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에칭액이 저장된 베스(Bath)에 결합하여 버블을 발생시키는 버블 발생유닛에 있어서,
복수 개의 홀을 구비하는 파이프 형태를 갖고, 상기 베스의 내부 공간에 위치하여 상기 에칭액으로 상기 버블을 생성시키는 버블 생성수단; 및
외면에 나사산이 형성된 축 형태를 갖고, 상기 버블 생성수단을 이동시키는 이송수단;
을 포함하고,
상기 버블 생성수단은 상기 이송수단의 축 방향으로 왕복 이송하는 것을 특징으로 하는 버블 발생유닛
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웨이퍼를 에칭하기 위한 에칭액을 저장하는 베스(Bath);
상기 베스의 내부공간에 위치하되 파이프 형태로 형성되고, 상기 에칭액에 버블을 생성하기 위한 기체를 제공하는 버블파이프(Bubble pipe);
상기 베스의 외측에 위치하여 상기 버블파이프와 연결되는 파이프홀더(Pipe holder);
상기 파이프홀더와 결합하되, 외면으로 나사산이 형성된 스크류 샤프트(Screw shaft); 및
상기 스크류 샤프트의 일측에 결합되고, 회전에 의해 상기 파이프홀더를 상기 스크류 샤프트를 따라 전진 또는 후진시키는 볼륨 다이얼(Volume dial);
을 포함하는 웨이퍼 에칭 장치
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제4항에 있어서,
상기 버블파이프는 복수 개로 구성되어 상기 베스의 저면에 인접하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에칭 장치
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제4항에 있어서,
상기 버블파이프는 한 쌍으로 구성되어 나란히 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에칭 장치
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제4항에 있어서,
상기 파이프홀더는 한 쌍으로 구성되어 상기 베스의 양측에 서로 대응하도록 결합되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에칭 장치
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8
제4항에 있어서,
상기 버블파이프와 상기 파이프홀더를 연결하는 파이프연결부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에칭 장치
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제8항에 있어서,
상기 파이프홀더는 상기 베스의 내면을 따라 상기 베스의 외측까지 연장 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에칭 장치
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10
제4항에 있어서,
상기 버블파이프에는 복수 개의 홀이 형성되며, 상기 홀을 통해 기체가 분사되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에칭 장치
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11
제10항에 있어서,
상기 기체는 질소(N2)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에칭 장치
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제4항에 있어서,
상기 나사산의 피치는 1 ~ 2㎜인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에칭 장치
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