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슬러리 제거장치

  • 기술번호 : KST2015051144
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요약 자동으로 슬러리를 제거하는 슬러리 제거장치가 개시된다. 본 발명의 슬러리 제거장치는 그루브에 삽입되어 슬러리를 제거하는 제거유닛, 제거유닛을 일측에 결합하고 연마패드의 연마면 상에서 이동하는 이동유닛 및 이동유닛이 연마면에서 이탈 여부를 감지하는 위치확인 센서를 구비하며, 이동유닛이 연마면에서 정해진 루트를 따라 이동하도록 제어하는 제어유닛을 포함한다. 따라서, 연마면의 그루브에 쌓인 슬러리를 자동으로 제거하도록 함으로서 그루브에 쌓인 슬러리가 균일하고 정확하게 제거되며, 정해진 경로를 따라 이동하면서 모든 그루브에 쌓인 슬러리를 제거할 수 있어 제거 작업시간을 단축할 수 있으며, 작업 완료시간을 예측할 수 있어 추후 공정을 계획대로 원활히 진행할 수 있다. 웨이퍼, 연마패드, 연마면, 그루브, 슬러리, 자동, 경유
Int. CL B25J 5/00 (2006.01) B24B 55/00 (2006.01)
CPC B24B 55/06(2013.01) B24B 55/06(2013.01) B24B 55/06(2013.01) B24B 55/06(2013.01) B24B 55/06(2013.01)
출원번호/일자 1020080003083 (2008.01.10)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0919925-0000 (2009.09.24)
공개번호/일자 10-2009-0077244 (2009.07.15) 문서열기
공고번호/일자 (20091007) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.10)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정택상 대한민국 부산시 수영구
2 장재륜 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2008-0021886-30
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.11.12 수리 (Accepted) 9-1-2008-0075483-07
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.04.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0148390-77
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.06.08 수리 (Accepted) 1-1-2009-0344340-01
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.06.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0344338-19
7 등록결정서
Decision to grant
2009.09.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0366154-66
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
연마패드의 그루브(groove)에 쌓인 슬러리를 제거하는 슬러리 제거장치에 있어서, 상기 그루브에 삽입되어 상기 슬러리를 제거하는 제거유닛; 상기 제거유닛을 일측에 결합하고, 상기 연마패드의 연마면 상에서 이동하는 이동유닛; 및 상기 이동유닛이 상기 연마면에서 이탈 여부를 감지하는 위치확인 센서를 구비하며, 상기 이동유닛이 상기 연마면에서 정해진 루트를 따라 이동하도록 제어하는 제어유닛; 을 포함하는 슬러리 제거장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 루트는 상기 제거유닛이 상기 그루브를 모두 경유하는 루트인 것을 특징으로 하는 슬러리 제거장치
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 상기 위치확인 센서는 상기 연마면으로 빛을 조사하는 발광부 및 상기 연마면으로부터 반사되는 빛을 수용하는 수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬러리 제거장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 제거유닛은 상기 그루브에 삽입되는 제거부; 및 상기 제거부를 상기 이동유닛에 연결하는 연결부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬러리 제거장치
6 6
제5항에 있어서, 상기 제거부는 톱니 바퀴모양으로 형성되고, 상기 연결부에 회전 가능하도록 장착되는 것을 특징으로 하는 슬러리 제거장치
7 7
제5항에 있어서, 상기 그루브는 격자 구조로 형성되며, 상기 제거부는 복수 개로 구성되어 서로 이웃하는 상기 제거부 간의 간격은 상기 그루브의 격자 간격과 동일한 것을 특징으로 하는 슬러리 제거장치
8 8
제5항에 있어서, 상기 연결부는 상기 제거부를 상기 연마면에 대해 근접 및 이격시키는 것을 특징으로 하는 슬러리 제거장치
9 9
제1항에 있어서, 상기 이동유닛은 복수 개의 바퀴; 상기 바퀴와 연결되어 구동력을 제공하는 구동부; 및 상기 구동부와 연결되어 전원을 공급하고, 상기 제어유닛에 의해 온오프 동작이 제어되는 전원부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬러리 제거장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.