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웨이퍼가 적재된 카세트를 이동시키는 이동부;
카세트를 포장하는 패킹부; 및
카세트를 포장하기 위한 필름백(film bag)을 패킹부에 공급하는 필름백 공급부;를 포함하고,
이동부는 패킹부에 위치한 필름백의 내부로 카세트를 이동시키고 포장이 완료되면 패킹부의 바깥으로 카세트를 이동시키며,
패킹부는,
필름백 공급부로부터 공급된 필름백을 입구가 위쪽을 향하도록 세우는 직립부재와, 세워진 필름백의 입구를 개방하는 개방부재 및, 필름백에 카세트가 수납되면 필름백의 상부를 밀봉하는 밀봉부재를 포함하고,
이동부는,
로딩부에 위치한 카세트를 패킹부로 이동시키기 위하여 수평방향과 수직방향으로 이동될 수 있는 이동프레임; 및
카세트를 파지할 수 있도록 이동프레임에 회동가능하게 설치된 로봇암;을 포함하고,
로봇암이 로딩부에 위치한 카세트를 파지한 후 이동프레임이 상기 수평방향으로 이동하여 패킹부의 상측으로 이동한 다음, 이동프레임이 상기 수직방향으로 하강하여 카세트를 필름백의 내부에 안착시키고, 포장이 완료되면 로봇암이 카세트를 파지한 후 상기 수직방향으로 상승하는 것을 특징으로 하는 자동 포장 장치
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제1항에 있어서,
필름백 공급부는,
탄성부재; 및
탄성부재 위에 적재된 필름백을 누르면서 필름백을 패킹부로 이동시킬 수 있도록 선택적으로 회전되는 공급롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 포장 장치
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제1항에 있어서,
직립부재는 미리 정해진 간격만큼 이격되도록 설치되어 필름백 공급부로부터 공급된 필름백이 상기 간격 사이로 삽입되어 세워지게 되고,
개방부재는 직립부재에 의하여 세워진 필름백의 가장자리를 파지한 후, 카세트가 수납될 수 있도록 후방으로 이동하여 필름백의 입구가 개방되도록 하고,
밀봉부재는 필름백에 카세트가 수납된 후 필름백의 상부를 열압착하여 밀봉할 수 있도록 왕복이동하는 것을 특징으로 하는 자동 포장 장치
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제1항에 있어서,
네 개의 직립부재가 필름백 공급부로부터 이동된 필름백에 삽입될 수 있도록 수직으로 설치되고,
개방부재는 직립부재가 필름백에 삽입되면 필름백의 입구가 사각형이 되어서 카세트가 필름백에 수납될 수 있도록 직립부재를 이동시키고,
밀봉부재는 필름백에 카세트가 수납된 후 필름백의 상부를 열압착하여 밀봉할 수 있도록 왕복이동하는 것을 특징으로 하는 자동 포장 장치
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(a) 필름백을 패킹부로 공급하되, 필름백의 입구가 위쪽을 향하도록 하는 단계;
(b) 패킹부로 공급된 필름백의 입구를 개방시키는 단계;
(c) 로딩부에 놓여진 카세트를 로봇암으로 파지하고 횡방향으로 이동한 후, 필름백에 카세트를 수납시키기 위하여 아래로 하강하여 상기 입구를 통하여 카세트를 필름백에 수납시키는 단계;
(d) 카세트가 수납된 후 필름백의 상부를 밀봉하는 단계; 및
(e) 상기 밀봉이 완료되면 로봇암이 카세트를 파지한 후 위로 상승하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 포장 방법
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제6항에 있어서,
(e) 단계가 완료된 이후에 (a) 내지 (e) 단계를 반복하여 카세트를 이중으로 포장하는 것을 특징으로 하는 자동 포장 방법
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