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실리콘 웨이퍼 탈착 장치 및 이를 이용한 탈착 공정

  • 기술번호 : KST2015051076
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요약 본 발명은 실리콘 웨이퍼 탈착 장치 및 이를 이용한 탈착 공정에 관한 것이다. 본 발명의 실리콘 웨이퍼 탈착 장치는, 세라믹 플레이트에 부착된 실리콘 웨이퍼가 탈착된후 슬라이딩되어 이동되는 슬라이딩 플레이트를 포함하고, 상기 슬라이딩 플레이트의 중앙은 실리콘 웨이퍼의 이동 방향으로 개방되고, 상기 개방된 부분에 웨이퍼를 지지하기 위한 롤러가 설치된 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 탈착된 실리콘 웨이퍼의 뒷면에 스크래치없이 카세트로 저장할 수 있다. 실리콘 웨이퍼, 탈착 장치, 슬라이딩 플레이트, 롤러
Int. CL H01L 21/68 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01)
CPC H01L 21/6838(2013.01) H01L 21/6838(2013.01) H01L 21/6838(2013.01) H01L 21/6838(2013.01) H01L 21/6838(2013.01)
출원번호/일자 1020080002553 (2008.01.09)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0937824-0000 (2010.01.12)
공개번호/일자 10-2009-0076542 (2009.07.13) 문서열기
공고번호/일자 (20100120) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.09)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박민아 대한민국 경기 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2008-0018015-29
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.05.14 수리 (Accepted) 9-1-2009-0028622-01
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.09.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0380552-53
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0702169-97
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.11.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0702166-50
7 등록결정서
Decision to grant
2010.01.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0009886-53
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
세라믹 플레이트(10)에 부착된 실리콘 웨이퍼(W)가 탈착된후 슬라이딩되어 이동되는 슬라이딩 플레이트(110)를 포함하고, 상기 슬라이딩 플레이트(110)의 중앙은 실리콘 웨이퍼(W)의 이동 방향으로 개방되고, 상기 개방된 부분에 웨이퍼(W)를 지지하기 위한 롤러(114)가 설치되되, 상기 슬라이딩 플레이트(110)는 웨이퍼(W)의 슬라이딩을 방해하지 않도록 세라믹 플레이트(10)의 상면보다 낮은 위치에 설치되고, 슬라이딩된 웨이퍼(W)를 지지하도록 웨이퍼(W)의 곡률에 보합하는 계단턱(116)이 형성된 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 탈착 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 롤러(114)의 외주면은 슬라이딩 플레이트(110)의 상면보다 높은 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 탈착 장치
4 4
제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 실리콘 웨이퍼(W)를 흡착하여 카세트(20)에 적재시키는 로봇아암(120)을 구비하는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 탈착 장치
5 5
세라믹 플레이트(10)에 접착되어 연마된 실리콘 웨이퍼(W)에 초순수를 분사하며 실리콘 웨이퍼(W)를 탈착하는 단계; 상기 탈착된 웨이퍼(W)가 슬라이딩되어 슬라이딩 플레이트(110)로 이동되는 단계; 상기 슬라이딩 플레이트(110)로 이동된 웨이퍼(W)를 로봇아암(120)으로 흡착 고정하는 단계; 및 상기 로봇아암(120)에 흡착 고정된 웨이퍼(W)를 카세트(20)에 적재하는 단계;를 포함하고, 상기 슬라이딩 플레이트(110)에는 그 중앙이 길이 방향으로 개방되고, 개방된 부분에 롤러(114)가 설치되되, 상기 슬라이딩 플레이트(110)는 세라믹 플레이트(10)의 하방에 위치되며 세라믹 플레이트(10)의 상면보다 낮은 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 탈착 공정
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
제5항에 있어서, 상기 롤러(114)의 외주면은 슬라이딩 플레이트(110)의 상면보다 높은 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 탈착 공정
9 9
제5항 또는 제8항에 있어서, 상기 슬라이딩 플레이트(110)는 탈착된 웨이퍼(W)를 지지하도록 그 하측면이 테이퍼지도록 형성된 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 탈착 공정
10 10
제9항에 있어서, 상기 로봇아암(120)은 컴퓨터 프로그램에 의해 제어되어 웨이퍼(W)를 카세트(20)로 이동시켜 적재하는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 탈착 공정
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.