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발광 표시소자의 제조장치

  • 기술번호 : KST2015050756
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요약 본 발명은 발광 표시소자의 생산효율을 증대시킬 수 있는 발광 표시소자의 제조장치에 관한 것이다.본 발명에 발광 표시소자의 제조장치는 내부에 기판이 배치된 진공 챔버와, 기판에 증착될 증발원을 공급하는 적어도 하나 이상의 제 1 도가니와, 진공 챔버의 적어도 하나의 일측에서 제 1 도가니에 유기물을 충전하기 위한 증발원 공급부를 포함하여 구성된다.이러한 구성에 의하여 본 발명은 증발원을 충전하기 위해 온도를 낮추고 진공 챔버의 분위기를 낮춰야만 하는 종전과 달리 진공 챔버의 외부에 적어도 하나 이상의 증발원 공급부를 형성하여 고진공 분위기를 유지하면서 도가니에 증발원을 충전함으로써 증발원 충전을 위한 로스(loss) 시간을 줄이고, 장비 가동율을 증가 시켜 생산효율 향상 시킬 수 있다. 또한, 증발원을 증착하기 위해 진공 챔버를 오픈시키는 과정이 생략됨으로써 공기와 수분에 취약한 발광 표시소자의 외부 노출을 줄여 발광 표시소자의 성능을 향상 시킬 수 있다.챔버, 증발원, 투입구, 도가니
Int. CL H05B 33/10 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01)
CPC H01L 51/001(2013.01) H01L 51/001(2013.01) H01L 51/001(2013.01) H01L 51/001(2013.01) H01L 51/001(2013.01)
출원번호/일자 1020070140046 (2007.12.28)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1362166-0000 (2014.02.06)
공개번호/일자 10-2009-0072064 (2009.07.02) 문서열기
공고번호/일자 (20140212) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.12.04)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양두석 대한민국 인천광역시 남동구
2 정복현 대한민국 경기도 광명시 금당로 **, 하

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0944128-65
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
6 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.12.04 수리 (Accepted) 1-1-2012-1006193-63
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0087537-62
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.11.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0780179-24
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.01.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0033206-47
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.01.13 수리 (Accepted) 1-1-2014-0033203-11
12 등록결정서
Decision to grant
2014.01.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0071184-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
내부에 기판이 배치된 진공 챔버와;상기 기판에 증착될 증발원을 공급하는 적어도 하나 이상의 제 1 도가니와;상기 진공 챔버의 적어도 하나의 일측에서 상기 제 1 도가니에 유기물을 충전하기 위한 증발원 공급부를 포함하고;상기 증발원 공급부는상기 제 1 도가니에 상기 증발원을 상기 진공 챔버의 외부로부터 공급하는 증발원 공급관과;상기 증발원 공급관과 상기 진공 챔버의 진공 분위기를 유지하기 위한 제 1 수동제어밸브와;상기 제 1 수동제어밸브 개폐시 상기 진공 챔버의 진공 분위기를 유기하기 위한 제 2 수동제어밸브를 포함하고;상기 증발원 공급관은상기 제 2 수동제어밸브와 연결되어 상기 증발원이 투입되는 제 1 관과;상기 제 1 및 제 2 수동제어밸브 사이에 형성된 제 2 관과;상기 제 1 수동제어밸브와 상기 제 1 도가니의 제 1 홀 사이에 형성된 제 3 관을 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 표시소자의 제조장치
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 제 1 도가니는,상기 증발원을 보관하기 위한 복수의 제 2 도가니와;상기 복수의 제 2 도가니가 안착되기 위한 제 1 하부 바디부와;상기 제 1 하부 바디부와 형합하고 상기 제 2 도가니의 증발원이 이동하는 상기 제 1 홀이 형성된 상부캡과;상기 제 1 하부 바디부의 하부에서 상기 상부캡을 회전시키기 위한 회전부를 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 발광 표시소자의 제조장치
4 4
제 3 항에 있어서,상기 제 2 도가니는,상기 증발원이 안착되기 위한 제 2 바디부와;상기 증발원이 이동하기 위한 제 2 홀이 형성된 제 2 상부캡을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 발광 표시소자의 제조장치
5 5
제 3 항에 있어서,상기 상부캡은 상기 회전부와 결합하기 위한 회전봉을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 발광 표시소자의 제조장치
6 6
제 5 항에 있어서,상기 제 1 하부 바디부는 상기 회전봉과 결합하기 위한 회전봉 고정부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 발광 표시소자의 제조장치
7 7
제 1 항에 있어서,상기 증발원은 구형 또는 펠릿(Pellet) 형태인 것을 특징으로 하는 발광 표시소자의 제조장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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