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웨이퍼 연마장치

  • 기술번호 : KST2015051073
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼 연마장치에 관한 것으로, 연마 대상 웨이퍼가 장착되고, 측면에는 위치 구분을 위한 표시(marking)가 되어있는 연마 블럭(block)을 구비한 웨이퍼 연마장치에 있어서, 연마 블럭의 구분을 위한 마커가 연마 블럭과 동일한 재질로 이루어져 연마 블럭의 측면에 접착 또는 나사결합되어 있는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면 연마 블럭과 동일한 재질의 마커를 사용함으로써, 웨이퍼 연마시 연마장치의 오염으로 인한 웨이퍼의 스크래치를 개선할 수 있다. 연마 공정, 연마 블럭, 위치 표시, 마커, 알루미나
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC B24B 37/04(2013.01)
출원번호/일자 1020080000326 (2008.01.02)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0917566-0000 (2009.09.08)
공개번호/일자 10-2009-0074516 (2009.07.07) 문서열기
공고번호/일자 (20090916) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.02)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김미정 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2008-0002413-79
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.03.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0105274-37
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.05.11 수리 (Accepted) 1-1-2009-0280765-12
4 등록결정서
Decision to grant		 2009.09.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0369365-18
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
연마 대상 웨이퍼가 장착되고, 측면에는 위치 구분을 위한 표시(marking)가 되어있는 연마 블럭(block)을 구비한 웨이퍼 연마장치에 있어서, 상기 연마 블럭의 위치 구분을 위한 마커가 상기 연마 블럭과 동일한 재질로 이루어져 상기 연마 블럭의 측면에 접착 또는 나사결합되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 마커는 알루미나로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마장치
3 3
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 마커는 상기 연마 블럭과 다른 색으로 염색되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.