥면은 곡면 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정장치
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삭제
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 서포터는, 상기 웨이퍼의 하부를 지지하며 상기 웨이퍼의 원주 방향을 따라 등간격으로 3개 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.