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노치가 있는 웨이퍼를 진공 흡착하는 척

  • 기술번호 : KST2015051001
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요약 본 발명은 노치가 있는 웨이퍼를 진공 흡착하는 척에 관한 것이다. 본 발명의 웨이퍼 척은, 웨이퍼를 흡착하여 고정시키는 웨이퍼 척으로서, 노치가 형성된 웨이퍼를 흡착하는 진공 척; 및 상기 웨이퍼를 흡착하는 진공 척의 가장자리를 따라 부착된 오링;을 구비하고, 상기 오링은 웨이퍼 노치부분을 커버할 수 있도록 노치의 곡률반경 또는 노치의 깊이 보다 큰 폭으로 이루어진 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 웨이퍼의 노치에 따른 웨이퍼의 정렬공정 없이 웨이퍼를 흡착 고정할 수 있다. 웨이퍼, 척, 노치, 오링
Int. CL H01L 21/687 (2006.01)
CPC H01L 21/6838(2013.01) H01L 21/6838(2013.01)
출원번호/일자 1020080002922 (2008.01.10)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0938115-0000 (2010.01.13)
공개번호/일자 10-2009-0077141 (2009.07.15) 문서열기
공고번호/일자 (20100121) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.10)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이형호 대한민국 서울 강북구
2 이영래 대한민국 대구 수성구
3 강희명 대한민국 대구 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2008-0020861-21
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.08.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.09.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0059748-25
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.07.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0284069-82
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2009-0546478-74
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.09.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0546476-83
7 등록결정서
Decision to grant
2010.01.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0013319-37
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼를 흡착하여 고정시키는 웨이퍼 척에 있어서, 노치가 형성된 웨이퍼를 흡착하는 진공 척; 및 상기 웨이퍼를 흡착하는 진공 척의 가장자리를 따라 부착되어 상기 웨이퍼의 가장자리가 안착되는 오링;을 구비하고, 상기 오링은 웨이퍼 노치부분을 커버할 수 있도록 노치의 곡률반경 또는 노치의 깊이 보다 큰 폭으로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 척
2 2
제1항에 있어서, 상기 진공 척은 웨이퍼의 직경보다 큰 직경을 갖도록 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 척
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 진공 척은 PVC 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 척
4 4
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 오링은 바이톤 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 척
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.