| 1 |
1
다음의 화학식 1로 표시되는 제1단랑체를 반복단위로 포함하는 바인더 수지
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서,상기 화학식 1의 R1의 정의에 있어서 R1은 다음의 화학식 3으로 표시되는 것을 특징으로 하는 바인더 수지
|
| 3 |
3
다음의 화학식 2로 표시되는 제2단량체를 반복 단위로 가지는 바인더 수지
|
| 4 |
4
청구항 3에 있어서,상기 화학식 2의 R1의 정의에 있어서, R1은 다음의 화학식 3으로 표시되는 것을 특징으로 하는 바인더 수지
|
| 5 |
5
청구항 1항 및 청구항 4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 바인더 수지의 중량평균분자량은 5천 내지 2만, 산가는 30 내지 180인 것을 특징으로 하는 바인더 수지
|
| 6 |
6
청구항 1의 상기 화학식 1 및 청구항 3의 상기 화학식 2로 표시되는 반복단위를 포함하는 바인더 수지;와 안료; 및용매; 를 포함하는 열경화 수지조성물
|
| 7 |
7
청구항 6에서, 상기 안료는, C
|
| 8 |
8
청구항 6에 있어서,상기 바인더 수지는 화학식 1 및 화학식 2 중 선택되는 구조를 포함하는 단량체와, 고리형 알킬기, 히드록시 알킬기, 페닐 에틸기, 아민기, 아마이드기를 포함하는 제3단량체를 추가하여 중합한 것을 특징으로 하는 열경화 수지조성물
|
| 9 |
9
청구항 6에 있어서,상기 용매는 에틸아세테이트, n-부틸아세테이트, 이소부틸아세테이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜 n-부틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸 에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디에틸렌글리콜에틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜 n-부틸에테르, 트리프로필렌글리콜 n-프로필에테르, 트리프로필렌글리콜메틸에테르, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜디아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 시클로헥사논, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 및 3-에톡시프로피온산에틸로 이루어진 군에서 1종 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 열경화 수지조성물
|
| 10 |
10
청구항 6 에 있어서,열경화 개시제가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 열경화 수지조성물
|
| 11 |
11
청구항 10에 있어서,상기 열경화 개시제는 4-아세토페닐디메틸술포늄헥사플루오로안티모네이트, 4-아세톡시페닐디메틸술포늄 헥사플루오로아르세네이트, 디메틸-4-(벤질옥시카르보닐옥시)페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 디메틸-4-(벤조일옥시)페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 디메틸-4-(벤조일옥시)페닐술포늄 헥사플루오로아르세네이트 및 디메틸-3-클로로-4-아세톡시페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트를 포함하는 알킬술포늄염과, 벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 벤질-4-히드록시페틸메틸술포늄 헥사플루오로포스페이트, 및 4-메톡시벤질-4-히드록시페틸메틸술포늄 헥사플루오로포스페이트를 포함하는 벤질술포늄염과, 디벤질-4-히드록시페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 디벤질-4-히드록시페닐술포늄 헥사플루오로포스페이트, 4-아세톡시페닐디벤질술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 디벤질-4-메톡시페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 디벤질-3-클로로-4-히드록시페닐술포늄 헥사플루오로아르세네이트, 디벤질-3-메틸-4-히드록시-5-터셔리-부틸페닐술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 및 벤질-4-메톡시벤질-4-히드록시페닐술포늄 헥사플루오로포스페이트를 포함하는 디벤질술포늄염; p-클로로벤질-4-히드록시페닐메틸수포늄 헥사플루오로안티모네이트, p-니트로벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, p-클로로벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로포스페이트, p-니트로벤질-3-메틸-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 3,5-디클로로벤질-4-히드록시페닐메틸술포늄 헥사플루오로안티모네이트, 및 o-클로로벤질-3-클로로-4-히드록시페닐메틸술포늄헥사플루오로안티모네이트를 포함하는 치환벤질술포늄염; 3-벤질벤조티아조늄 헥사플루오로안티모네이트, 3-벤질벤조티아조늄 헥사플루오로안티모네이트, 3-벤질-2-메틸티오벤조티아조늄 헥사플루오로안티모네이트, 및 3-벤질-5-클로로벤조티아조늄 헥사플루오로안티모네이트를 포함하는 벤질벤조티아조늄염으로 이루어진 군에서 1종 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 열경화 수지조성물
|
| 12 |
12
청구항 6 에 있어서,전체 열경화 수지조성물 중 바인더는 1~10중량부, 용매는 50~98중량부, 안료는 1~10중량부 포함하는 것을 특징으로 하는 열경화 수지조성물
|
| 13 |
13
청구항 6 에 있어서,첨가제를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열경화 수지조성물
|
| 14 |
14
청구항 13에 있어서,상기 첨가제는 전체 열경화 수지 조성물 중에서 0
|
| 15 |
15
청구항 6 의 수지조성물에 의해 제조된 포토레지스트
|
