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잉곳 고정유닛 및 이를 구비하는 잉곳 절단장치

  • 기술번호 : KST2015050724
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요약 본 발명은 잉곳 고정유닛 및 이를 구비하는 잉곳 절단장치를 개시한다. 본 발명에 따른 잉곳 고정유닛은 잉곳의 길이 방향을 따라 잉곳의 상부 곡면에 부착되어 잉곳을 고정하는 잉곳 장착 수단과 상기 잉곳 장착 수단과 결합되어 잉곳 장착 수단을 상하 방향으로 수직 이동시키는 수직이동 테이블 및 상기 수직이동 테이블 또는 상기 잉곳 장착 수단에 결합되어 잉곳의 좌우측 곡면에 접촉되고, 쏘우 와이어가 통과될 수 있도록 쏘우 와이어 삽입홈이 형성된 잉곳 홀더 수단을 포함한다. 본 발명에 따르면, 빔의 측면에 구비되어 잉곳을 흔들림 없이 고정하는 잉곳 홀더를 사용하여 잉곳 절단 공정에서 발생하던 잉곳의 휨을 방지함으로써, 웨이퍼의 품질 향상을 도모할 수 있다. 잉곳, 쏘우 와이어, 잉곳 절단, 슬라이싱 공정
Int. CL B23D 53/00 (2006.01) B28D 5/04 (2006.01)
CPC B28D 5/0082(2013.01) B28D 5/0082(2013.01)
출원번호/일자 1020070138503 (2007.12.27)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0936894-0000 (2010.01.06)
공개번호/일자 10-2009-0070483 (2009.07.01) 문서열기
공고번호/일자 (20100114) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.12.27)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 공순현 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2007-0937551-01
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0319178-60
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0598915-88
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0598914-32
5 등록결정서
Decision to grant
2010.01.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0000938-85
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
잉곳의 길이 방향을 따라 잉곳의 상부 곡면에 부착되어 잉곳을 고정하는 잉곳 장착 수단; 상기 잉곳 장착 수단과 결합되어 잉곳 장착 수단을 상하 방향으로 수직 이동시키는 수직이동 테이블; 및 상기 수직이동 테이블 또는 상기 잉곳 장착 수단에 결합되어 잉곳의 좌우측 곡면에 접촉되고, 쏘우 와이어가 통과될 수 있도록 쏘우 와이어 삽입홈이 형성된 잉곳 홀더 수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 고정유닛
2 2
제 1항에 있어서, 상기 잉곳 장착 수단은, 하부면에 잉곳이 부착되는 빔; 및 일 측은 상기 빔의 상면과 결합되고, 타 측은 상기 수직이동 테이블의 하부와 결합되는 워크 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 고정유닛
3 3
제 1항에 있어서, 상기 잉곳 홀더 수단은, 상기 수직이동 테이블 또는 상기 잉곳 장착 수단과 결합되는 홀더부 지지 테이블; 및 상기 홀더부 지지 테이블로부터 연장 형성되고 잉곳의 측면과 대응되는 형상으로써 상기 잉곳의 측면과 정합되는 홀더부를 포함하고, 상기 쏘우 와이어 삽입홈은 상기 홀더부 지지 테이블과 상기 홀더부를 잉곳의 반경 방향으로 관통하는 것을 특징으로 하는 잉곳 고정유닛
4 4
제 1항에 있어서, 상기 쏘우 와이어 삽입홈은 일정한 간격으로 반복형성되어 있고, 상기 쏘우 와이어 삽입홈은 하나의 쏘우 와이어가 통과될 수 있는 정도의 간격을 갖는 것을 특징으로 하는 잉곳 고정유닛
5 5
제 1항에 있어서, 상기 쏘우 와이어 삽입홈은 일정한 간격으로 반복형성되어 있고, 상기 쏘우 와이어 삽입홈은 복수 개의 쏘우 와이어가 통과될 수 있는 정도의 간격을 갖는 것을 특징으로 하는 잉곳 고정유닛
6 6
제 5항에 있어서, 상기 쏘우 와이어 삽입홈은 잉곳의 축방향을 기준으로 잉곳의 양 측으로 갈수록 좁은 간격을 가지면서 반복 형성되어 있고, 각 쏘우 와이어 삽입홈은 정수개의 쏘우 와이어가 통과될 수 있는 정도의 간격을 갖는 것을 특징으로 하는 잉곳 고정유닛
7 7
잉곳을 절단하는 쏘우 와이어; 잉곳의 절단 구간을 제공하도록 상기 쏘우 와이어를 감아서 폐루프로 회전시키는 복수의 와이어롤러; 및 잉곳의 길이 방향을 따라 잉곳의 상부 곡면에 부착되어 잉곳을 고정하는 잉곳 장착 수단, 상기 잉곳 장착 수단과 결합되어 잉곳 장착 수단을 상하 방향으로 수직 이동시키는 수직이동 테이블과, 상기 수직이동 테이블 또는 상기 잉곳 장착 수단에 결합되어 잉곳의 좌우측 곡면에 접촉되고, 쏘우 와이어가 통과될 수 있도록 쏘우 와이어 삽입홈이 형성된 잉곳 홀더 수단이 구비되는 잉곳 고정유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단장치
8 8
제 7항에 있어서, 상기 잉곳 장착 수단은, 하부면에 잉곳이 부착되는 빔; 및 일 측은 상기 빔의 상면과 결합되고, 타 측은 상기 수직이동 테이블의 하부와 결합되는 워크 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단장치
9 9
제 7항에 있어서, 상기 잉곳 홀더 수단은, 상기 수직이동 테이블 또는 상기 잉곳 장착 수단과 결합되는 홀더부 지지 테이블; 및 상기 홀더부 지지 테이블로부터 연장 형성되고 잉곳의 측면과 대응되는 형상으로써 상기 잉곳의 측면과 정합되는 홀더부를 포함하고, 상기 쏘우 와이어 삽입홈은 상기 홀더부 지지 테이블과 상기 홀더부를 잉곳의 반경 방향으로 관통하는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단장치
10 10
제 7항에 있어서, 상기 쏘우 와이어 삽입홈은 일정한 간격으로 반복형성되어 있고, 상기 쏘우 와이어 삽입홈은 하나의 쏘우 와이어가 통과될 수 있는 정도의 간격을 갖는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단장치
11 11
제 7항에 있어서, 상기 쏘우 와이어 삽입홈은 일정한 간격으로 반복형성되어 있고, 상기 쏘우 와이어 삽입홈은 복수 개의 쏘우 와이어가 통과될 수 있는 정도의 간격을 갖는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단장치
12 12
제 11항에 있어서, 상기 쏘우 와이어 삽입홈은 잉곳의 축방향을 기준으로 잉곳의 양 측으로 갈수록 좁은 간격을 가지면서 반복 형성되어 있고, 각 쏘우 와이어 삽입홈은 정수개의 쏘우 와이어가 통과될 수 있는 정도의 간격을 갖는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.