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유기 전계 발광 표시 장치 제조장비

  • 기술번호 : KST2015050799
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기 전계 발광 표시 장치 제조 장비에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유기 전계 발광 표시 장치 제조 장비는, 유기 전계 발광 표시 장치 제조 장비에 있어서, 성막 물질을 공급하는 소스원; 상기 소스원으로부터 분사되는 성막 물질을 가이드하는 가이드부재; 상기 가이드부재 상측에 배치되어 마스크 및 글라스기판에 성막 물질이 진행하는 것을 조절하는 셔터; 및 상기 글라스기판 배면 상부에 배치되어 글라스기판 상에 형성되는 성막층의 두께를 감지하는 센서를 포함한다.유기, 센서, 램프, 마스크, 가이드부재
Int. CL C23C 14/24 (2006.01) H05B 33/10 (2006.01)
CPC H01L 51/0008(2013.01) H01L 51/0008(2013.01) H01L 51/0008(2013.01)
출원번호/일자 1020070136830 (2007.12.24)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1418121-0000 (2014.07.03)
공개번호/일자 10-2009-0069000 (2009.06.29) 문서열기
공고번호/일자 (20140711) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.12.07)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종성 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2007-0928468-08
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2012-0711444-42
7 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2012-1016991-60
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.09.04 수리 (Accepted) 9-1-2013-0073860-22
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0782285-13
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2014-0023347-97
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.01.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0023349-88
13 등록결정서
Decision to grant
2014.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0343832-93
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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유기 전계 발광 표시 장치 제조 장비에 있어서,성막 물질을 공급하는 소스원;상기 소스원으로부터 분사되는 성막 물질을 가이드하는 가이드부재;상기 가이드부재 상측에 배치되어 성막 물질이 마스크 및 글라스기판에 진행하는 것을 조절하는 셔터;상기 글라스기판 배면 상부에 배치되는 센서; 및상기 마스크는 가장자리 영역에 홀을 포함하고,상기 센서는 상기 마스크의 홀을 통해서 상기 글라스기판에 형성된 성막패턴의 두께를 측정하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치 제조 장비
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제 1 항에 있어서, 상기 가이드부재에는 성막 물질을 상기 마스크와 글라스기판 배치 영역으로 가이드하기 위해 둘레를 따라 다수개의 램프가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치 제조 장비
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 램프는 할로겐 램프인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치 제조 장비
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제 1 항에 있어서, 상기 셔터는 다수개의 슬릿들을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치 제조 장비
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제 4 항에 있어서, 상기 슬릿은, 양측 가장자리에 회전축과 슬릿 내측에 히터 코일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치 제조 장비
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.